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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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1,602 篇 专利
1 篇 期刊文献

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学科分类号

1 篇 理学
- 1 篇 化学

主题

1 篇 二维分布
1 篇 so2相机
1 篇 线性响应
1 篇 目标气体

机构

22 篇 中国科学院合肥物...
21 篇 皇家飞利浦有限公...
17 篇 中国石油化工股份...
16 篇 华中科技大学
16 篇 海尔智家股份有限...
15 篇 陕西青朗万城环保...
15 篇 中国科学技术大学
14 篇 国家电网有限公司
14 篇 霍尼韦尔国际公司
14 篇 河南汉威电子股份...
13 篇 英飞凌科技股份有...
12 篇 珠海格力电器股份...
12 篇 电子科技大学
12 篇 苏州慧闻纳米科技...
11 篇 中国石油天然气股...
11 篇 美的集团股份有限...
11 篇 防灾科技学院
11 篇 重庆大学
10 篇 南京信息工程大学
10 篇 北京防灾科技有限...

作者

19 篇 鲁一江
19 篇 孙旭辉
15 篇 马中发
15 篇 蔡晓娟
15 篇 张涛
12 篇 李明辉
12 篇 张平平
12 篇 金鑫
12 篇 刘欢
12 篇 张永超
12 篇 王书潜
11 篇 刘广虎
10 篇 张鹏
10 篇 张勇
10 篇 张广来
9 篇 张蕴哲
9 篇 张书敏
9 篇 王琦
9 篇 请求不公布姓名
9 篇 于志伟

语言

1,603 篇 中文

检索条件"主题词=目标气体"

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排序：

目标气体含量控制方法和半导体工艺设备

目标气体含量控制方法和半导体工艺设备

引用

作者：郑旺军王凯汪小雨 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本申请公开一种目标气体含量控制方法和半导体工艺设备，其中目标气体含量控制方法用于控制半导体工艺设备装卸载腔室中目标气体的含量，包括：获取所述装卸载腔室内所述目标气体的目标含量和当前含量之间的含量差值；将所述装卸载腔室... 详细信息

标准号: CN115708191A

本申请公开一种目标气体含量控制方法和半导体工艺设备，其中目标气体含量控制方法用于控制半导体工艺设备装卸载腔室中目标气体的含量，包括：获取所述装卸载腔室内所述目标气体的目标含量和当前含量之间的含量差值；将所述装卸载腔室的压力值和所述含量差值分别映射至对应的模糊论域，根据各个映射结果确定模糊控制参数；将所述模糊控制参数转换至物理论域，得到初始控制参数；根据所述初始控制参数控制吹扫入所述装卸载腔室的吹扫气体流量，以控制所述装卸载腔室内所述目标气体的含量。本申请能够减少目标气体含量控制时的吹扫气体用量。

关键词：目标气体装卸含量控制腔室半导体工艺设备模糊控制参数控制参数吹扫气体流量室内吹扫气体模糊论域映射结果物理论吹扫映射申请转换

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目标气体计量表

目标气体计量表

引用

作者：金鑫王书潜李明辉贾慧孙晓萍陈存广 450001 河南省郑州市高新技术开发区雪松路169号

本实用新型提供一种目标气体计量表，它包括气体计量表、微处理器电路、目标气体传感器、第一可控电磁阀、第二可控电磁阀、电磁阀供电电源、第一三通接头和第二三通接头；其中，所述目标气体传感器安装在所述第一三通接头内，所述微处... 详细信息

标准号: CN202748079U

本实用新型提供一种目标气体计量表，它包括气体计量表、微处理器电路、目标气体传感器、第一可控电磁阀、第二可控电磁阀、电磁阀供电电源、第一三通接头和第二三通接头；其中，所述目标气体传感器安装在所述第一三通接头内，所述微处理器电路连接所述目标气体传感器用于检测目标气体的含量，所述微处理器电路的两个电磁阀控制端分别连接所述第一可控电磁阀的控制端和所述第二可控电磁阀的控制端以便根据目标气体的含量实现对第一可控电磁阀和第二可控电磁阀的控制；第一可控电磁阀、第二可控电磁阀用于控制第一三通接头和第二三通接头的导通。该目标气体计量表具有设计科学、简单实用、开发周期短、研发成本低、易于改造、改造成本低的优点。

关键词：电磁阀三通接头目标气体目标气体传感器微处理器电路计量表电磁阀控制供电电源气体计量设计科学研发成本连接改造检测开发

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用于确定流体环境中的目标气体浓度的方法和系统

用于确定流体环境中的目标气体浓度的方法和系统

引用

作者： D·托马斯 T·霍华德美国加利福尼亚州

一种用于使用气体传感器来确定流体环境中的目标气体浓度的系统和方法，该系统和方法通过以下操作改善了该气体传感器的测量的效率和准确性：在不同温度下对该气体传感器的电气特性进行测量、在第一温度与第二温度之间的转变期间进行测... 详细信息

