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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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38 篇 专利

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机构

4 篇 北京精密机电控制...
3 篇 河南通用智能装备...
3 篇 西安工业大学
3 篇 哈尔滨工业大学
2 篇 盛吉盛半导体科技...
2 篇 中国运载火箭技术...
2 篇 复旦大学
2 篇 盛吉盛精密技术有...
2 篇 无锡星微科技有限...
2 篇 广东省智能制造研...
2 篇 北京理工大学
2 篇 苏州惟刻测量技术...
1 篇 武汉中导光电设备...
1 篇 哈尔滨工大瑞驰高...
1 篇 千凰微纳装备科技...
1 篇 上海微电子装备有...
1 篇 北京微纳精密机械...
1 篇 深圳市鑫泰濠科技...
1 篇 苏州隐冠半导体技...
1 篇 苏州柏伦斯智能科...

作者

4 篇 邓松波
4 篇 王燕波
4 篇 李科
3 篇 黄鹏
3 篇 刘波
3 篇 方舟
3 篇 卢志伟
3 篇 李莉
3 篇 董皓
3 篇 张君安
3 篇 马广程
3 篇 夏红伟
3 篇 李博
3 篇 陶为银
2 篇 蔡正道
2 篇 邱丽荣
2 篇 杨涛
2 篇 兰海燕
2 篇 周海平
2 篇 王远航

语言

38 篇 中文

检索条件"主题词=气浮运动"

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详细简洁

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气浮运动台

气浮运动台

引用

作者：杨晓峰王攀吴立伟刘维珂张佩瑾 200433 上海市杨浦区邯郸路220号

本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直... 详细信息

标准号: CN111900896A

本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子；第一导轨，沿第一直线电机的定子的长度方向延伸；第一气浮装置，与第一导轨之间形成气浮；第二导轨，沿第二直线电机的定子的长度方向延伸；第二气浮装置，与第二导轨之间形成气浮；第一磁浮组件，与第一导轨之间形成磁预载；第二磁浮组件，与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比，提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低，以及结构紧凑、可工程化实现的优势。

关键词：直线电机导轨气浮底座长度方向延伸磁浮组件气浮装置动子预载动态性能间隔设置气浮运动运动装置工程化运动台对装

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气浮运动台

气浮运动台

引用

作者：杨晓峰王攀吴立伟刘维珂张佩瑾 200433 上海市杨浦区邯郸路220号

标准号: CN111900896B

关键词：直线电机导轨气浮底座长度方向延伸磁浮组件气浮装置动子预载动态性能间隔设置气浮运动运动装置工程化运动台对装

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纳米精度光刻气浮运动台

纳米精度光刻气浮运动台

引用

作者：陆敏杰姜燕燕沈恒宇 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06

本发明公开了纳米精度光刻气浮运动台，属于精密加工技术领域，本发明的运动台包括气浮台与气浮导轨，气浮台能够沿气浮导轨直线往复移动，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承用于实现气浮台相对于气浮导轨处于悬浮状态；气浮台的上方配... 详细信息

标准号: CN117075448A

本发明公开了纳米精度光刻气浮运动台，属于精密加工技术领域，本发明的运动台包括气浮台与气浮导轨，气浮台能够沿气浮导轨直线往复移动，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承用于实现气浮台相对于气浮导轨处于悬浮状态；气浮台的上方配置有吸附组件，用于吸附物料；吸附组件与气浮台之间配置有减振组件。本发明结构简单，能够保证气浮台的平面度，提高物料的定位精准度，避免物料偏移，保证加工精度。

关键词：气浮台气浮导轨气浮轴承吸附组件精密加工技术直线往复移动定位精准度减振组件气浮运动悬浮状态平面度运动台偏移光刻配置吸附保证加工配合

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一种柔性龙门式铝合金共面气浮运动台

一种柔性龙门式铝合金共面气浮运动台

引用

作者：郭建华王建存李波 430000 湖北省武汉市武汉经济技术开发区高科技产业园16号楼4楼

本发明涉及一种柔性龙门式铝合金共面气浮运动台，包括底座、气浮X轴梁、Y轴气浮滑动块、气浮X轴平台、驱动反馈件、控制单元及集中拖链；Y轴气浮滑动块设于气浮X轴梁两端，Y轴气浮滑动块与底座滑动连接；气浮X轴平台与气浮X轴梁滑动连... 详细信息

标准号: CN117444911A

本发明涉及一种柔性龙门式铝合金共面气浮运动台，包括底座、气浮X轴梁、Y轴气浮滑动块、气浮X轴平台、驱动反馈件、控制单元及集中拖链；Y轴气浮滑动块设于气浮X轴梁两端，Y轴气浮滑动块与底座滑动连接；气浮X轴平台与气浮X轴梁滑动连接；驱动反馈件设有两组，其中一组设于底座与气浮X轴梁之间，另外一组设于气浮X轴梁与气浮X轴平台之间，两组驱动反馈件均与控制单元连接；集中拖链一端连接在底座上，另一端连接在气浮X轴平台上。本发明的有益效果在于：采用气浮X轴梁及气浮X轴平台均为气浮结构，提高了运行的稳定性；利用集中拖链对线束进行集中固定，克服了传统坦克链占用过多的空间的问题。

