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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 1 篇 硅基镓光电探测器
  • 1 篇 暗电流密度
  • 1 篇 外延生长
  • 1 篇 高频特性测试

机构

  • 1 篇 中国科学院半导体...

作者

  • 1 篇 成步文
  • 1 篇 王启明
  • 1 篇 薛海韵
  • 1 篇 薛春来

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=硅基镓光电探测器"
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高性能Si基Ge探测器的研制
高性能Si基Ge探测器的研制
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第十五届全国化合物半导体材料、微波件和光电件学术会议
作者: 薛海韵 薛春来 成步文 王启明 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室北京 100083
采用超低温Buffer层技术在Si衬底上生长出了质量优良的Ge材料,利用该材料研制高速Ge光电探测器,吸收层Ge的厚度约为0.8μm。在0V和-1V偏压下,暗电流密度分别为0.37mA/cm2和29.4mA/cm2;测试结果表明探测器具有良好的光响应,在1.31μm波长... 详细信息
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