标准号: CN114072670A

一种用于使用气体传感器来确定流体环境中的目标气体浓度的系统和方法，该系统和方法通过以下操作改善了该气体传感器的测量的效率和准确性：在不同温度下对该气体传感器的电气特性进行测量、在第一温度与第二温度之间的转变期间进行测量、进行更频繁的测量、当该气体传感器达到平衡时进行检测、使用多个传感器、考虑偏移量和漂移、减少传感器不实时的时间、使用各种算法、或其任意组合。

关键词：气体传感器测量传感器漂移电气特性流体环境目标气体偏移量算法检测平衡

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一种从源气体中除去目标气体成分的方法和集成系统

一种从源气体中除去目标气体成分的方法和集成系统

引用

作者：王宝冬孙琦马铜锁 100081 北京市海淀区学院南路80号北楼115

提供一种用于从源气体中除去目标气体成分的方法，其包括：a）包含目标气体成分的源气体流经吸收塔，在其内部进行气体吸收，吸收后的贫气体进入水洗塔，b）水洗塔的循环的过量水循环使用，c）来自吸收塔底部的富液在贫-富液热交换器与... 详细信息

标准号: CN103463934B

提供一种用于从源气体中除去目标气体成分的方法，其包括：a）包含目标气体成分的源气体流经吸收塔，在其内部进行气体吸收，吸收后的贫气体进入水洗塔，b）水洗塔的循环的过量水循环使用，c）来自吸收塔底部的富液在贫-富液热交换器与来自再生塔底流出的贫液进行热交换后进入到再生塔的顶部，d）富液被上升的水蒸气汽提，得到的贫液从再生塔底部离开，供至吸收塔，e）包含目标气体的汽提蒸气混合物从再生塔的顶部离开，水蒸气在气液分离器中冷凝，目标气体离开气液分离器被转移到储存部，f）来自气液分离器的冷凝物被再次引入到吸收塔或水洗塔顶部。还提供一种用于从源气体中除去目标气体成分的集成系统。

关键词：目标气体吸收塔气液分离器源气体再生塔富液水蒸气水洗塔贫液汽提一种顶部冷凝物离开水循环使用吸收塔底部再生塔底部集成系统气体吸收热交换后热交换器混合物包含储存部贫气体塔顶部冷凝流经过量流出引入吸收转移进行内部

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用于确定气体样品中目标气体的浓度的热传感器装置及方法

用于确定气体样品中目标气体的浓度的热传感器装置及方法

引用

作者：安德里亚斯·鲁格大卫·基连尼马蒂亚斯·斯蒂德尼古拉斯·莫勒马克·霍尔农卢卡斯·比尔吉瑞士斯塔法

提供了用于确定气体样品中目标气体的浓度的热传感器装置及方法，气体样品还包括干扰气体。热传感器装置包括：包括第一温度传感器和第二温度传感器(TS1，TS2)的第一测量结构和第二测量结构(1，2)；以及可操作以经由气体样品使热转移至... 详细信息

标准号: CN116265926A

提供了用于确定气体样品中目标气体的浓度的热传感器装置及方法，气体样品还包括干扰气体。热传感器装置包括：包括第一温度传感器和第二温度传感器(TS1，TS2)的第一测量结构和第二测量结构(1，2)；以及可操作以经由气体样品使热转移至测量结构的加热器元件(31)。处理电路向加热器元件提供加热功率(P₃)，以及基于温度传感器对加热功率的响应得出输出信号(S)，输出信号指示气体样品中的目标气体的浓度。第一测量结构和第二测量结构具有不同的散热能力，以及处理电路根据来自第一温度传感器和第二温度传感器的温度信号的加权差得出输出信号。因此，可以减少或消除输出信号对干扰气体的浓度变化的交叉敏感性。

关键词：气体样品输出信号第二温度传感器第一温度传感器加热器元件处理电路第二测量第一测量干扰气体加热功率目标气体热传感器交叉敏感性温度传感器浓度变化散热能力温度信号可操作热转移加权测量响应

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一种目标气体最佳次数谐波信号测量装置及应用方法

一种目标气体最佳次数谐波信号测量装置及应用方法

引用

作者：蔡廷栋高光珍 221000 江苏省徐州市铜山区上海路101号

本发明涉及一种目标气体最佳次数谐波信号测量装置及应用方法，基于全新结构设计的目标气体最佳次数谐波信号测量装置，采用激光技术，准确实现了各种不同温度、压强下，目标气体最佳次数谐波信号的测量，尤其适用于极端环境下，目标气... 详细信息

标准号: CN107462521B

本发明涉及一种目标气体最佳次数谐波信号测量装置及应用方法，基于全新结构设计的目标气体最佳次数谐波信号测量装置，采用激光技术，准确实现了各种不同温度、压强下，目标气体最佳次数谐波信号的测量，尤其适用于极端环境下，目标气体最佳次数谐波信号的测量，并且能够大大提高了测量工作效率。

