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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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43 篇 专利

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3 篇 联合汽车电子有限...
2 篇 大连理工大学
2 篇 湖南城市学院
2 篇 华南农业大学
2 篇 中国船舶重工集团...
2 篇 深圳第三代半导体...
2 篇 深圳矽递科技股份...
2 篇 电子科技大学
2 篇 湘潭大学
1 篇 华中科技大学
1 篇 歌尔科技有限公司
1 篇 浙江师范大学
1 篇 广州奥松电子股份...
1 篇 北京英视睿达科技...
1 篇 塔力哈尔·夏依木拉...
1 篇 佛山市澄澜点寸科...
1 篇 哈尔滨佳启科技开...
1 篇 江苏大学
1 篇 新疆求是信息科技...
1 篇 上海集成电路研发...

作者

3 篇 杨鸣
3 篇 张容榕
3 篇 孙晓庆
2 篇 宫振峰
2 篇 刘雪燕
2 篇 蒋亚东
2 篇 杜晓松
2 篇 叶怀宇
2 篇 蒋宇
2 篇 孙文德
2 篇 汤卫华
2 篇 黄志亮
2 篇 杨细军
2 篇 谢光忠
2 篇 陈珂
2 篇 张泰基
2 篇 王斯
2 篇 梅亮
2 篇 张勇
2 篇 潘昊

语言

43 篇 中文

检索条件"主题词=气体传感器结构"

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一种气体传感器结构

一种气体传感器结构

引用

作者：徐雪华 528000 广东省佛山市三水区西南街道木棉村委会左田村G321国道旁4座10号铺(住所申报)

本发明提供了一种气体传感器结构，包括基底、第一传感区域、第二传感区域、电极，第一传感区域和第二传感区域相邻设置在基底上，在基底的第二传感区域的位置上设置电极，电极在第一传感区域的位置上的部分为面电极，并且采用通电产热... 详细信息

标准号: CN108572207A

本发明提供了一种气体传感器结构，包括基底、第一传感区域、第二传感区域、电极，第一传感区域和第二传感区域相邻设置在基底上，在基底的第二传感区域的位置上设置电极，电极在第一传感区域的位置上的部分为面电极，并且采用通电产热金属材料制成，作为连接电极的同时作为加热部件，基底中设置导电再分布层，导电再分布层具有连接第一传感区域和第二传感区域的连接部以及延伸至基底背面的焊盘，解决了目前气体传感器气体流通的问题，使气体与芯片能够充分接触，并且通过设置加热电极对气敏层加热的同时实现气体自流通。

关键词：传感区域基底电极再分布层导电气体传感器结构气体传感器金属材料充分接触加热部件加热电极连接电极气体流通相邻设置基底背面电极气敏层产热焊盘加热通电芯片延伸流通

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气体传感器及气体传感器结构体

气体传感器及气体传感器结构体

引用

作者：下山勲松本洁竹井裕介稻叶亮柳光鉉本多祐仁今本浩史日本东京都

本发明提供一种气体传感器及气体传感器结构体，与现有的气体传感器相比，能够以简单结构提高气体的检测灵敏度。通过将源极(3)和漏极(4)之间的石墨烯(8)设置在离子液体(L)中，由此因吸收气体而产生的离子液体(L)中的电荷状态变化直接... 详细信息

标准号: CN104870987A

本发明提供一种气体传感器及气体传感器结构体，与现有的气体传感器相比，能够以简单结构提高气体的检测灵敏度。通过将源极(3)和漏极(4)之间的石墨烯(8)设置在离子液体(L)中，由此因吸收气体而产生的离子液体(L)中的电荷状态变化直接反映到流过石墨烯(8)的源漏电流(I_sd)，因此与现有的气体传感器相比能够提高气体的检测灵敏度。并且，只要将石墨烯(8)设置在离子液体(L)中即可，因此不需要像现有的气体传感器一样用多种聚合物对碳纳米管进行表面化学修饰的结构，能够简化其结构。

关键词：气体传感器离子液体石墨烯灵敏度气体传感器结构电荷状态化学修饰碳纳米管吸收气体聚合物漏电流检测漏极源极

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一种金属氧化物半导体气体传感器结构优化设计方法

一种金属氧化物半导体气体传感器结构优化设计方法

引用

作者：黄志亮张继文阳同光王中华孙文德 413000 湖南省益阳市迎宾东路518号

本发明公开了一种金属氧化物半导体气体传感器结构优化设计方法，旨在为开发高可靠度的新型金属氧化物半导体气体传感器提供潜在的设计工具。本方法选取传感器的金属氧化物半导体感应膜作为设计对象，以最小化温变载荷下感应膜功能区最... 详细信息

