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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

3 篇 专利
2 篇 会议
1 篇 成果

馆藏范围

6 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

3 篇 工学
- 2 篇 机械工程
- 1 篇 仪器科学与技术
- 1 篇 控制科学与工程
- 1 篇 化学工程与技术

主题

3 篇 硅电容压力传感器
1 篇 国家标准
1 篇 自动控制系统
1 篇 性能指标
1 篇 试验方法
1 篇 产业化
1 篇 制备工艺
1 篇 硅单晶材料

机构

2 篇 沈阳仪表科学研究...
1 篇 沈阳仪表科学研究...
1 篇 内蒙古信源信息技...
1 篇 国家仪器仪表元器...
1 篇 中航光电华亿电子...
1 篇 天津中亚慧通科技...

作者

2 篇 张治国
2 篇 李颖
1 篇 薛玉芳
1 篇 张娜
1 篇 刘剑
1 篇 张涵福
1 篇 祝永峰
1 篇 刘沁
1 篇 张哲
1 篇 徐开先
1 篇 匡石
1 篇 钟海
1 篇 于振毅
1 篇 谭佳欢
1 篇 徐秋玲

语言

6 篇 中文

检索条件"主题词=硅电容压力传感器"

共 6 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

硅电容压力传感器及其产业化

硅电容压力传感器及其产业化

引用

中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

作者：徐开先沈阳仪表科学研究院

文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化，指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。

关键词：硅电容压力传感器产业化制备工艺

来源：评论

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采用WLP封装的硅电容压力传感器及其制备方法

采用WLP封装的硅电容压力传感器及其制备方法

引用

作者：谭佳欢钟海 110000 辽宁省沈阳市经济技术开发区开发大路27-14号(全部)

本申请涉及电容式压力传感器技术领域，尤其是涉及一种采用WLP封装的硅电容压力传感器及其制备方法，采用WLP封装的硅电容压力传感器包括：可动电极单元，至少包括可动电极膜；固定电极单元，至少包括固定电极膜，固定电极膜与可动电极... 详细信息

标准号: CN117361437A

本申请涉及电容式压力传感器技术领域，尤其是涉及一种采用WLP封装的硅电容压力传感器及其制备方法，采用WLP封装的硅电容压力传感器包括：可动电极单元，至少包括可动电极膜；固定电极单元，至少包括固定电极膜，固定电极膜与可动电极膜之间形成电极间隙；互连单元，与可动电极单元和固定电极单元连接，以将可动电极单元和固定电极单元电气互连。本申请提供的采用WLP封装的硅电容压力传感器，通过互连单元的电气互连通道实现可动电极膜与固定电极膜的垂直互连，最大化降低了引线互连的长度、寄生电容、信号延迟，极大的拓展了本采用WLP封装的硅电容压力传感器的应用范围。

关键词：硅电容压力传感器封装固定电极膜可动电极膜固定电极可动电极互连单元互连电容式压力传感器垂直互连单元电气单元连接电极间隙电气互连寄生电容信号延迟最大化制备申请拓展应用

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高性能硅电容压力传感器

高性能硅电容压力传感器

引用

作者：张治国李颖刘剑张娜张哲祝永峰沈阳仪表科学研究院有限公司

高性能硅电容压力传感器是过程自动控制系统和信息系统的关键核心检测部件，采用高性能的压力传感器，是提高控制、信息系统的性能的必要基础。项目针对工业过程控制环境对高性能传感器的要求，采用硅单晶材料研制硅电容传感器，充分利... 详细信息

标准号: 1500140255

高性能硅电容压力传感器是过程自动控制系统和信息系统的关键核心检测部件，采用高性能的压力传感器，是提高控制、信息系统的性能的必要基础。项目针对工业过程控制环境对高性能传感器的要求，采用硅单晶材料研制硅电容传感器，充分利用硅单晶材料的良好弹性性能，采用电容原理实现压力信号测量，避免了金属电容传感器膜片压力滞后效应，提高了传感器的性能，保障了传感器压力敏感信号高稳定输出。研制了具有自主知识产权的硅电容差压传感器，解决了高性能硅电容差传感器核心器件、产品的制造工艺和技术。在硅电容芯体差动结构设计及工艺、层叠结构同时静电封接技术、敏感芯体悬浮式封装结构设计等方面有创新性。通过国内外同类产品指标的对比，综合性能达到国外同类产品先进水平。项目执行期获得国家发明专利4项，实用新型专利3项，发表科技论文7篇。建成了年产1万只高性能压力传感器生产能力的生产线，实现批量生产。作为工业过程现场控制核心检测部件，广泛应用于国家大型石化、炼油、电力等过程控制关键环节，促进了技术创新，打破了国外技术封锁和垄断。国产化的高性能硅电容差压传感器的批产化直接导致进口高端同类产品的价格下降30%-40%，填补了国内同类产品的空白。项目研制期间，分别为浙江中控自动化仪表有限公司、吉林吉化集团仪表有限责任公司、重庆艾维仪表有限公司等多家单位提供硅电容压力传感器上万只，用于智能压力变送器及控制系统配套及煤矿安全控制系统等。实现了中国差压变送器产品核心测量部件的国产化进而替代进口，促进了中国差压传感器/智能变送器产业快速、协调发展，创造出良好的经济效益和社会效益。

