检索结果-内蒙古大学图书馆

气体放电等离子体中多重随机共振实验及数值研究

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核聚变与等离子体物理 2003年第1期23卷 31-35页

作者：王毅刘万东杨洪波郑坚谢锦林周静俞昌旋中国科技大学近代物理系合肥230027

在气体放电等离子体随机共振实验中观察到了信噪比随噪声强度出现多次共振的现象。这种现象与动力学系统的多稳性质相关。通过对多稳动力学系统随机共振的数值模拟,获得了与实验现象类似的随机共振曲线。

关键词：气体放电等离子体数值模拟多重随机共振实验研究

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基于元学习的气体放电等离子体电子Boltzmann方程数值求解

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电工技术学报 2024年第11期39卷 3457-3466页

作者：仲林林吴冰钰吴奇东南大学电气工程学院南京210096

在气体放电等离子体中,电子的输运行为可由Boltzmann方程精确描述,该方程的解是许多等离子体仿真模型的基础。物理信息神经网络作为一种求解Boltzmann方程的新型方法,虽克服了传统数值方法网格剖分和方程离散的缺陷,但其参数空间规模大... 详细信息

在气体放电等离子体中,电子的输运行为可由Boltzmann方程精确描述,该方程的解是许多等离子体仿真模型的基础。物理信息神经网络作为一种求解Boltzmann方程的新型方法,虽克服了传统数值方法网格剖分和方程离散的缺陷,但其参数空间规模大,在求解多任务时训练效率较低。为此,该文构建了一种基于元学习的双循环物理信息神经网络,在内循环中对多个Boltzmann方程求解任务进行优化训练,得到各任务优化后的元损失函数,用于在外循环中进行网络参数更新,从而提高网络在求解新任务时的计算效率。计算结果表明,基于元学习的双循环物理信息神经网络在求解新的Boltzmann方程时,网络损失函数值和L2误差值的下降速度均显著快于普通的物理信息神经网络。此外,该文还研究了网络容量和内循环迭代次数对Boltzmann方程多任务求解效率的影响,结果显示计算效率并不随网络容量的增大而提高,且受内循环迭代次数影响较小。

关键词：气体放电等离子体 Boltzmann方程元学习物理信息神经网络

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气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展

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微型机与应用 2016年第9期35卷 8-11页

作者：赵红军李昊罡颜亮李川绵阳职业技术学院信息工程系四川绵阳621000 西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室陕西西安710049 南方电网综合能源有限公司广东广州510075

极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具... 详细信息

极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景。现有气体放电等离子体光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源、激光辅助等离子体极紫外光源、等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源等。近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,该文对气体放电等离子体技术做了综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究。

关键词：极紫外光源气体放电等离子体毛细管放电激光辅助放电等离子体聚焦中空阴极触发等离子体箍缩

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气体放电等离子体的电磁耦合实验

气体放电等离子体的电磁耦合实验

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中国力学大会——2013

作者：孙伟刘汝兵王萌萌林麒厦门大学物理与机电工程学院/福建省等离子体与磁共振重点实验室

通过实验观察DBD放电中伴随的电磁现象,并利用电磁耦合改变DBD放电等离子体的强度。在平板梳状电极DBD等离子体发生器的表面铺设光滑白纸,纸上撒有均匀的细磁粉。随着放电进行,纸上的细磁粉开始运动,逐渐向电极条聚拢,沿放电区域形成细... 详细信息

通过实验观察DBD放电中伴随的电磁现象,并利用电磁耦合改变DBD放电等离子体的强度。在平板梳状电极DBD等离子体发生器的表面铺设光滑白纸,纸上撒有均匀的细磁粉。随着放电进行,纸上的细磁粉开始运动,逐渐向电极条聚拢,沿放电区域形成细条状。实验证

关键词：气体放电等离子体平面线圈 DBD 电磁耦合

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气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展

气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展

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中国电机工程学会高电压专业委员会2015年学术年会

作者：王亚楠闫家启苟杨钱凯洋夏健丁卫东电力设备电气绝缘国家重点实验室西安交通大学西安710049

极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用.极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展.气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备... 详细信息

极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用.极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展.气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景.现有气体放电等离子光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源,激光辅助等离子体极紫外光源,等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源.近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,对气体放电等离子体技术进行综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究。

关键词：集成电路光刻技术气体放电等离子体极紫外光源

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一种气体放电等离子体喷流装置

一种气体放电等离子体喷流装置

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作者：张迅曾华荣田承越马晓红刘宇周海陈沛龙曾鹏许逵吕乾勇 550002 贵州省贵阳市南明区滨河路17号

本发明公开了一种气体放电等离子体喷流装置，包括高压电极和内介质管，所述高压电极为长圆柱形电极，一端为平端，一端为尖端，所述高压电极的平端与卡套卡接，绝缘套筒A的中空结构与所述高压电极卡接，所述绝缘套筒A与所述卡套螺纹连... 详细信息

标准号: CN108566716B

本发明公开了一种气体放电等离子体喷流装置，包括高压电极和内介质管，所述高压电极为长圆柱形电极，一端为平端，一端为尖端，所述高压电极的平端与卡套卡接，绝缘套筒A的中空结构与所述高压电极卡接，所述绝缘套筒A与所述卡套螺纹连接，外介质管与所述绝缘套筒A螺纹连接，内介质管卡接在所述外介质管内且紧贴所述外介质管和所述绝缘套筒A的内壁，所述绝缘套筒A一侧设置有通孔与工作气体源连接，所述卡套与绝缘套筒B螺纹连接，所述绝缘套筒B右端螺纹通过插座转接头连接工作电源，所述外介质管左侧内壁上放置金属网，所述外介质管左侧侧壁上设置有喷嘴，放电在金属网和所述高压电极的尖端之间产生，气流通过喷嘴把等离子体吹出。

