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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 滤波器氮化铝
  • 1 篇 二维模态
  • 1 篇 压电谐振器
  • 1 篇 有效机电耦合系数
  • 1 篇 双模
  • 1 篇 氮化铝
  • 1 篇 滤波器

机构

  • 1 篇 南通大学

作者

  • 1 篇 sun haiyan
  • 1 篇 王星宇
  • 1 篇 zhao jicong
  • 1 篇 wang xingyu
  • 1 篇 孙海燕
  • 1 篇 赵继聪

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=滤波器氮化铝"
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基于氮化铝薄膜的二维模态谐振器双模结构设计与仿真
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南通大学学报(自然科学版) 2024年 第1期23卷 49-57页
作者: 赵继聪 王星宇 孙海燕 南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室 江苏南通226019
基于氮化铝(aluminum nitride,AlN)压电薄膜的二维模态谐振器(two-dimensional-mode resonators,2DMR)由于其较高的有效机电耦合系数k^(2)_(eff)及其与集成电路工艺兼容等优势,引起了业内广泛的关注。然而,传统的2DMR只研究单谐振模态,... 详细信息
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