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作者

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102 篇 中文

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电阻式压力传感器及其制备方法

电阻式压力传感器及其制备方法

引用

作者：田玉玉张凯钟卫洲吴菊英何韧许文聪李建 621908 四川省绵阳市绵山路64号

本发明公开了一种电阻式压力传感器及其制备方法，可调本征特性导电涂层具有高电导率且电导率具有可调性，解决了由于体相电阻大和低介电常数材料引起的电流损失问题，同时该可调本征特性导电涂层具有可调控的表面微结构，解决了由于弹... 详细信息

标准号: CN117309204A

本发明公开了一种电阻式压力传感器及其制备方法，可调本征特性导电涂层具有高电导率且电导率具有可调性，解决了由于体相电阻大和低介电常数材料引起的电流损失问题，同时该可调本征特性导电涂层具有可调控的表面微结构，解决了由于弹性体表面微结构变形饱和引起的灵敏度降低问题，从而提高压力传感器件的线性测试范围；所制备的压力传感器适用的压强测试范围与导电涂层的表面粗糙度、导电性、微结构共面电极的间距以及所选择的弹性体的力学性能和表面结构有关，从而提高传感器件的可设计性；可调本征特性导电涂层以化学键合方式吸附于弹性体基底或共面电极上，不会改变弹性体基底或共面电极的表面结构和整体形状，从而提高传感器件的稳定性。

关键词：导电涂层本征特性共面电极可调表面结构传感器件微结构基底制备电阻式压力传感器低介电常数材料压力传感器件导电性电导率表面粗糙度表面微结构弹性体表面灵敏度降低压力传感器电流损失高电导率化学键合可设计性力学性能线性测试压强测试整体形状可调控可调性电阻体相吸附饱和变形

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基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器研究

基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器研究

引用

作者：李云霞兰州大学

学位级别：博士

随着科学技术的发展,柔性压力传感器在人们的生活中正发挥着越来越重要的作用,并逐渐成为科学研究的热点之一。为了满足市场发展的需求,各种类型的柔性压力传感器陆续涌现,包括电容式的、压电式的和电阻式的。相比于电容式和压电式的,... 详细信息

随着科学技术的发展,柔性压力传感器在人们的生活中正发挥着越来越重要的作用,并逐渐成为科学研究的热点之一。为了满足市场发展的需求,各种类型的柔性压力传感器陆续涌现,包括电容式的、压电式的和电阻式的。相比于电容式和压电式的,电阻式的柔性压力传感器具有传感原理简单、信噪比高和传感性能稳定等优势。因此,基于电阻式的柔性压力传感器在社会生产中被广泛的应用。但是,当前研究的电阻式柔性压力传感器普遍存在制备工艺复杂、成本高、不能兼顾灵敏度及应力响应范围和循环稳定性差的问题。在本论文中,针对不能兼顾灵敏度和应力响应范围问题,我们采用简单廉价的方法从修饰三维结构的导电表面积、调节传感材料的物理特性（导电性和杨氏模量）和增加传感材料与电极之间的接触电阻这三种途径着手解决。其次,在制备过程中,我们采用将金属材料半埋藏在柔性基底表面、电沉积和热处理这三种方法来提高导电材料与柔性基底之间的结合力,解决了循环稳定性差的问题。具体研究内容如下:（1）通过选用不同模板增大三维多孔结构导电表面积来优化传感器的传感性能。本论文分别以三维泡沫镍和方糖作为模板构建多孔结构。传感性能测试结果显示,基于泡沫镍为模板制备的柔性压力传感器的最高灵敏度为2.48 kPa-1,整个应力响应范围为0-120 kPa。而以方糖为模板制备的柔性压力传感器,最高灵敏度为6.24 kPa-1,整个应力的响应范围为0-160 kPa。相比于镍骨架的尺寸（50μm）,糖具有较大的粒径（200μm）,将其作为模板制备的三维结构具有较大的导电表面积,能够提供更多的导电通道。另外,采用将导电材料半包裹在柔性基底的方式可使传感器在周期性应力作用下的循环次数达3700次后仍没有性能的明显衰减。通过构建多孔次级结构进一步提高三维多孔结构导电表面积。传感性能测试结果显示,基于此多孔次级结构的柔性压力传感器的整个应力响应范围为0-60kPa。在0-20 kPa的应力范围内,传感器的灵敏度为28 kPa-1,在20-60 kPa的应力范围内,传感器的灵敏度为12.7 kPa-1。此外,为了进一步提高传感器的循环稳定性,将导电材料由金属纳米线（AgNWs）转换成导电聚合物（PPy）,并使用电沉积方法增加基底与导电材料之间的结合力。此传感器的循环次数可达16000次。（2）通过复合的办法调控传感材料的导电性和杨氏模量来提高传感器的传感性能。我们利用一步水热法制备了不同AgNWs复合质量的泡沫碳。研究结果表明,当GO与AgNWs的质量比达到2:1时,传感器的传感性能达到了最佳。传感器的整个应力响应范围为0-75 kPa,最高灵敏度为25.5 kPa-1。相比基于纯泡沫碳的柔性压力传感器的传感性能,使用AgNWs复合之后,传感器的灵敏度提升了2倍以上,应力响应范围增加了0.5倍以上。此外,基于最佳质量比制备的传感器还具有很好的循环稳定性。在3 kPa的应力下,传感器循环10000次之后,电流的响应值仍保持最初的99%。（3）为了进一步改善基于三维多孔结构传感器的传感性能,我们从增加传感材料与电极界面接触电阻入手。本文选用表面具有微结构的多孔碳布作为柔性压力传感器的电极。研究结果表明,以多孔碳布作为电极,传感器最大应力响应值可达500 kPa,比基于表面没有微结构电极的传感器应力响应范围提升了10倍。在150-500 kPa的应力范围内,该传感器的灵敏度仍可以达到34 kPa-1,并且具有较低的应力监测极限（1 Pa）。除此之外,采用热处理的方式增加了导电材料与基底之间的结合力,使得传感器具有优异的循环稳定性,在35 kPa的高应力下循环10000圈之后,传感器电流响应最高值仍保持最初的99%。不仅如此,通过使用碳布作为电极即降低了传感器在未受力时的消耗功率（微瓦量级）又能实现了压力传感器全柔性。本论文针对目前制约电阻式柔性压力传感器大范围推广应用的问题,从调控传感材料物理特性、优化结构设计等方面入手,极大地提升了柔性压力传感器传感性能,使其满足在智能设备领域的应用需求。

