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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 微小气体流量
  • 1 篇 硅压敏微流量计
  • 1 篇 灵敏度
  • 1 篇 薄膜工艺

机构

  • 1 篇 南京55所

作者

  • 1 篇 贾正根

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=硅压敏微流量计"
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排序:
超高灵敏度硅压敏微流量计
收藏 引用
传感器世界 2001年 第2期7卷 15-20页
作者: 贾正根 南京55所401
本文介绍一种最新开发出的超灵敏压敏流量计,用于薄膜工艺中测量小气体流量。它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简单,电容压敏器为厚度2.9μm的应力补偿隔片,可工作在1mtorr-700torr范围内。
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