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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电气工程

主题

  • 1 篇 声表面波驱动器
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 浮动电极型单向换...

机构

  • 1 篇 上海交通大学

作者

  • 1 篇 张俊峰
  • 1 篇 李以贵
  • 1 篇 惠春

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=浮动电极型单向换能器"
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排序:
浮动电极单向声表面波驱动的设计与制造(英文)
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光学精密工程 2009年 第6期17卷 1300-1305页
作者: 张俊峰 李以贵 惠春 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室 上海200240 上海交通大学生命科学技术研究院 上海200240
考虑声表面波驱动直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微电极的方式制作了一种声表面波微驱动。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新叉指结... 详细信息
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