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检索条件"主题词=电弧离子镀设备"
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电弧离子镀设备
电弧离子镀设备
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作者: 唐道远 杨敏 汤全丰 陈福平 200336 上海市长宁区兴义路8号30层
本实用新型提供一种电弧离子镀设备,所述电弧离子镀设备包括:真空腔室;若干个电弧蒸发源,所述电弧蒸发源设置于所述真空腔室的侧壁,沿侧壁的周向设置;若干对竖向设置的电极对,所述电极对设置于相邻的两个所述电弧蒸发源的间隙空... 详细信息
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电弧离子镀设备
电弧离子镀设备
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作者: 玉垣浩 藤井博文 冲本忠雄 宫本僚次 日本兵库县神户市
一种电弧离子镀设备包括:真空室、用于使基质在真空室内垂直于其高度方向进行移动的旋转台、用于通过金属离子清洁基质表面的用于进行轰击的电弧蒸发源和用于在所述基质表面上沉积金属离子的沉积组电弧蒸发源。所述沉积组电弧蒸发源包... 详细信息
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离子束稳流装置及电弧离子镀设备
离子束稳流装置及电弧离子镀设备
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作者: 廖斌 欧阳潇 陈琳 罗军 英敏菊 庞盼 100875 北京市海淀区新街口外大街19号
本发明公开一种离子束稳流装置,包括弧电源、阴极组件以及触发组件,其中,弧电源的正极接地;阴极组件包括阴极靶材和靶材座,靶材座处还设置永磁体;触发组件包括触发电极、触发针和辅助阳极板。弧电源在靶材座和触发电极施加电压,... 详细信息
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一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备
一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备
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作者: 刘若岚 650000 云南省昆明市中国(云南)自由贸易试验区昆明片区官渡区高原明珠五金机电商城C9-C10幢C10-12号
本实用新型公开了一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备,包括设备主体,所述设备主体的内部设置有电机,所述电机的上端外表面设置有转台,所述转台的上端外表面设置有液压柱和底座。通过在转台的上端外表面设置有液压柱,连接板通过... 详细信息
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一种电弧离子镀设备的双靶结构
一种电弧离子镀设备的双靶结构
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作者: 蒋孝文 刘朋 214000 江苏省无锡市惠山区钱桥街道东风社区锡杨线
本实用新型公开了一种电弧离子镀设备的双靶结构,涉及电弧离子镀技术领域。本实用新型包括外壳,外壳的外部设置有连接壳,连接壳的内侧设置有位置调节组件,位置调节组件包括滑轨,滑轨固定连接在连接壳的内侧,滑轨的内侧滑动连接有... 详细信息
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一种电弧离子镀设备的双靶结构
一种电弧离子镀设备的双靶结构
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作者: 卢国英 石昌仑 石武昌 兰睿 225600 江苏省常州市武进区常州科教城大连理工常州研究院C104室
本实用新型公开了一种电弧离子镀设备的双靶结构。在一个蒸发源法兰设置两个靶位,在两个靶位中间,设置一台弧电源,即同一个蒸发源共用一台弧电源。涂层相同的涂层厚度,比如涂层厚度3微米,涂层时候从360min缩短到200min;可以扩展... 详细信息
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一种等离子体增强制备精密涂层的电弧离子镀设备
一种等离子体增强制备精密涂层的电弧离子镀设备
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作者: 林国强 韩治昀 魏科科 213164 江苏省常州市武进区常武中路801号常州科教城
一种等离子体增强制备精密涂层的电弧离子镀设备,属于材料表面改性技术领域,该设备中,包括真空腔室,真空腔室底部活动安装有旋转平台,旋转平台上放置工件,旋转平台与工件偏压电源负极相连,旋转平台与真空腔室绝缘,工件偏压电源... 详细信息
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一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备
一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备
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作者: 华伟刚 曲士广 264003 山东省烟台市莱山区盛泉工业园富明路9号
本实用新型属于管内壁薄膜沉积领域,具体来讲是一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备。该设备包括置于真空室内的管状等离子靶材,管状真空聚焦永磁体,等离子弧引弧装置,其中,管状等离子靶材的两端通过绝缘密封法兰与真空室壳连接上... 详细信息
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一种电弧离子镀设备
一种电弧离子镀设备
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作者: 杜昊 赵彦辉 肖金泉 宋贵宏 熊天英 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
本实用新型涉及薄膜和涂层制备领域,为一种用以在长管内表面和深孔器件孔内壁沉积薄膜或涂层的电弧离子镀设备,该电弧离子镀设备设有三套磁场发生装置,对阴极靶发射的金属离子流进行聚束的第一磁场发生装置,在真空室外与阴极靶后面... 详细信息
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一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备
一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备
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作者: 华伟刚 曲士广 264003 山东省烟台市莱山区盛泉工业园富明路9号
本发明属于管内壁薄膜沉积领域,具体来讲是一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备。该设备包括置于真空室内的管状等离子靶材,管状真空聚焦永磁体,等离子弧引弧装置,其中,管状等离子靶材的两端通过绝缘密封法兰与真空室壳连接上,管... 详细信息
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