检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：张晓桐张松王大宇 050081 河北省石家庄市桥西区中山西路589号电子战部

本发明公开了一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；上层结构和下层结构均构成梳齿型... 详细信息

标准号: CN113176423A

本发明公开了一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；上层结构和下层结构均构成梳齿型倍增电容加速度传感器，分别由动电极及定电极组成；中层结构构成三明治式差分电容加速度传感器，包括上、下级板和质量块。本发明具有电容正对面积大、量程大、灵敏度高、可靠性高、集成度高、成本低、噪声低、性能稳定等优点。

关键词：加速度传感器上层结构下层结构中层结构检测电容式加速度传感器微机电系统技术倍增电容差分电容三明治式集成度灵敏度电容定电极动电极质量块量程三轴梳齿正对噪声下级制作

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一种基于高阶非厄米电路的高精度电容式加速度传感器

一种基于高阶非厄米电路的高精度电容式加速度传感器

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作者：吕博木弘扬史金辉关春颖陈晚潘泽宇王影夏诗韵申志超 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号

本发明公开了一种基于高阶非厄米电路的高精度电容式加速度传感器，属于电子传感器技术领域。包括电容式加速计C0、LM6171高速同向放大器和无源元件，无源元件包括左LC谐振器和右LC谐振器，左LC谐振器和右LC谐振器之间连接有电容式加速... 详细信息

标准号: CN116593736A

本发明公开了一种基于高阶非厄米电路的高精度电容式加速度传感器，属于电子传感器技术领域。包括电容式加速计C₀、LM6171高速同向放大器和无源元件，无源元件包括左LC谐振器和右LC谐振器，左LC谐振器和右LC谐振器之间连接有电容式加速计，左LC谐振器和右LC谐振器分别与一个正电阻R、电压源V_g、电压源内阻Z₀、电阻R₀、电阻R_f和含有LM6171高速同向放大器的等效电路并联。本发明提供的一种基于高阶非厄米电路的高精度电容式加速度传感器，用电容式加速度计，传感精度高、结构稳定性强、制作工艺简单、成本低、综合性能好、响应快、灵敏度高，适合实际使用。并且非厄米电路效率高、灵活度高，自由度和可调节性强，电路谐振频移剧烈，灵敏度高。

关键词：厄米电容式加速度传感器电容式加速计同向放大器无源元件灵敏度电阻高阶电路电压源内阻电子传感器结构稳定性等效电路电路效率电路谐振加速度计可调节性制作工艺综合性能电压源灵活度正电阻并联传感频移响应

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一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器及制作方法

一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器及制作方法

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作者：张晓桐张松董自强王大宇 050081 河北省石家庄市中山西路589号中国电子科技集团公司第五十四研究所电子战部

本发明公开了一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器及制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括上级板层、上级板电极引出点、上级板防撞框架、上级板键合环、上级板金环、上级板防撞凸点组、质量层、质量层电极引出点、质量层上键合... 详细信息

标准号: CN112462092A

本发明公开了一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器及制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括上级板层、上级板电极引出点、上级板防撞框架、上级板键合环、上级板金环、上级板防撞凸点组、质量层、质量层电极引出点、质量层上键合环、质量层上悬臂圆环梁组、质量块、质量层下悬臂圆环梁组、质量层下键合环、下级板层、下级板电极引出点、下级板防撞框架、下级板键合环、下级板金环、下级板防撞凸点组。本发明工作频率可调，具有有效面积大、可靠性高、易制作、灵敏度高、成本低的优点，可用于不同环境的加速度信号拾取。

关键词：质量层下级防撞引出点板电极板层板键凸点圆环电容式加速度传感器微机电系统技术工作频率可调加速度信号有效面积灵敏度螺旋梁上悬臂下悬臂质量块电极键合可用拾取下键制作

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一种单片集成CMOS MEMS多层金属三轴电容式加速度传感器及制备方法

一种单片集成CMOS MEMS多层金属三轴电容式加速度传感器及制备方法

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作者：许高斌陈兴朱华铭段宝明 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

针对现有结构的电容式加速度传感器在结构上和制备工艺上的上述不足，本发明提供一种单片集成三轴加速度传感器及其制备方法。通过在Z轴向上淀积三层金属Al薄膜形成梳齿对敏感电极；在X轴向、Y轴向上淀积四层金属Al/SiO2薄膜形成梳齿对... 详细信息