关键词：绝缘套筒介质管高压电极螺纹连接卡套喷嘴金属网内介质卡接平端气体放电等离子体等离子体工作气体源长圆柱形工作电源喷流装置气流通过中空结构左侧内壁高压电转接头电极插座放电螺纹侧壁吹出管卡内壁通孔紧贴

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一种气体放电等离子体喷流装置

一种气体放电等离子体喷流装置

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作者：张迅曾华荣田承越马晓红刘宇周海陈沛龙曾鹏许逵吕乾勇 550002 贵州省贵阳市南明区滨河路17号

标准号: CN108566716A

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大气压气体放电等离子体流动控制概述

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渤海大学学报（自然科学版） 2018年第1期39卷 31-39页

作者：齐晓华雷济宇王海燕金鸽史冬梅渤海大学数理学院辽宁锦州121013 大石桥市高级中学辽宁大石桥115110

等离子体与固体、液体、气体一样,是物质的一种存在形态,也被称之为物质的第四态.首先简要介绍了气体放电等离子体的基本特性、等离子体在空间中的广泛存在状态、等离子体的划分方法、产生方法以及气体放电等离子体研究的发展历程;其次... 详细信息

等离子体与固体、液体、气体一样,是物质的一种存在形态,也被称之为物质的第四态.首先简要介绍了气体放电等离子体的基本特性、等离子体在空间中的广泛存在状态、等离子体的划分方法、产生方法以及气体放电等离子体研究的发展历程;其次进一步介绍了流动控制技术在航空航天领域的重要性、流动控制技术的分类、主动流动控制的技术优势以及流动控制技术的作用机理等;然后着重介绍了大气压气体放电等离子体流动控制技术在国内外的发展现状,并主要介绍了大气压介质阻挡放电等离子体流动控制技术的技术优势及其在流动控制领域中的研究现状;最后文章对大气压介质阻挡放电等离子体流动控制领域的研究工作进行了展望.

关键词：气体放电等离子体流动控制大气压介质阻挡放电

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压力温度可调的气体放电等离子体发生装置

压力温度可调的气体放电等离子体发生装置

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作者：李帆张文强林峰 100190 北京市海淀区北四环西路11号

本实用新型公开了一种压力温度可调的气体放电等离子体发生装置。该装置包括一个能够耐压耐温的压力气罐、等离子体激励器、泵组、加热器、高速采集装置和各种传感器等等组成。等离子体激励器可以将电线接入压力气罐中连接放电件，利用... 详细信息

标准号: CN203851355U

本实用新型公开了一种压力温度可调的气体放电等离子体发生装置。该装置包括一个能够耐压耐温的压力气罐、等离子体激励器、泵组、加热器、高速采集装置和各种传感器等等组成。等离子体激励器可以将电线接入压力气罐中连接放电件，利用泵组能够让压力气罐中的压力在0-1.1Mpa范围内变动，利用加热片可以将其中的气体加热到100℃，高速采集装置可以采集放电时候的电流和电压，还可以通过安装其他传感器测量等离子体亮度等参数。利用本实用新型，能够为研究气体放电等离子体实验提供不同压力和温度的反应环境，同时可以用于小件材料表面改性和臭氧生成等其他用途。

关键词：压力气罐等离子体激励高速采集放电泵组气体放电等离子体等离子体放电等离子体加热器传感器测量压力和温度表面改性电线接入发生装置反应环境气体加热小件材料压力温度研究气体加热片传感器耐温臭氧电流电压采集连接

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一种气体放电等离子体喷流器

一种气体放电等离子体喷流器

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作者：张迅曾华荣田承越马晓红刘宇周海陈沛龙曾鹏许逵吕乾勇 550002 贵州省贵阳市南明区滨河路17号

本实用新型公开了一种气体放电等离子体喷流器，包括高压电极和内介质管，所述高压电极为长圆柱形电极，一端为平端，一端为尖端，所述高压电极的平端与卡套卡接，绝缘套筒A的中空结构与所述高压电极卡接，所述绝缘套筒A与所述卡套螺纹... 详细信息

标准号: CN208445821U

本实用新型公开了一种气体放电等离子体喷流器，包括高压电极和内介质管，所述高压电极为长圆柱形电极，一端为平端，一端为尖端，所述高压电极的平端与卡套卡接，绝缘套筒A的中空结构与所述高压电极卡接，所述绝缘套筒A与所述卡套螺纹连接，外介质管与所述绝缘套筒A螺纹连接，内介质管卡接在所述外介质管内且紧贴所述外介质管和所述绝缘套筒A的内壁，所述绝缘套筒A一侧设置有通孔与工作气体源连接，所述卡套与绝缘套筒B螺纹连接，所述绝缘套筒B右端螺纹通过插座转接头连接工作电源，所述外介质管左侧内壁上放置金属网，所述外介质管左侧侧壁上设置有喷嘴，放电在金属网和所述高压电极的尖端之间产生，气流通过喷嘴把等离子体吹出。

关键词：绝缘套筒介质管高压电极螺纹连接卡套喷嘴金属网内介质卡接平端气体放电等离子体等离子体本实用新型工作气体源长圆柱形工作电源气流通过中空结构左侧内壁高压电喷流器转接头电极插座放电螺纹侧壁吹出管卡内壁通孔紧贴

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