关键词：气浮底座反馈件滑动块拖链滑动连接一端连接两组驱动组设气浮结构气浮运动龙门式铝合金坦克链对线占用

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纳米精度光刻气浮运动台

纳米精度光刻气浮运动台

引用

作者：陆敏杰姜燕燕沈恒宇 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06

标准号: CN117075448B

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一种柔性龙门气浮运动台

一种柔性龙门气浮运动台

引用

作者：梁冰袁嘉欣 201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼

本申请提供一种柔性龙门气浮运动台，由固定台、直线电机组、横梁、水平气浮导轨组等组成，所述的固定台设有中间台面以及自所述中间台面的两端向竖直方向延伸的凸台，所述直线电机组包括两台直线电机，两电机定子分别安装在两凸台处，... 详细信息

标准号: CN221248698U

本申请提供一种柔性龙门气浮运动台，由固定台、直线电机组、横梁、水平气浮导轨组等组成，所述的固定台设有中间台面以及自所述中间台面的两端向竖直方向延伸的凸台，所述直线电机组包括两台直线电机，两电机定子分别安装在两凸台处，同时，两电机动子分别与横梁的两端相固定，所述横梁在水平方向上和水平气浮导轨组相连，其中，所述的导轨组包括第一水平气浮垫和第二水平气浮垫，两气浮垫均通过柔性连接的方式安装在横梁两端，当两直线电机做异步运动或反向运动时，横梁可产生轻微转动，由于气浮垫与横梁之间为柔性连接，所以横梁的转动不影响气浮垫与固定台侧壁的平行度，这样可保证加工时给硅片提供平稳支撑，保证加工精度。

关键词：横梁气浮垫直线电机固定台气浮导轨柔性连接凸台转动电机定子电机动子反向运动方向延伸横梁两端气浮运动异步运动导轨组平行度中间台台面硅片侧壁龙门竖直加工保证支撑申请

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一种气浮运动模拟器质心调节系统

一种气浮运动模拟器质心调节系统

引用

作者：许剑李科杨涛邓松波王燕波 100076 北京市丰台区南大红门路1号

一种气浮运动模拟器质心调节系统，包括固定配重单元、可调配重单元、第一水平仪、第二水平仪和三个重力传感器；固定配重单元包括多个不同重量的配重块；可调配重单元包括手动粗调配重单元、手动精调配重单元以及电控精调配重单元。本... 详细信息

标准号: CN105259866B

一种气浮运动模拟器质心调节系统，包括固定配重单元、可调配重单元、第一水平仪、第二水平仪和三个重力传感器；固定配重单元包括多个不同重量的配重块；可调配重单元包括手动粗调配重单元、手动精调配重单元以及电控精调配重单元。本发明在第一水平仪、第二水平仪和三个重力传感器的辅助下，通过固定配重单元和可调配重单元的三级调节(手动粗调、手动精调和电控精调)，可分别将气浮运动模拟器平动平台和姿态平台质心逐步调节到回转中心，既增强了质心调节的能力和范围，又提高了质心调节的精度，极大降低了质心调节的难度，大大缩短了质心调节的时间。

关键词：质心调节水平仪固定配重可调配重重力传感器调配电控模拟器运动模拟器回转中心平动平台气浮运动三级调节手动粗调逐步调节姿态平台配重块精调质心调和

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一种气浮运动模拟器质心调节系统

一种气浮运动模拟器质心调节系统

引用

作者：许剑李科杨涛邓松波王燕波 100076 北京市丰台区南大红门路1号

标准号: CN105259866A

关键词：质心调节水平仪固定配重可调配重重力传感器调配电控模拟器运动模拟器回转中心平动平台气浮运动三级调节手动粗调逐步调节姿态平台配重块精调质心调和辅助缩短增强

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基于计算机视觉的气浮运动模拟器位姿测量装置及方法

基于计算机视觉的气浮运动模拟器位姿测量装置及方法

引用

作者：孙浩然李莉夏红伟马广程温奇咏 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

本发明提供了一种基于计算机视觉的气浮运动模拟器位姿测量装置及方法，属于仿真测试领域技术领域。本发明中针对单轴气浮平台，将其视为合作待测目标，首先在单轴气浮台上安装设计好的测量靶标，之后在测量图像中提取测量靶标的三维坐... 详细信息

标准号: CN112066879B

本发明提供了一种基于计算机视觉的气浮运动模拟器位姿测量装置及方法，属于仿真测试领域技术领域。本发明中针对单轴气浮平台，将其视为合作待测目标，首先在单轴气浮台上安装设计好的测量靶标，之后在测量图像中提取测量靶标的三维坐标，最后根据测量靶标的三维坐标反推单轴气浮平台的位置和姿态信息；针对三轴气浮台时，将其视为非合作目标，首先在三轴气浮台上预先提取一系列特征点，之后在测量图像中提取特征点的三维坐标，最后根据特征点的三维坐标重构三轴气浮台台体坐标系，并求解三轴气浮台台体坐标系与世界坐标系之间的坐标变换关系，进而得到三轴气浮台的位置和姿态信息。本发明具有实现简单、非接触、低成本、高精度的特点。

关键词：三轴气浮台三维坐标单轴气浮平台姿态信息测量测量靶特征点气浮台体图像位姿测量装置坐标变换关系模拟器非合作目标计算机视觉世界坐标系待测目标仿真测试领域技术气浮运动提取特征低成本非接触靶标反推求解三轴重构合作

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基于计算机视觉的气浮运动模拟器位姿测量装置及方法

基于计算机视觉的气浮运动模拟器位姿测量装置及方法

引用

作者：孙浩然李莉夏红伟马广程温奇咏 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

标准号: CN112066879A

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