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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 mems加工
  • 1 篇 两维碰撞
  • 1 篇 模块化封装
  • 1 篇 加速度传感器
  • 1 篇 碰撞冲击测量

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 刘民
  • 1 篇 周伟
  • 1 篇 李昕欣
  • 1 篇 姜伟

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=碰撞冲击测量"
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两维碰撞加速度传感器及其实用化
两维碰撞加速度传感器及其实用化
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第11届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 周伟 刘民 姜伟 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050
基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器... 详细信息
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