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机构

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作者

  • 2 篇 王跃林
  • 1 篇 李忻
  • 1 篇 张慧
  • 1 篇 车录锋
  • 1 篇 单森林
  • 1 篇 韩明
  • 1 篇 解健芳

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=电容式微差压传感器"
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新型超薄机械电容式微差压传感器
新型超薄机械电容式微差压传感器
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作者： 张慧 518126 广东省深圳市宝安区西乡街道固戍社区保安大道4159号华万综合楼D栋201
本实用新型公开了新型超薄机械电容式微差压传感器，包括产品标签，所述产品标签的下表面固定安装有注塑外壳，所述注塑外壳的内部固定安装有三爪支架，所述注塑外壳的内部位于三爪支架的下方位置上固定安装有PCB。本实用新型所述的新... 详细信息
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一种新型超薄机械电容式微差压传感器
一种新型超薄机械电容式微差压传感器
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作者： 单森林 300384 天津市西青区华苑产业区火炬大厦2001室
本实用新型提供一种新型超薄机械电容式微差压传感器，涉及传感器设备技术领域，包括：护壳，所述护壳的内部分别固定安装有元件规整机构和数据处理机构，所述护壳的内壁底部分别固定安装有聚气仓、检测仓和信息处理仓，通过将不同功能... 详细信息
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一种对称电容式微差压伺服传感器
一种对称电容式微差压伺服传感器
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 韩明 王跃林 解健芳 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
该文报道一种测量差压值在1Pa-100Pa左右的高灵敏度差压传感器。在有限元分析的方法对结构进行形变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论计算。在此结果上结合工艺条件，最终确定结构参数。实际工艺上用浓硼扩散... 详细信息
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一种超薄硅薄膜的制作方法
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功能材料与器件学报 2002年 第4期8卷 388-390页
作者： 李忻 车录锋 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在... 详细信息
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