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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 原始设计制造商
  • 1 篇 光刻
  • 1 篇 电子束摇摆器
  • 1 篇 大规模集成电路
  • 1 篇 离子束注入参杂
  • 1 篇 晶网
  • 1 篇 极紫外

机构

  • 1 篇 全国工业过程测量...

作者

  • 1 篇 沈经

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=电子束摇摆器"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
探讨用最巨大仪研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上)
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仪表标准化与计量 2018年 第4期 1-1,2-8页
作者: 沈经 全国工业过程测量与控制标准化技术委员会SAC/TC124 全国智能建筑标准化技术委员会SAC/TC426机械工业仪器仪表综合技术经济研究所中国科学院高能物理研究所
3个模糊观念:1)重视"智能制造"忽视制造"智能",2)把"铸造厂的foundry"与"VLSI的OEM"都看成"代工",3)把高技术知识产权的核心价值看成"附加值",令人热衷于劳动力密集型代工... 详细信息
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