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主题

  • 1 篇 磁滞建模
  • 1 篇 磁阻电机
  • 1 篇 磁浮运动控制
  • 1 篇 多目标差分进化算...
  • 1 篇 磁浮导向

机构

  • 1 篇 华中科技大学

作者

  • 1 篇 徐云浪

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=磁浮导向"
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排序:
基于结构优化的磁浮导向磁阻电机非线性建模补偿与控制研究
基于结构优化的磁浮导向磁阻电机非线性建模补偿与控制研究
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作者: 徐云浪 华中科技大学
学位级别:博士
下一代极紫外(Extreme ultraviolet,EUV)光刻机将采用磁浮导向技术,以实现掩模在真空中的长行程传输。磁阻电机悬浮导向被认为是磁浮导向技术中最优候选技术之一,然而,磁阻电机中电流-间隙-力之间的非线性、间隙测量不匹配扰动、水平牵... 详细信息
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