检索结果-内蒙古大学图书馆

传感技术学报 2005年第2期18卷 329-332,357页

作者：温淑慧燕山大学电气工程学院河北秦皇岛066004

设计了一种惯性式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并对其作了特性分析,由给定的非线性误差可以求出质量块相对运动的最大量程。本设计具有电路结构简单,频率范围宽约为0～450HZ,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,测... 详细信息

设计了一种惯性式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并对其作了特性分析,由给定的非线性误差可以求出质量块相对运动的最大量程。本设计具有电路结构简单,频率范围宽约为0～450HZ,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,测量误差小等优点,并且通过实验验证了各项性能指标满足设计要求。

关键词：电容式加速度传感器差动电容非线性误差

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电容式加速度传感器温度特性与补偿方法研究

电容式加速度传感器温度特性与补偿方法研究

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作者：肖珊珊中国石油大学(华东)

学位级别：硕士

强震观测台网中,强震仪的拾震器都是采用的电容式加速度传感器,它具备着着动态范围大、精度高、线性度好等优点。但是由于我国幅员辽阔,南北纬度跨越近50度,导致各地气候与温度相差十分剧烈,且不同季节之间温度变化也异常显著。这使得... 详细信息

强震观测台网中,强震仪的拾震器都是采用的电容式加速度传感器,它具备着着动态范围大、精度高、线性度好等优点。但是由于我国幅员辽阔,南北纬度跨越近50度,导致各地气候与温度相差十分剧烈,且不同季节之间温度变化也异常显著。这使得电容式加速度传感器在实际使用过程中,非常容易受到温度的影响。为此,本课题对于电容式加速度传感器的温度特性与补偿方法展开了相关研究。本文针对课题组的电容式加速度传感器系统模型进行了分析,并对电容式加速度传感器的温度特性进行了深入探讨,通过研究发现加速度传感器的弹性元件部分受到的温度影响最为严重,由此将对系统的输出误差造成很大影响,极大的降低数据质量。为了解决该问题,首先需要得出弹性元件受热后的变化,因此采用了有限元方法对传感器的弹性元件部分进行了仿真分析。通过对受力、约束条件进行探讨,构建了振动部分的有限元模型,并采用ANSYS的温度场仿真,对其进行热耦合仿真,由此获取到不同温度下弹性元件的形变云图。对云图采用路径取值的方式,获取弹性元件在不同温度下垂直向的偏移量,并结合电容极板与弹性元件关系,得到了温度变化与电容极板位移的数学模型。然后,为了校正由于温度引起的电容极板的偏移,对现有的加速度反馈系统进行分析,提出了一种基于电路反馈的温度补偿的方法。通过理论分析得出反馈电流与电容极板位移的关系,并结合得到的数学模型,计算出不同温度下反馈电流大小的理论值,并依据此分析搭建了反馈补偿的Simulink仿真模型,理论上初步验证了反馈补偿的可行性与有效性。后续根据理论与仿真分析结果,设计了温度反馈补偿电路。最后,针对设计的温度反馈补偿电路,在温控室内进行了传感器温漂对比实验,以及自然降温对比实验。从最后的实验效果来看,加入了反馈补偿电路的传感器系统,对于温度造成的影响有所改善,在一定程度上抑制了温度变化对系统的影响。

关键词：电容式加速度传感器温度特性弹性元件有限元反馈补偿

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倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究

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传感技术学报 2013年第10期26卷 1357-1363页

作者：董林玺楼进峰杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室杭州310018

研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm,厚度80μm,传感器自我标定以模拟幅值为1 g的... 详细信息

研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm,厚度80μm,传感器自我标定以模拟幅值为1 g的振动台标定为例,针对DRIE工艺加工的高深宽比梳齿电容存在正负侧壁倾斜角α的情况,分析了该倾斜角对梳齿式传感器自我标定的影响。分析结果表明：传感器工作在开环电路时,梳齿的倾斜对传感器自我标定影响明显,且随着倾斜角度的增大而增大。与梳齿完全平行时传感器的自我标定相比,倾斜角为＆#177;0.1＆#176;时,自我标定误差约为10%；倾斜角为0.5＆#176;时,自我标定误差约为27%；倾斜角为-0.5＆#176;时,极板发生吸合。表明传感器工作在开环电路时,梳齿的倾斜角对传感器的自我标定影响明显,而传感器工作在闭环电路时,梳齿的倾斜对自我标定的影响明显降低,当倾斜角小于＆#177;0.5＆#176;时,自我标定的误差小于0.6%,理论误差接近于激光干涉仪绝对标定法的误差（0.5%~1%）,证明了自我标定方法的可行性。还分析了倾斜角影响自我标定精度的原因以及提出了开环自我标定时减小倾斜角误差的方法,并阐述了具体的修正步骤。

关键词：电容式加速度传感器自我标定正负侧壁倾斜角

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硅微电容式加速度传感器结构设计

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半导体光电 1999年第4期20卷 237-240页

作者：吴英江永清温志渝胡松重庆大学光电工程学院重庆400044

通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。

关键词：硅微机械电容式加速度传感器 PWM调制

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电容式加速度传感器

电容式加速度传感器

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作者：李诺伦庄瑞芬张沛陈嘉辉 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室

