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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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70 篇 专利
38 篇 期刊文献
22 篇 学位论文
14 篇 会议
1 篇 成果

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日期分布

学科分类号

73 篇 工学
- 35 篇 控制科学与工程
- 33 篇 仪器科学与技术
- 16 篇 机械工程
- 15 篇 电子科学与技术（可...
- 4 篇 兵器科学与技术
- 3 篇 力学（可授工学、理...
- 2 篇 电气工程
- 2 篇 测绘科学与技术
- 2 篇 地质资源与地质工...
- 1 篇 材料科学与工程（可...
- 1 篇 动力工程及工程热...
- 1 篇 信息与通信工程
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- 1 篇 交通运输工程
- 1 篇 船舶与海洋工程
- 1 篇 环境科学与工程（可...
- 1 篇 软件工程
2 篇 理学
- 2 篇 系统科学
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- 1 篇 农业资源与环境

主题

75 篇 电容式加速度计
14 篇 mems
8 篇 微机电系统
5 篇 厚膜混合集成
4 篇 优化设计
4 篇 雷诺方程
4 篇 阻尼系数
4 篇 气膜阻尼
3 篇 线性度
3 篇 灵敏度
3 篇 高精度
3 篇 微电子机械系统
3 篇 读出电路
3 篇 电容检测
2 篇 微小电容检测
2 篇 闭环随动式加速度...
2 篇 闭环控制
2 篇 敏感结构
2 篇 三质量块
2 篇 运算放大器

机构

11 篇 深迪半导体有限公...
8 篇 中北大学
7 篇 浙江大学
5 篇 西安电子科技大学
5 篇 北京大学
5 篇 哈尔滨工业大学
5 篇 电子科技大学
5 篇 中国科学院声学研...
4 篇 南京高华科技股份...
4 篇 防灾科技学院
4 篇 上海矽睿科技有限...
4 篇 北京航天控制仪器...
4 篇 河南农业大学
3 篇 东南大学
3 篇 立积电子股份有限...
3 篇 哈尔滨工程大学
2 篇 华中科技大学
2 篇 上海矽睿科技股份...
2 篇 江苏元宇汇芯电子...
2 篇 航天长征火箭技术...

作者

10 篇 邹波
8 篇 郑青龙
7 篇 王玲
7 篇 乔东海
5 篇 孙泉
5 篇 齐敏
5 篇 wang ling
5 篇 刘爽
4 篇 liu jun
4 篇 王卫东
4 篇 李维平
4 篇 兰之康
4 篇 贾建援
4 篇 裘进
3 篇 李燕
3 篇 金仲和
3 篇 刘晓为
3 篇 付世
3 篇 洪利
3 篇 方岚

语言

144 篇 中文
1 篇 英文

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一种类回字形的三轴电容式加速度计

一种类回字形的三轴电容式加速度计

引用

作者：戴丽萍吴铁清陈志刚 610000 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

本发明公开一种类回字形的三轴电容式加速度计。所述的加速度计包括带阻尼孔的惯性质量块、弹性折叠梁、固定梳齿电极和与质量块相连的可动梳齿电极。采用SOI硅片制成，其成本低且工艺简单。质量块呈类回字形结构，通过八个弹性折叠梁... 详细信息

标准号: CN116008593A

本发明公开一种类回字形的三轴电容式加速度计。所述的加速度计包括带阻尼孔的惯性质量块、弹性折叠梁、固定梳齿电极和与质量块相连的可动梳齿电极。采用SOI硅片制成，其成本低且工艺简单。质量块呈类回字形结构，通过八个弹性折叠梁连接至支撑锚点。利用单一的质量块来感测三个轴向加速度，可极大节省芯片面积，提高集成度。三个轴向皆设置有独立的多组梳齿电极对来构成差分电容检测结构，有效避免了交叉干扰；Z轴向采用不等高均置式梳齿电极，利用变面积型检测结构并且增加了梳齿电极板的数量，有效提升了检测精度和灵敏度。

关键词：质量块弹性折叠梳齿电极轴向检测电容式加速度计固定梳齿电极可动梳齿电极惯性质量块回字形结构变面积型差分电容加速度计交叉干扰集成度不等高电极板回字形灵敏度阻尼孔感测锚点三轴梳齿芯片支撑

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一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器

一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器

引用

作者：刘云涛赵文博杨璐郭书宏 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室

本发明公开了一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器，属于MEMS惯性器件领域。采用开关电容结构，主要由开关，电容，可变电容阵列，运算放大器组成。通过分时复用、分时输出实现开关电容可编程增益放大器的连续信号输出，并实现... 详细信息