关键词：目标气体谐波信号测量装置测量压强测量工作效率激光技术极端环境应用

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废气供给方法及目标气体精制系统

废气供给方法及目标气体精制系统

引用

作者：住田俊彦笹野广昭三宅正训日本兵库县

本发明提供一种废气供给方法，利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，用填充了吸附剂的多个吸附塔(A、B、C)从混合气体中浓缩分离目标气体时，将从该吸附塔(A、B、C)排出的废气供给到废气消耗部件(1)。根据该方法，在构成所... 详细信息

标准号: CN100336577C

本发明提供一种废气供给方法，利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，用填充了吸附剂的多个吸附塔(A、B、C)从混合气体中浓缩分离目标气体时，将从该吸附塔(A、B、C)排出的废气供给到废气消耗部件(1)。根据该方法，在构成所述循环的全部步骤中，通过从至少一个所述吸附塔(A、B、C)排出所述废气，可以不间断地将该废气供给到所述废气消耗部件(1)。

关键词：吸附塔废气废气消耗部件废气供给方法变压吸附混合气体目标气体浓缩分离吸附剂填充

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确定目标气体的浓度的校准测量值的气体感测设备和方法

确定目标气体的浓度的校准测量值的气体感测设备和方法

引用

作者： S·肖博 C·卡伯内利德国诺伊比贝尔格

本公开的各实施例总体上涉及用于确定目标气体的浓度的校准测量值的气体感测设备和方法。一种用于感测目标气体的感测设备包括被配置用于提供关于浓度的测量的测量信息的测量模块。感测设备还包括被配置用于使用机器学习模型基于测量信... 详细信息

标准号: CN115219651A

本公开的各实施例总体上涉及用于确定目标气体的浓度的校准测量值的气体感测设备和方法。一种用于感测目标气体的感测设备包括被配置用于提供关于浓度的测量的测量信息的测量模块。感测设备还包括被配置用于使用机器学习模型基于测量信息确定浓度的已校准测量值的信号校准模块。信号校准模块还被配置用于使用已校准测量值确定反馈特征。信号校准模块还被配置用于使用机器学习模型用于基于关于浓度的后续测量的后续测量信息并且基于反馈特征确定后续已校准测量值。

关键词：校准测量测量感测设备信号校准使用机器配置反馈测量模块感测目标目标气体特征确定信息确定学习

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目标气体计量预付费燃气表

目标气体计量预付费燃气表

引用

作者：金鑫王书潜闫玉卿俎伟明李明辉张广来 450001 河南省郑州市高新技术开发区雪松路169号

本实用新型提供一种目标气体计量预付费燃气表，它包括壳体、预付费管理电路和进气管，预付费管理电路包括微处理器电路、目标气体检测传感器模块和计量信号采样电路，微处理器电路连接计量信号采样电路，目标气体检测传感器模块连接微... 详细信息

标准号: CN202711374U

本实用新型提供一种目标气体计量预付费燃气表，它包括壳体、预付费管理电路和进气管，预付费管理电路包括微处理器电路、目标气体检测传感器模块和计量信号采样电路，微处理器电路连接计量信号采样电路，目标气体检测传感器模块连接微处理器电路，目标气体检测传感器模块设置在气体回路中。该燃气表计量准确、易于改造。

关键词：目标气体微处理器电路传感器模块预付费采样电路管理电路计量信号燃气表检测计量气体回路进气管连接壳体改造

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测量目标气体的浓度

测量目标气体的浓度

引用

作者： M·科勒 F·赫内瑞士施泰法

电子设备(1)包括气体传感器(2)，气体传感器(2)对目标气体敏感，并布置在电子设备(1)的壳体内或附于其，以检测电子设备(1)的环境中的目标气体的浓度(camb)。提供了处理单元(4)，处理单元(4)配置为：根据气体传感器(2)响应于一个或更多... 详细信息

标准号: CN110998314A

电子设备(1)包括气体传感器(2)，气体传感器(2)对目标气体敏感，并布置在电子设备(1)的壳体内或附于其，以检测电子设备(1)的环境中的目标气体的浓度(c_amb)。提供了处理单元(4)，处理单元(4)配置为：根据气体传感器(2)响应于一个或更多个第一测量(PM)提供的一个或更多个第一测量结果(R_1,2)，确定壳体(3)内的或壳体(3)的一个或更多个部件释放的目标气体的浓度(c_B)；根据所确定的释放目标气体浓度(c_B)并根据气体传感器(2)响应于第二测量(OM)提供的第二测量结果(R_OM)，确定环境目标气体浓度(c_amb)。释放解释为从一个或更多个部件释放出化学物质。

关键词：气体传感器目标气体电子设备部件释放处理单元第二测量第一测量壳体化学物质环境目标释放响应体内敏感检测配置

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