关键词：电阻式压力传感器柔性宽响应范围高灵敏度三维多孔结构

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电阻式压力传感器及制备方法

电阻式压力传感器及制备方法

引用

作者：刘忠范魏迪任华英郑黎明 100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

提供一种电阻式压力传感器，包括聚二甲基硅氧烷薄膜/石墨烯薄膜/高分子聚合物纤维网络/高分子聚合物纤维网络/石墨烯薄膜/聚二甲基硅氧烷薄膜结构，其中所述聚二甲基硅氧烷薄膜与所述石墨烯薄膜接触的表面具有微纳结构。本发明的电阻... 详细信息

标准号: CN107782475A

提供一种电阻式压力传感器，包括聚二甲基硅氧烷薄膜/石墨烯薄膜/高分子聚合物纤维网络/高分子聚合物纤维网络/石墨烯薄膜/聚二甲基硅氧烷薄膜结构，其中所述聚二甲基硅氧烷薄膜与所述石墨烯薄膜接触的表面具有微纳结构。本发明的电阻式压力传感器的传感范围较宽，灵敏度、精确度高，性能稳定、耐用。

关键词：聚二甲基硅氧烷薄膜石墨烯薄膜电阻式压力传感器高分子聚合物纤维微纳结构灵敏度传感网络

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电阻式压力传感器及其制备方法

电阻式压力传感器及其制备方法

引用

作者：贾美玲易成汉何可张道书徐国良王忠国陈明杨春雷 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号

本发明公开了一种电阻式压力传感器及其制备方法，所述电阻式压力传感器包括相对设置的第一电极层和第二电极层以及设置在第一电极层和第二电极层之间的层间介质层；所述第一电极层和第二电极层分别为导电纤维布，所述层间介质层中设置... 详细信息

标准号: CN111829699A

本发明公开了一种电阻式压力传感器及其制备方法，所述电阻式压力传感器包括相对设置的第一电极层和第二电极层以及设置在第一电极层和第二电极层之间的层间介质层；所述第一电极层和第二电极层分别为导电纤维布，所述层间介质层中设置有通孔，所述通孔的一端连通至所述第一电极层，所述通孔的另一端连通至所述第二电极层。所述电阻式压力传感器具有高灵敏度、大的测量范围和能耗低的特性，能够满足在压力传感器的应用领域中日益增长的需求；另外，该压力传感器的结构简单、其制备工艺难度低，易于大规模生产。

关键词：第二电极第一电极电阻式压力传感器通孔层间介质层压力传感器连通导电纤维布高灵敏度相对设置制备工艺制备能耗测量

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电阻式压力传感器及制备方法

电阻式压力传感器及制备方法

引用

作者：刘忠范魏迪任华英郑黎明 100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

标准号: CN107782475B

关键词：聚二甲基硅氧烷薄膜石墨烯薄膜电阻式压力传感器高分子聚合物纤维微纳结构灵敏度传感网络

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一种高灵敏度大量程电阻式压力传感器及其制作工艺

一种高灵敏度大量程电阻式压力传感器及其制作工艺

引用

作者：焦健王党校陈悦王小鑫邱鹏飞郑凯锋 518000 广东省深圳市南山区兴科一街2号

本申请公开了一种高灵敏度大量程电阻式压力传感器及其制作工艺，所述高灵敏度大量程电阻式压力传感器包括第一传感层和第二传感层，其中，所述第一传感层包括第一衬底层，以及设置于所述第一衬底层上的第一弹性导线和传感单元，其中，... 详细信息