标准号: CN111007113B

本发明公开了一种金属氧化物半导体气体传感器结构优化设计方法，旨在为开发高可靠度的新型金属氧化物半导体气体传感器提供潜在的设计工具。本方法选取传感器的金属氧化物半导体感应膜作为设计对象，以最小化温变载荷下感应膜功能区最大应力为设计目标。首先，通过对温变载荷的近似等效，在现有有限元分析平台上构建拓扑优化模型；其次，基于拓扑优化模型，以体积阈值作为设计变量，对最小应力展开一维搜索，从而得到具有最小热应力的感应膜构型。与常规方法比较，本方法无需设计者提供初始构型，从而大大降低了对工程经验和理论知识的依赖；设计过程所有步骤均无需繁琐、复杂的编程求解过程，易于理解、实施，具有良好的工程实用性。

关键词：感应膜金属氧化物半导体拓扑优化变载荷构型气体传感器结构氧化物半导体工程实用性气体传感器分析平台高可靠度工程经验近似等效理论知识求解过程设计变量设计工具设计过程设计目标新型金属优化设计功能区潜在的热应力最小化传感器构建编程搜索开发

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一种金属氧化物半导体气体传感器结构优化设计方法

一种金属氧化物半导体气体传感器结构优化设计方法

引用

作者：黄志亮张继文阳同光王中华孙文德 413000 湖南省益阳市迎宾东路518号

标准号: CN111007113A

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具有延栅结构的碳基FET型气体传感器及其制备方法

具有延栅结构的碳基FET型气体传感器及其制备方法

引用

作者：张勇石林胡金勇张志勇 411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘街道湘潭大学先进传感与信息技术创新研究院

本发明提供一种具有延栅结构的碳基FET型气体传感器及其制备方法，其中具有延栅结构的碳基FET型气体传感器结构包括硅基衬底、第一介电层、第二介电层、沟道层、源极电极、漏极电极、第三介电层、第四介电层、栅极电极以及延栅结构。延... 详细信息

标准号: CN115096975B

本发明提供一种具有延栅结构的碳基FET型气体传感器及其制备方法，其中具有延栅结构的碳基FET型气体传感器结构包括硅基衬底、第一介电层、第二介电层、沟道层、源极电极、漏极电极、第三介电层、第四介电层、栅极电极以及延栅结构。延栅结构所在的区域的栅极敏感材料层，被设置用于捕捉气体分子，延栅结构EG被设置为叉指电极形状，用于构成栅极敏感材料的附着区域。本发明将栅极引出并构成叉指结构，以扩大气体分子吸附表面积，增强气体传感器的痕量检测能力，同时，器件的整个制备流程与CMOS工艺相兼容，可以实现批量化制备芯片级气体传感器。

关键词：栅结构气体传感器介电层制备气体分子碳基气体传感器结构第三介电层敏感材料层叉指电极叉指结构附着区域痕量检测漏极电极敏感材料源极电极栅极电极沟道层硅基衬批量化芯片级吸附兼容捕捉

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具有延栅结构的碳基FET型气体传感器及其制备方法

具有延栅结构的碳基FET型气体传感器及其制备方法

引用

作者：张勇石林胡金勇张志勇 411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘街道湘潭大学先进传感与信息技术创新研究院

标准号: CN115096975A

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一种固态电解质气体传感器及其制备方法

一种固态电解质气体传感器及其制备方法

引用

作者：张晓刘晓鹏崔建东 101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号

本发明公开了一种固态电解质气体传感器及其制备方法，该传感器包括固态电解质基底、两侧的加热电极层和工作电极层，以及覆盖在电极层上的多孔保护层。工作电极层进一步包含通过物理气相沉积改性的多孔电极改性层。本发明还公开了制备... 详细信息

标准号: CN117686568A

本发明公开了一种固态电解质气体传感器及其制备方法，该传感器包括固态电解质基底、两侧的加热电极层和工作电极层，以及覆盖在电极层上的多孔保护层。工作电极层进一步包含通过物理气相沉积改性的多孔电极改性层。本发明还公开了制备该传感器的方法，该制备方法涉及丝网印刷电极图案、烘干、高温烧结，并通过磁控溅射法沉积金属薄膜形成多孔结构。该气体传感器结构简洁，制备过程成本效益高，能有效提升电极性能和传感器稳定性，特别适用于高精度环境监测和尾气排放检测。