标准号: CN102955046A

针对现有结构的电容式加速度传感器在结构上和制备工艺上的上述不足，本发明提供一种单片集成三轴加速度传感器及其制备方法。通过在Z轴向上淀积三层金属Al薄膜形成梳齿对敏感电极；在X轴向、Y轴向上淀积四层金属Al/SiO₂薄膜形成梳齿对敏感电极，采用单个的集成结构同时检测三个轴向的加速度。本发明的有益技术效果有：本发明显著降低了三轴加速器器件间的互联寄生电容，实现了高的检测精度和较低的噪声性能；由于采用包含了多个金属层，相比较使用同质材料多晶硅制备的微加速度计，布线方案更加灵活；本结构采用了折叠梁的结构，使得传感器自身的应力获得了良好的释放效果，从而能有效地减小应力对系统的影响。

关键词：敏感电极淀积梳齿薄膜电容式加速度传感器加速度传感器布线方案单片集成集成结构寄生电容加速度计同时检测噪声性能制备方法制备工艺多晶硅加速度金属Al 金属层折叠梁加速器传感器同质轴向互联金属检测

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微机械电容式加速度传感器信号电路设计

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传感器世界 2005年第7期11卷 31-33页

作者：李敏毅王蕊杨德俊吴杰歆广东省计量科学研究院工程师华南理工大学在读博士生

介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路,给出了在电路中所用的电子元器件,同时进行分析,得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。实验结果表明,该电路的线性高,测量差分电容变化的灵敏度好,是一种具... 详细信息

介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路,给出了在电路中所用的电子元器件,同时进行分析,得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。实验结果表明,该电路的线性高,测量差分电容变化的灵敏度好,是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。

关键词：电容式加速度传感器接口电路信号调理

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环境振动测量电容式加速度传感器设计

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微纳电子技术 2003年第7期40卷 298-301页

作者：周再发黄庆安秦明东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096

设计了一种用于环境振动测量的高分辨率电容式加速度传感器 ,通过适当减小质量块的质量 ,不改变敏感电容的大小 ,降低了实现加速度传感器闭环控制对多晶硅固定电极刚度的要求 ,采用简单的加工工艺 ,多晶硅固定电极刚度就能满足加速度传... 详细信息

设计了一种用于环境振动测量的高分辨率电容式加速度传感器 ,通过适当减小质量块的质量 ,不改变敏感电容的大小 ,降低了实现加速度传感器闭环控制对多晶硅固定电极刚度的要求 ,采用简单的加工工艺 ,多晶硅固定电极刚度就能满足加速度传感器闭环控制的需要。通过在传感器的三层电极上都刻蚀阻尼孔 ,减小阻尼 ,提高传感器的品质因子 ,传感器能提供

关键词：环境振动测量电容式加速度传感器设计微加工技术微机电系统

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微机械加工硅电容式加速度传感器

微机械加工硅电容式加速度传感器

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2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会

作者：李跃进朱作云杨银堂马晓华陈锦杜西安电子科技大学微电子研究所西安电子科技大学微电子研究所西安电子科技大学微电子研究所航天科技集团16所航天科技集团16所

1 引言随着世界科学技术的发展,微型机电系统(MEMS)近几年在许多国家已有了较大的突破与发展,并已成功地应用于航空、航天、汽车、医学等诸多领域。作为MEMS的一个主要分支——微型惯性器件也在发达国家迅速发展起来,由微型硅陀螺和微... 详细信息

1 引言随着世界科学技术的发展,微型机电系统(MEMS)近几年在许多国家已有了较大的突破与发展,并已成功地应用于航空、航天、汽车、医学等诸多领域。作为MEMS的一个主要分支——微型惯性器件也在发达国家迅速发展起来,由微型硅陀螺和微型硅加速度计组成的微惯性组合(MIMU)也有望应用于航天、航空等军事领域。微型硅加速度计是一种新颖的加速度传感器,它采用硅单晶材料,结合微细加工工艺实现。微型硅加速度计具有结构简单,体积小,功耗低,适合大批量生产,价格低廉等特点,因而在卫星上微重力的测量、微型惯性测量组合、简控弹的制导系统、汽车的安全系统、倾角测量、冲撞力测量等领域有广泛的应用前景。