标准号: CN116222840A

本申请公开了一种高灵敏度大量程电阻式压力传感器及其制作工艺，所述高灵敏度大量程电阻式压力传感器包括第一传感层和第二传感层，其中，所述第一传感层包括第一衬底层，以及设置于所述第一衬底层上的第一弹性导线和传感单元，其中，所述传感单元包括高度不同的多层级锥形体，所述锥形体由电阻材料制成；所述第二传感层包括第二衬底层，以及设置于所述第二衬底层上的第二弹性导线。本申请解决了现有技术电阻式压力传感器通用性较差的技术问题，有效提高电阻式压力传感器通用性。

关键词：电阻式压力传感器衬底层传感层传感单元弹性导线高灵敏度大量程锥形体电阻材料制作工艺多层级申请

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压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法

压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法

引用

作者：吕萍瞿滕汇睿 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW09-102

本发明提供了一种压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法，旨在通过在玻璃基板内制作贯穿所述玻璃基板厚度方向上的导电结构以及部分贯穿所述玻璃基板的空腔，然后将具有导电结构及空腔的所述玻璃基板与具有至少一个压阻以及与所... 详细信息

标准号: CN115403005A

本发明提供了一种压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法，旨在通过在玻璃基板内制作贯穿所述玻璃基板厚度方向上的导电结构以及部分贯穿所述玻璃基板的空腔，然后将具有导电结构及空腔的所述玻璃基板与具有至少一个压阻以及与所述至少一个压阻对应电连接的第一焊盘的硅衬底进行键合，采用本发明实施例提供的技术方案，具有键合成本低、制作工序简单的优点，而且电性能的引出方式简单。

关键词：玻璃基板导电结构空腔压阻制作电阻式压力传感器压力感测模组引出方式电连接电性能硅衬底贯穿焊盘键合合成

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一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器

一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器

引用

作者：崔震林雷浩李俊熙王秋孙旭辉 313009 浙江省湖州市南浔区双林镇倪家滩村姚圩慕88号国际人才产业园7号楼3楼

本发明提供了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括如下步骤：提供第一基底和第二基底；在所述第一基底上形成电极层；在所述第二基底上形成微结构压敏膜组，所述微结构压敏膜组由平面... 详细信息

标准号: CN116295978A

本发明提供了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括如下步骤：提供第一基底和第二基底；在所述第一基底上形成电极层；在所述第二基底上形成微结构压敏膜组，所述微结构压敏膜组由平面敏感膜层和至少一层图案化敏感膜层组成，所述微结构压敏膜组的最内层为平面敏感膜层，所述微结构压敏膜组的最外层为图案化敏感膜层，最外层的所述图案化敏感膜层与所述电极层之间具有间距，所述图案化敏感膜层是利用丝网印刷方法制备获得的。本发明解决了现有技术中电阻式压敏传感器制造设备昂贵，工艺复杂，成本高，难以广泛运用的问题。

关键词：敏感膜层图案化微结构基底压敏电阻式压力传感器制备电极层最外层压敏传感器丝网印刷制造设备电阻式最内层

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一种电阻式压力传感器用力学敏感材料及其制备方法和应用

一种电阻式压力传感器用力学敏感材料及其制备方法和应用

引用

作者：张晓雨宋仕强杨炯李乔印雪飞 215000 江苏省苏州市吴江平望镇梅堰高新技术开发区新南村8号

本发明公开了一种电阻式压力传感器用力学敏感材料及其制备方法和应用，采用能够溶解聚对苯二甲酸乙二醇酯且不能溶解聚乙烯醇的溶剂分散聚对苯二甲酸乙二醇酯和碳纳米管，然后将分散液涂覆在聚乙烯醇纤维的表面，之后刻蚀消除聚乙烯醇... 详细信息

标准号: CN117230539A

本发明公开了一种电阻式压力传感器用力学敏感材料及其制备方法和应用，采用能够溶解聚对苯二甲酸乙二醇酯且不能溶解聚乙烯醇的溶剂分散聚对苯二甲酸乙二醇酯和碳纳米管，然后将分散液涂覆在聚乙烯醇纤维的表面，之后刻蚀消除聚乙烯醇纤维，获得中空结构的中间体，通过浸泡的方式在该中间体上设置MXene材料，该方式制备的力学敏感材料不仅具有中空结构，而且还兼具内外双导电电子网络，当材料受到力的作用发生形变时向导电电子网络的通路中输送并放大形变产生的电信号，尤其是中空结构的形变改变了导电网络，使材料或由其制备的传感器具有更高的灵敏度、更宽的压力传感范围、隔热保温性好、柔韧性佳，适于制备可穿戴式的电阻式压力传感器。

关键词：中空结构形变制备聚对苯二甲酸乙二醇酯电阻式压力传感器聚乙烯醇纤维力学敏感材料导电电子溶解制备方法和应用隔热保温性柔韧性导电网络分散液涂聚乙烯醇可穿戴式溶剂分散碳纳米管压力传感灵敏度传感器刻蚀浸泡放大网络

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压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法

压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法

引用

作者：吕萍瞿滕汇睿 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW09-102

标准号: CN115403005B

关键词：玻璃基板导电结构空腔压阻制作电阻式压力传感器压力感测模组引出方式电连接电性能硅衬底贯穿焊盘键合合成

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