关键词：传感器制备工作电极层固态电解质气体传感器结构沉积金属薄膜丝网印刷电极尾气排放检测物理气相沉积磁控溅射法多孔保护层气体传感器成本效益多孔电极多孔结构高温烧结加热电极制备过程电极电极层改性层烘干改性基底环境监测图案覆盖

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一种基于二维氮化铝材料的MEMS气体传感器芯片及其制备方法

一种基于二维氮化铝材料的MEMS气体传感器芯片及其制备方法

引用

作者：李其超崔大祥彭家伟刘亚敏周诚 200240 上海市徐汇区华山路1954号

本发明涉及一种基于二维氮化铝材料的MEMS气体传感器芯片及其制备方法。该气体传感器芯片包含MEMS微热板电极芯片和二维功能化氮化铝（AlN）气敏材料。制备时，在电极芯片方面，在玻璃片上溅射Pt金属，再采用离子束刻蚀获得具有加热功... 详细信息

标准号: CN117825455A

本发明涉及一种基于二维氮化铝材料的MEMS气体传感器芯片及其制备方法。该气体传感器芯片包含MEMS微热板电极芯片和二维功能化氮化铝（AlN）气敏材料。制备时，在电极芯片方面，在玻璃片上溅射Pt金属，再采用离子束刻蚀获得具有加热功能的叉指电极；在气敏材料方面，将贵金属Rh原子修饰到二维AlN上，即得到Rh单原子修饰的二维AlN气敏材料。本发明涉及的气体传感器结构简单，加热性能好，且能用于甲醛气体检测。

关键词：二维气敏材料气体传感器芯片电极芯片修饰制备气体传感器结构氮化铝材料离子束刻蚀叉指电极加热功能加热性能甲醛气体贵金属玻璃片单原子氮化铝功能化微热板溅射金属检测

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气体传感器的结构

气体传感器的结构

引用

作者：薛丁仁萧育仁林育德李彦希陈永祥谢嘉民中国台湾台南市新市区南科三路27号

本发明为气体传感器的结构，包含：气体传感芯片，该芯片的感测材料背部为一中空结构，感测材料下有一绝缘层，感测材料周围有一微型加热器，感测材料附着于感测电极上，感测材料为二金属氧化物半导体或一金属氧化物半导体和一反应层的... 详细信息

标准号: CN110887873B

本发明为气体传感器的结构，包含：气体传感芯片，该芯片的感测材料背部为一中空结构，感测材料下有一绝缘层，感测材料周围有一微型加热器，感测材料附着于感测电极上，感测材料为二金属氧化物半导体或一金属氧化物半导体和一反应层的粗糙表面的感测层的复合结构，其中该二金属氧化物之间具有一界面层，其能够增加本发明气体感测效率；经由本发明所提供的气体传感器结构，可于硅基板上完成悬浮气体感测结构，并能将芯片尺寸做到最小化。

关键词：感测材料金属氧化物半导体芯片绝缘层气体传感器结构金属氧化物气体传感器微型加热器粗糙表面复合结构感测电极感测结构气体传感悬浮气体反应层感测层硅基板界面层空结构最小化附着感测

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一种半导体式气体传感器及设有其的气体检测器件

一种半导体式气体传感器及设有其的气体检测器件

引用

作者：张宾郭林林陈新准刘文超程元红陆国勇阳范青温书华赵崇喜马勇强 510000 广东省广州市黄埔区云骏路17号自编3栋

本发明公开了一种半导体式气体传感器，包括基底，所述基底上依次设置有加热层、电极层和气敏材料层，所述加热层具有设在首尾方向上的连接端，所述电极层至少包括两组相互错开设置的电极，所述电极均具有设在首尾方向上的连接端，且所... 详细信息

标准号: CN115575461A

本发明公开了一种半导体式气体传感器，包括基底，所述基底上依次设置有加热层、电极层和气敏材料层，所述加热层具有设在首尾方向上的连接端，所述电极层至少包括两组相互错开设置的电极，所述电极均具有设在首尾方向上的连接端，且所述电极的连接端与所述加热层的连接端相互错开；所述气敏材料层涂覆于基底上，且覆盖所述电极之间的相邻连接端，以使每个电极之间电性连通。本发明还公开了一种设有上述半导体气体传感器的气体检测器件。与现有技术相比，本发明的气体传感器结构简单，体积小，灵敏度好，稳定性高，适用于产品进一步小型化。本发明的气体检测器件集成度高、使用方便、精确度高，更符合用户所需。

关键词：电极连接端基底气体检测首尾方向电极层加热层半导体气体传感器气体传感器结构半导体式气体器件集成度气敏材料层错开设置电性连通依次设置材料层灵敏度体积小错开传感器两组热层涂覆覆盖

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