标准号: CN110535442B

本发明公开了一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器，属于MEMS惯性器件领域。采用开关电容结构，主要由开关，电容，可变电容阵列，运算放大器组成。通过分时复用、分时输出实现开关电容可编程增益放大器的连续信号输出，并实现全差分电路结构；通过相关双采样技术消除低频噪声和失调；可变电容阵列的n个电容呈指数分布，利用程序控制可变电容阵列来实现2ⁿ种不同的电容值，可变电容阵列选择采样电容而不是反馈电容，避免对放大器性能的影响。本发明可以实现2ⁿ种可调增益，大大提高了电路精度，能够适用于不同的电容式加速度传感器敏感结构，并实现多量程检测。

关键词：可变电容阵列电容可编程增益放大器电容式加速度传感器电容式加速度计放大器差分电路结构开关电容结构运算放大器采样电容程序控制低频噪声反馈电容分时复用惯性器件开关电容可调增益连续信号敏感结构指数分布输出多量程双采样分时失调电路检测应用

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一种电容式加速度计的接口电路

一种电容式加速度计的接口电路

引用

作者：汪鹏君李翔宇李刚叶浩陈博 325000 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器

本发明公开了一种电容式加速度计的接口电路，包括片上自检电路、低噪声电荷放大器、相关双采样电路、PID反馈控制电路、相位补偿电路和Sigma‑Delta，自检测信号经低噪声电荷放大器被放大，然后经过相关双采样电路将低频噪声和失调滤除... 详细信息

标准号: CN115825477A

本发明公开了一种电容式加速度计的接口电路，包括片上自检电路、低噪声电荷放大器、相关双采样电路、PID反馈控制电路、相位补偿电路和Sigma‑Delta，自检测信号经低噪声电荷放大器被放大，然后经过相关双采样电路将低频噪声和失调滤除，再经过PID反馈控制电路将自检测通路和电容式加速度传感器的工作通路时域上进行分离，相位补偿电路对信号进行零点和极点补偿，Sigma‑Delta将模拟信号转换成高精度的数字信号；优点是能够实现电容式加速度计的自检测，避免独立设置自检测模块占据电容式加速度计较大面积，而且不会影响电容式加速度计的输出精度，不需要级联高阶高通滤波器，不会导致使用成本增加。

关键词：自检测电容式加速度计反馈控制电路相位补偿电路电荷放大器双采样电路低噪声电容式加速度传感器模拟信号转换高通滤波器自检测信号低频噪声独立设置工作通路极点补偿加速度计接口电路数字信号影响电容自检电路电容式高阶级联滤除时域失调放大输出占据

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一种MEMS电容式加速度计接口电路

一种MEMS电容式加速度计接口电路

引用

作者：齐敏孙泉乔东海 100190 北京市海淀区北四环西路21号

本发明涉及一种MEMS电容式加速度计接口电路，包括敏感单元和读出装置；读出装置包括：开关、前置放大器和正参考电压以及共模电压产生电路；正参考电压以及共模电压产生电路包括升压电荷泵以及第一低噪声线性稳压器和第二低噪声线性稳... 详细信息

标准号: CN110350905B

本发明涉及一种MEMS电容式加速度计接口电路，包括敏感单元和读出装置；读出装置包括：开关、前置放大器和正参考电压以及共模电压产生电路；正参考电压以及共模电压产生电路包括升压电荷泵以及第一低噪声线性稳压器和第二低噪声线性稳压器；其中，第一低噪声线性稳压器和升压电荷泵构成正参考电压产生电路，第二低噪声线性稳压器和升压电荷泵构成共模电压产生电路；其中，正参考电压产生电路用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并转化为相当于低输入电源电压两倍的正参考电压；共模电压产生电路用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并转化为相当于低输入电源电压一半的共模电压。

关键词：产生电路正参考电压共模电压输入电源电压线性稳压器低噪声升压电荷泵读出装置电容式加速度计前置放大器接口电路敏感单元转化

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一种基于电阻尼调节的低温度灵敏度电容式加速度计结构

一种基于电阻尼调节的低温度灵敏度电容式加速度计结构

引用

作者：裘安萍施芹夏国明赵阳黄锦阳 210094 江苏省南京市孝陵卫200号

本发明公开了一种基于电阻尼调节的低温度灵敏度电容式加速度计结构，包括上层单晶硅、中间层单晶硅和下层单晶硅，中间层单晶硅片上制作的为硅微电容式加速度计机械结构，包括质量块、三折支撑梁、检测电容、阻尼调节电容和固定锚点；... 详细信息

标准号: CN118226081A

本发明公开了一种基于电阻尼调节的低温度灵敏度电容式加速度计结构，包括上层单晶硅、中间层单晶硅和下层单晶硅，中间层单晶硅片上制作的为硅微电容式加速度计机械结构，包括质量块、三折支撑梁、检测电容、阻尼调节电容和固定锚点；质量块通过多根三折梁与对称设置在质量块敏感方向上的固定基座相连，检测电容由布置在质量块上的活动检测梳齿和固定检测梳齿组成，梳齿的长度方向与加速度计敏感轴垂直，活动检测梳齿与固定检测梳齿交错布置；阻尼调节电容由布置在质量块的活动调节梳齿和固定调节梳齿组成，梳齿的长度方向与加速度计敏感轴平行，活动调节梳齿与固定调节梳齿构成变面积电容；本发明可实现阻尼系数的调节，并降低加速度计温度系数。

