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  • 1 篇 理学
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主题

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  • 1 篇 机械研磨
  • 1 篇 小麦
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  • 1 篇 平行研磨仪
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  • 1 篇 样品制备
  • 1 篇 空负荷
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机构

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  • 4 篇 中国石油化工股份...
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  • 3 篇 株式会社东芝
  • 3 篇 不二越机械工业株...
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  • 2 篇 暨南大学
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  • 2 篇 北京卫蓝新能源科...
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  • 2 篇 国立大学法人金泽...
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作者

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语言

  • 127 篇 中文
检索条件"主题词=研磨条件"
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CMP研磨结构及其使用方法
CMP研磨结构及其使用方法
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作者： 刘奕君 李一斌 刘盟 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
本发明提供一种CMP研磨结构，研磨垫和研磨盘，研磨垫放置于研磨盘上，研磨盘带动研磨垫同步旋转；待加工晶圆利用硅片固定装置面向研磨垫；磨料喷头，其用于对待加工晶圆研磨时向研磨盘表面喷洒研磨液；控制器，其用于控制磨料喷头的... 详细信息
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半导体深接触孔结构研磨方法
半导体深接触孔结构研磨方法
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作者： 贺术 陈献龙 韩佳锡 谢辉 蔡磊 王晓芳 510700 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
本申请涉及半导体技术领域，公开了一种半导体深接触孔结构研磨方法，包括提供一具有深接触孔的初始半导体结构；在第一研磨条件下，第一研磨盘研磨去除初始半导体结构的表面钨金属层和阻挡/黏附层，且暴露初始半导体结构的氮化硅阻挡... 详细信息
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一种用于双端面研磨流量监控装置
一种用于双端面研磨流量监控装置
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作者： 王玉欢 510030 广东省广州市增城区宁西街新和北路29号
本发明公开了一种用于双端面研磨流量监控装置，包括双端面研磨机，其两侧均设置有砂轮主轴，双端面研磨机上设置有用于研磨液流量监控的辅助机构，辅助机构包括存水箱、连接管、抽水泵、固定管、两个流量检测仪和两个导流管，流量检测... 详细信息
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一种高性能磷酸锰铁锂复合材料及其制备方法与应用
一种高性能磷酸锰铁锂复合材料及其制备方法与应用
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作者： 姚杰 刘蓓 贾雪莹 雍袁星 230012 安徽省合肥市新站区岱河路599号
本发明公开了一种高性能磷酸锰铁锂复合材料及其制备方法与应用。本发明提供的磷酸锰铁锂复合材料包括磷酸锰铁锂材料及其表面的包覆层；所述包覆层由碳和氮化锆形成。所述复合材料的制备方法包括：将铁源，磷源，锂源，锰源、含铝添加... 详细信息
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一种基于表面氧化的SiCp/Al复合材料的研磨方法
一种基于表面氧化的SiCp/Al复合材料的研磨方法
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作者： 黄树涛 杜春燕 于晓琳 110159 辽宁省沈阳市浑南新区南屏中路6号
本发明的一种基于表面氧化的SiCp/Al复合材料的研磨方法，属于材料机械加工领域。实现SiCp/Al复合材料研磨表面质量的改善。具体为先对SiCp/Al复合材料进行表面氧化处理，主要为阳极氧化处理和微弧氧化处理，在表层形成Al2O3氧化陶瓷膜... 详细信息
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一种基于锰掺杂钙镓化合物的摩擦发光材料及其制备方法
一种基于锰掺杂钙镓化合物的摩擦发光材料及其制备方法
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作者： 刘伟 赵景泰 张泽青 李林 王强 陈雯菁 史瑞 孙倩 541000 广西壮族自治区桂林市金鸡路1号
本发明公开了一种基于锰掺杂钙镓化合物的摩擦发光材料，通过高温固相法合成Ca1‑xMnxGa4O7应力发光荧光粉，其中，x为物质的量百分比，且0.001≤x≤0.01，与环氧树脂和固化剂制得的树脂混合液进行复合后得到应力发光材料；Ca1‑xMnxGa4O... 详细信息
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一种基于表面氧化的SiCp/Al复合材料的研磨方法
一种基于表面氧化的SiCp/Al复合材料的研磨方法
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作者： 黄树涛 杜春燕 于晓琳 110159 辽宁省沈阳市浑南新区南屏中路6号
本发明的一种基于表面氧化的SiCp/Al复合材料的研磨方法，属于材料机械加工领域。实现SiCp/Al复合材料研磨表面质量的改善。具体为先对SiCp/Al复合材料进行表面氧化处理，主要为阳极氧化处理和微弧氧化处理，在表层形成Al2O3氧化陶瓷膜... 详细信息
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一种含细梗香草茶饮的制作方法及其产品
一种含细梗香草茶饮的制作方法及其产品
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作者： 崔大祥 陈义军 朱正 林琳 201109 上海市闵行区剑川路468号
本发明公开了一种含细梗香草茶饮的制作方法及其产品。在研磨条件下采用羟丙基‑β‑环糊精对研磨得到的细梗香草粉体进行包覆，有利于保护细梗香草中的活性组分免于因氧化作用而变色、失效，可以长时间保持细梗香草的香气与药性。同时，... 详细信息
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基板研磨装置
基板研磨装置
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作者： 广尾康正 木下将毅 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
本发明提供一种基板研磨装置。在光学式表面监视系统中，除去或者缓和由基板与研磨台之间的相对速度的差异导致的测定精度的影响。基板研磨装置具有：研磨台；用于使所述研磨台旋转的电机；构成为保持基板的基板保持头；光源；以及配置... 详细信息
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化学机械研磨装置
化学机械研磨装置
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作者： 禹相政 申盛皓 金圣教 韩国京畿道安城市
本实用新型涉及一种化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括：研磨平板；研磨垫，其配置于研磨平板的上面并与基板接触；表面特性检测部，其对研磨垫的表面特性进行检测，通过所述化学机械研磨装置可获得的有利效果在于，准确地对研磨... 详细信息
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