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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 水平轴加速度传感...
  • 1 篇 光纤加速度传感器
  • 1 篇 加速度传感器
  • 1 篇 微机电系统(mems)

机构

  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 王小伟
  • 1 篇 zhong shao-long
  • 1 篇 xu jing
  • 1 篇 wang xiao-wei
  • 1 篇 徐静
  • 1 篇 钟少龙
  • 1 篇 吴亚明
  • 1 篇 wu ya-ming

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=水平轴加速度传感器"
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基于MEMS技术的水平光纤加速度传感器
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光电子.激光 2015年 第3期26卷 414-421页
作者: 王小伟 钟少龙 徐静 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平光纤加速度传感器,并与Z光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加... 详细信息
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