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机构

  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 王政

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=溶胀印章的毛细微模塑"
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聚合物微结构的微模塑制造方法及其应用
聚合物微结构的微模塑制造方法及其应用
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作者： 王政 中国科学技术大学
学位级别：硕士
软刻蚀技术(Soft Lithography)是近年来发展起来的一种新型微制造技术.它由最初的硬质模板,通过中介图形转移元件--弹性印章--把微米、亚微米甚至是纳米级的微图形复制到目标物质上去.与传统的光刻技术相比,软刻蚀具有显著的优点:实施... 详细信息
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