关键词：梳齿质量块加速度计单晶硅固定检测梳齿固定调节活动调节活动检测检测电容阻尼调节敏感轴中间层电容三折电容式加速度计变面积电容硅微电容式温度灵敏度单晶硅片对称设置固定基座机械结构交错布置温度系数阻尼系数电阻尼固定锚支撑梁下层平行垂直上层敏感制作

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一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法

一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法

引用

作者：刘晓为陈东亮尹亮付强张宇峰 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

本发明公开了一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法，所述测量系统包括平衡式电容电桥与检测接口电路两部分，平衡式电容电桥由第一匹配电容Cref1、第二匹配电容Cref2和MEMS电容式加速度计构成；检测接口电路由第一电荷放... 详细信息

标准号: CN109738670B

本发明公开了一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法，所述测量系统包括平衡式电容电桥与检测接口电路两部分，平衡式电容电桥由第一匹配电容C_ref1、第二匹配电容C_ref2和MEMS电容式加速度计构成；检测接口电路由第一电荷放大器、第二电荷放大器、仪表放大器、频谱分析仪、第一反馈电容C_f1、第二反馈电容C_f2构成。本发明的测量系统可以实现对MEMS电容式加速度计中敏感电容的驱动和检测以及对不同特征参数的分离提取。本发明的电学测量方法以电学测量系统为基础，配合精确的传感器姿态控制，可以准确的实现MEMS电容式加速度计的特征参数的测量，进而为后续接口电路的设计工作提供参考和指导。

关键词：电容式加速度计测量系统接口电路特征参数电荷放大器电容电桥反馈电容匹配电容平衡式检测测量电学测量系统传感器姿态频谱分析仪仪表放大器电学测量分离提取敏感电容驱动参考配合

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一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器

一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器

引用

作者：刘云涛赵文博杨璐郭书宏 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室

标准号: CN110535442A

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一种MEMS闭环电容式加速度计高线性控制方法及系统

一种MEMS闭环电容式加速度计高线性控制方法及系统

引用

作者：陶启杨军陈李 214131 江苏省无锡市新吴区观山路1号106-3

本发明涉及MEMS惯性器件领域，具体涉及一种MEMS闭环电容式加速度计高线性控制方法及系统，在不进行额外的非补偿的情况下，通过计算闭环控制量，计算出施加至上极板的上极板电压UT和施加至下极板的下极板电压UB；通过施加电压产生的静... 详细信息

标准号: CN116125099A

本发明涉及MEMS惯性器件领域，具体涉及一种MEMS闭环电容式加速度计高线性控制方法及系统，在不进行额外的非补偿的情况下，通过计算闭环控制量，计算出施加至上极板的上极板电压U_T和施加至下极板的下极板电压U_B；通过施加电压产生的静电力抵消质量块在加速度作用下敏感到的惯性力，并根据闭环控制量计算加速度测量值，在减小运算量的同时，提升了闭环电容式加速度计的线性度，进一步提升了闭环电容式加速度计的性能。

关键词：电容式加速度计闭环闭环控制量下极板施加加速度测量加速度作用惯性器件施加电压非补偿高线性惯性力静电力上极板线性度运算量质量块极板减小抵消

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用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构及装置

用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构及装置

引用

作者：来新泉黄铭豪王宇恒李文岑李继生 710000 陕西省西安市高新区唐延路25号银河新坐标A座12层1204号A030

本发明公开了一种用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构及装置，其包括传感单元、转换单元、解调单元、减法单元以及滤波单元，其中，传感单元用于接收三轴加速度信号，根据三轴加速度信号耦合输出一路调制电荷信号；转换单元... 详细信息

标准号: CN115792281A

本发明公开了一种用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构及装置，其包括传感单元、转换单元、解调单元、减法单元以及滤波单元，其中，传感单元用于接收三轴加速度信号，根据三轴加速度信号耦合输出一路调制电荷信号；转换单元与传感单元连接，用于将调制电荷信号转换为调制电压信号；解调单元与转换单元连接，用于将调制电压信号解调为三路差分电压信号；减法单元与解调单元连接，用于将三路差分电压信号转换为三路单端电压信号；滤波单元与减法单元连接，用于滤除三路单端电压信号的噪声与高频分量。本发明所公开的用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构节约了资源和成本。

关键词：三路传感单元减法单元解调单元转换单元电容式加速度计三轴加速度信号差分电压信号调制电压信号端电压信号电荷信号读出电路滤波单元复用调制架构高频分量耦合输出转换解调滤除噪声节约

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一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法

一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法

引用

作者：刘晓为陈东亮尹亮付强张宇峰 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

标准号: CN109738670A

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