本发明提供了一种电容式加速度传感器，包括衬底、锚定部、质量块和扭转部。所述衬底设置止挡结构，所述质量块包括与所述止挡结构对应设置的限位结构，且所述限位结构与所述止挡结构相互作用后产生弹性形变，使得所述质量块的任意一个... 详细信息

标准号: CN114720721A

本发明提供了一种电容式加速度传感器，包括衬底、锚定部、质量块和扭转部。所述衬底设置止挡结构，所述质量块包括与所述止挡结构对应设置的限位结构，且所述限位结构与所述止挡结构相互作用后产生弹性形变，使得所述质量块的任意一个端部朝向或远离所述衬底运动的过程中，所述限位结构与所述止挡结构相互作用后产生的弹性形变起到缓冲作用，有效避免粘连失效。

关键词：止挡结构限位结构质量块衬底弹性形变电容式加速度传感器缓冲作用锚定部粘连扭转

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电容式加速度传感器下电梯制动器制停时间预测算法

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传感器世界 2024年第1期30卷 18-22,34页

作者：李长江赵路宁李守贝李明明枣庄市特种设备检验研究院山东枣庄277800 山东省特种设备协会山东济南250100 合肥市知识产权保护中心安徽合肥230000 枣庄市特种设备协会山东枣庄277800

电梯制动器制停时间的预测需要大量的实时传感器数据,由于受到噪声和不准确度等因素的影响,存在数据稀疏性和不完整性的问题,导致预测精度与效率较低。为此,提出电容式加速度传感器下的电梯制动器制停时间预测研究。采用电容式加速度传... 详细信息

电梯制动器制停时间的预测需要大量的实时传感器数据,由于受到噪声和不准确度等因素的影响,存在数据稀疏性和不完整性的问题,导致预测精度与效率较低。为此,提出电容式加速度传感器下的电梯制动器制停时间预测研究。采用电容式加速度传感器实时采集电梯制动器制停过程中的加速度数据;对采集的数据进行二阶正反馈带通滤波处理,消除可能存在的噪声或不必要的频率成分;利用傅立叶分析技术对加速度数据进行误差补偿处理,以减少由于传感器本身或其他因素引起的误差对制停时间预测的影响;基于已经滤波和误差补偿过的加速度数据,结合牛顿第二定律可以估算出电梯制动器的制停时间。经实验证明,设计方法预测平均百分比误差小于1%,预测耗时短于1ms,可以实现对电梯制动器制停时间高精度快速预测。

关键词：电容式加速度传感器电梯制动器制停时间二阶正反馈带通滤波傅立叶分析误差补偿

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电容式加速度传感器

电容式加速度传感器

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作者：李诺伦庄瑞芬张沛陈嘉辉 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室

标准号: CN114720721B

关键词：止挡结构限位结构质量块衬底弹性形变电容式加速度传感器缓冲作用锚定部粘连扭转

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一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器

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Journal of Semiconductors 2007年第10期28卷 1620-1624页

作者：徐玮鹤车录锋李玉芳熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制作,然后采用硼硅玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合.在完成整体结构圆片级真空封装的同时,通过引线... 详细信息

提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制作,然后采用硼硅玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合.在完成整体结构圆片级真空封装的同时,通过引线腔结构方便地实现了中间电极的引线.传感器芯片大小为6.8mm×5.6mm×1.68mm,其中敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm×0.84mm.对封装的传感器性能进行了初步测试,结果表明制作的传感器漏率小于0.1×10-9cm3/s,灵敏度约为6pF/g,品质因子为35,谐振频率为489Hz.

关键词：电容式加速度传感器硅/硅键合圆片级真空封装

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一种电容式加速度传感器的温度补偿电路

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仪表技术与传感器 2010年第5期 106-107,110页

作者：李慧武刘文怡马喜宏中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051

在电容式加速度传感器系统中,与电容式加速度敏感头相连的外围电路普遍存在温度漂移的问题。利用差分运算放大电路作为传感器的温度补偿电路,并描述了其工作原理。实验结果表明,该温度补偿电路可有效抑制传感器外围电路的温度漂移,把-40... 详细信息

在电容式加速度传感器系统中,与电容式加速度敏感头相连的外围电路普遍存在温度漂移的问题。利用差分运算放大电路作为传感器的温度补偿电路,并描述了其工作原理。实验结果表明,该温度补偿电路可有效抑制传感器外围电路的温度漂移,把-40~60℃温度范围内的温漂抑制在20 mV内,且对电容式加速度传感器的线性度也有明显的改善。该补偿电路结构简单、实用性强、调节方便,具有一定的生产应用价值。

关键词：电容式加速度传感器温度漂移温度补偿电路

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一种差动电容式加速度传感器设计的理论研究

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计算机测量与控制 2011年第5期19卷 1249-1252页

作者：李恒灿纪占玲华北水利水电学院机械学院河南郑州450011

设计了一种差动式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并通过电容的推导计算对其进行了特性分析。对检测电路的结构进行了分析,给出了典型电路结构,推到了电路参数及性能;本设计具有电路结构简单,频率范围宽约0～500Hz... 详细信息

设计了一种差动式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并通过电容的推导计算对其进行了特性分析。对检测电路的结构进行了分析,给出了典型电路结构,推到了电路参数及性能;本设计具有电路结构简单,频率范围宽约0～500Hz,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,测量误差小等优点;通过实验,各项性能指标满足设计要求。

关键词：电容式加速度传感器差动电容电路设计非线性误差

来源：评论

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