关键词：电容式加速度传感器微机械加工线性度挠性梁

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单片集成CMOS MEMS三轴电容式加速度传感器

单片集成CMOS MEMS三轴电容式加速度传感器

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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：段宝明许高斌陈兴合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心安徽合肥230009

基于CMOS MEMS工艺设计一种单片集成三轴电容式加速度传感器.传感器的X、Y轴敏感单元采用多层金属对称的水平定齿动齿均置式,Z轴敏感单元采用多层金属交错梳齿结构,该结构有效地解决了三轴间的交叉耦合问题,较好地提高了系统的稳定性和... 详细信息

基于CMOS MEMS工艺设计一种单片集成三轴电容式加速度传感器.传感器的X、Y轴敏感单元采用多层金属对称的水平定齿动齿均置式,Z轴敏感单元采用多层金属交错梳齿结构,该结构有效地解决了三轴间的交叉耦合问题,较好地提高了系统的稳定性和灵敏度.利用有限元ANSYS软件进行了模拟分析,得到该加速度传感器在水平和垂直方向谐振频率分别为5.04KHz和2.3KHz,灵敏度分别为0.2286fF/g和0.11fF/g,符合目标设计要求.

关键词：电容式加速度传感器制备工艺谐振频率灵敏度有限元模拟

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一种高灵敏度MEMS电容式加速度传感器

一种高灵敏度MEMS电容式加速度传感器

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作者：张松张晓桐胡天宇朱林李旭王大宇 050081 河北省石家庄市桥西区中山西路589号电子战

本发明公开了一种高灵敏度MEMS电容式加速度传感器，属于微机电系统技术领域；其包含依次层叠的上极板层、中间极板层和下极板层；极板层的主体为上级板，上级板的上表面设有上电极引出位点；上级板的下表面设有上环形凹槽；上环形凹槽... 详细信息

标准号: CN115575669A

本发明公开了一种高灵敏度MEMS电容式加速度传感器，属于微机电系统技术领域；其包含依次层叠的上极板层、中间极板层和下极板层；极板层的主体为上级板，上级板的上表面设有上电极引出位点；上级板的下表面设有上环形凹槽；上环形凹槽之间的区域为上电极面；上电极面具有上防过载凸点；中间极板层的主体包括紧贴的上中间极板和下中间极板，上中间极板的中心处设有通过环形梁连接的中间电极面，上中间极板上表面的一侧设有中间电极引出位点；下中间极板上表面设有环形空腔和导气槽，环形空腔之间的区域为质量块。本发明在提高传感器的灵敏度、稳定性和一致性，能够有效降低传感器的加工难度。

关键词：中间极板上表面上环形凹槽环形空腔中间电极电极面传感器位点电容式加速度传感器微机电系统技术防过载凸点高灵敏度依次层叠导气槽环形梁灵敏度上极板下表面下极板质量块中心处电极极板紧贴加工

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基于MEMS电容式加速度传感器的电熨斗姿态识别智能传感器

基于MEMS电容式加速度传感器的电熨斗姿态识别智能传感器

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作者：韦学勇高阳赵明辉齐永宏任子明 710049 陕西省西安市咸宁西路28号

本发明公开了一种基于MEMS电容式加速度传感器的电熨斗姿态识别智能传感器，包括具有电容大小比较功能的控制芯片，控制芯片分别通过第一差分电容C1和第二差分电容C2与MEMS电容式加速度传感器连接，通过比较第一差分电容C1和第二差分电... 详细信息

标准号: CN114609412A

本发明公开了一种基于MEMS电容式加速度传感器的电熨斗姿态识别智能传感器，包括具有电容大小比较功能的控制芯片，控制芯片分别通过第一差分电容C₁和第二差分电容C₂与MEMS电容式加速度传感器连接，通过比较第一差分电容C₁和第二差分电容C₂的差分电容信号控制电熨斗执行器实现姿态智能识别。灵敏度高、可靠性高、成本低、体积小，通过MEMS电容式加速度传感器实现姿态检测，并利用具有电容比较功能的芯片进行信号处理和控制。

关键词：差分电容电容式加速度传感器控制芯片电熨斗智能传感器大小比较电容比较信号处理信号控制智能识别姿态检测姿态识别灵敏度体积小电容芯片

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