关键词：硅电容压力传感器自动控制系统硅单晶材料

来源：评论

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一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器

一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器

引用

作者：薛玉芳 301800 天津市宝坻区节能环保工业区天宝南环路8号314室

本实用新型提供一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器，从上到下依次包括上蓝宝石固定极板、硅可动电极、下蓝宝石固定极板、导压管和底座，导压管设置在底座中，上、下蓝宝石固定极板的中心均设有导压孔，导压孔与导压管相通，硅可... 详细信息

标准号: CN206804191U

本实用新型提供一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器，从上到下依次包括上蓝宝石固定极板、硅可动电极、下蓝宝石固定极板、导压管和底座，导压管设置在底座中，上、下蓝宝石固定极板的中心均设有导压孔，导压孔与导压管相通，硅可动电极上设有的中间硬芯的上下两面分别设有线型导油槽结构，上、下蓝宝石固定极板上都设有与线型导油槽结构相配合的金属电极。本实用新型的核心部件采用蓝宝石‑硅‑蓝宝石结构实现，这两种材料都没有蠕变，避免了由于蠕变产生的热应力缓慢释放现象，提高了传感器的长期稳定性；而且线型导油槽结构的设置，能保证压力过载后仍能形成畅通的导油通道，从而提高了过载后极板之间的回弹力，提高了对压力的响应速度。

关键词：蓝宝石固定极板导压管导油槽本实用新型可动电极导压孔底座硅电容压力传感器长期稳定性从上到下导油通道过载响应核心部件缓慢释放结构实现金属电极压力过载后极板回弹力热应力传感器过载蠕变硬芯相通畅通响应配合保证

来源：评论

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硅电容式压力传感器性能指标及新国标简介

硅电容式压力传感器性能指标及新国标简介

引用

第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：张治国刘沁李颖匡石徐秋玲于振毅沈阳仪表科学研究院辽宁沈阳110043 国家仪器仪表元器件质量监督检验中心辽宁沈阳110043

文章介绍了硅电容式压力传感器的主要性能指标,包括基本参数、基本性能、静态性能、稳定性、温度影响、过载、静压影响、环境性能和疲劳寿命,着重介绍硅电容式传感器专有性能指标:基础电容、电容偏差、电容增量比.介绍了新国标的编制过... 详细信息

文章介绍了硅电容式压力传感器的主要性能指标,包括基本参数、基本性能、静态性能、稳定性、温度影响、过载、静压影响、环境性能和疲劳寿命,着重介绍硅电容式传感器专有性能指标:基础电容、电容偏差、电容增量比.介绍了新国标的编制过程、主要性能指标的试验条件、试验方法、计算公式,给出了检验规则及合格标准.

关键词：硅电容压力传感器性能指标试验方法国家标准

来源：评论

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一种采用硅电容压力技术的压力式水位计

一种采用硅电容压力技术的压力式水位计

引用

作者：张涵福 010010 内蒙古自治区呼和浩特市呼伦南路东达广场公寓B座1215

本实用新型涉及一种水文、水利和环境监测仪器仪表领域，尤其涉及一种采用硅电容压力技术的压力式水位计，包括控制器单元、蓄电池、水位传感器单元、数据预处理单元、环境传感器单元、存储器单元、数据传输单元以及报警器，所述水位传... 详细信息

标准号: CN204944610U

本实用新型涉及一种水文、水利和环境监测仪器仪表领域，尤其涉及一种采用硅电容压力技术的压力式水位计，包括控制器单元、蓄电池、水位传感器单元、数据预处理单元、环境传感器单元、存储器单元、数据传输单元以及报警器，所述水位传感器单元包括硅电容压力传感器1、硅电容压力传感器2以及硅电容压力传感器3，所述环境传感器单元包括温度传感器以及大气压力传感器。本实用新型的采用硅电容压力技术的压力式水位计，较好地解决了气泡式水位计单点测量时精度不高、安装维护麻烦、使用寿命短以及雷达水位计费用较高等问题。

关键词：硅电容压力传感器环境传感器单元压力式水位计水位传感器压力技术电容一种大气压力传感器数据预处理单元环境监测仪器气泡式水位计数据传输单元蓄电池存储器单元控制器单元温度传感器报警器安装维护单点测量使用寿命水位计实用水文仪表涉及雷达水利解决

来源：评论

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