检索结果-内蒙古大学图书馆

中阿科技论坛(中英文) 2025年第1期 75-79页

作者：徐瑞玲赵正强盛伟哈密职业技术学院新疆哈密839000 哈密豫新能源产业研究院新疆哈密839000

随着现代制造业对高精度、高质量加工需求的不断提升,三维超声ELID(在线电解修整)复合内圆磨削系统的设计具有重要意义。文章将三维超声技术与ELID技术相结合,构建了一种新型的内圆磨削系统。该系统通过引入三维超声振动,能够有效改善... 详细信息

随着现代制造业对高精度、高质量加工需求的不断提升,三维超声ELID(在线电解修整)复合内圆磨削系统的设计具有重要意义。文章将三维超声技术与ELID技术相结合,构建了一种新型的内圆磨削系统。该系统通过引入三维超声振动,能够有效改善磨削过程中的材料去除机制,提高加工精度和表面质量。同时,ELID技术可实现砂轮的在线修整,保证砂轮始终处于良好的磨削状态,延长砂轮使用寿命。在系统设计中,充分考虑了各组件的协同工作和优化配置,以确保系统的稳定性和可靠性。通过对该系统的实际应用测试,验证了其在提高内圆磨削加工效率和质量方面的显著优势,为精密内圆加工领域提供了较为先进的解决方案。

关键词：三维超声 ELID 内圆磨削复合磨削磨削系统

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磨削系统加工过程的计算机仿真分析

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机械制造 1999年第4期37卷 15-17页

作者：洪玉芳程兆谦朱聘和汪久根浙江大学杭州310027

为了对磨削系统更有效、更快地辨识,本文采用正交试验法进行试验研究,分析了磨削工艺参数对表面粗糙度的影响,并对影响的显著性水平进行了比较,提出磨削参数对表面粗糙度的作用链、衰减系数、阻尼比与表面粗糙度之间的关系有待进一步研究。

关键词：磨削系统正交试验作用链计算机仿真磨削

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无心磨削系统准动力学谐波控制方法

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中国机械工程 1996年第4期7卷 82-83页

作者：夏新涛任小中洛阳工学院用电工程系

论述无心磨削中工件表面谐波的准动力学控制原理，给出计算机控制框图。在３ＭＺ１３１０磨床上无心磨削球轴承沟道和系统振动测试的实验研究，证实本文观点的正确性。

关键词：无心磨削磨削系统谐波控制磨削加工工艺

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RV减速器摆线轮磨床磨削系统误差分析及建模

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组合机床与自动化加工技术 2019年第11期 62-66页

作者：张跃明秦焕垄杨青李伟峰北京工业大学机械工程与应用电子技术学院

为了分析机床运动精度对摆线轮磨削精度的影响,通过对多体系统理论的描述,建立了相邻体之间无误差和有误差情况下的坐标系和运动方程。对台湾陆联LFG-3540型摆线轮成型磨床磨削系统各运动部件间的运动形式进行分析,完成了对机床各轴的... 详细信息

为了分析机床运动精度对摆线轮磨削精度的影响,通过对多体系统理论的描述,建立了相邻体之间无误差和有误差情况下的坐标系和运动方程。对台湾陆联LFG-3540型摆线轮成型磨床磨削系统各运动部件间的运动形式进行分析,完成了对机床各轴的几何误差分析。运用相邻体运动学理论,将复杂的多分支磨削系统抽象为简单的多体系统,建立了各运动部件的拓扑结构关系及低序体阵列。确立了系统各运动体的坐标系,通过建立相邻体Denavit-Hartenberg齐次变换矩阵,完成了磨削系统的误差建模。最后,提出了有误差情况下实现摆线轮精密磨削约束条件方程,并对该方程进行了求解,实现了对机床加工精度的预测。

关键词：多体系统运动方程磨削系统几何误差分析误差建模

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CBN砂轮磨削系统的组成与设计

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新技术新工艺 1992年第1期 22-23页

作者：吕玉山吴连生张庆云沈阳工业学院

本文就CBN砂轮磨削系统的组成和设计进行分析和探讨。介绍了CBN砂轮磨削系统的组成,各组成单元的功用,探讨了CBN砂轮磨削系统设计中的一些问题,并提出了相应的措施。

关键词： CBN砂轮磨削系统设计

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基于NX MCD的机器人磨削系统虚拟调试

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组合机床与自动化加工技术 2019年第12期 57-60,64页

作者：郑魁敬代方园廉磊燕山大学先进锻压成形技术与科学教育部重点实验室河北秦皇岛066004 燕山大学河北省并联机器人与机电系统实验室河北秦皇岛066004

为节省机器人自动化生产系统的调试成本并提高生产安全性,以机器人磨削系统为应用案例,提出一种基于三维仿真平台NX MCD的机器人自动化生产系统虚拟调试方法。在NX MCD中创建机器人磨削系统逻辑模型和机械概念模型来定义机电虚拟模型。... 详细信息

为节省机器人自动化生产系统的调试成本并提高生产安全性,以机器人磨削系统为应用案例,提出一种基于三维仿真平台NX MCD的机器人自动化生产系统虚拟调试方法。在NX MCD中创建机器人磨削系统逻辑模型和机械概念模型来定义机电虚拟模型。在PC端开发RAPID和梯形图程序控制磨削机器人和PLC,实现磨削系统、机器人控制器和PLC控制器的信号实时交互。设计包含ABB应用程序和OPC客户端应用程序的集成控制软件,实现机器人和PLC的联动控制。构建机器人磨削系统虚拟调试平台,在OPC客户端添加机器人关节数据传送模块,NX MCD信号通过OPC通讯技术和数据传送模块实现了与机器人控制信号及PLC控制信号相互映射,在集成控制系统下完成机器人磨削系统的加工仿真。通过对比机器人磨削系统的实际调试情况,验证了基于NX MCD的机器人自动化生产系统虚拟调试方案的有效性。

关键词：机电一体化概念设计机器人磨削系统虚拟调试

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基于精确力控制和离线编程的工业机器人磨削系统研究

基于精确力控制和离线编程的工业机器人磨削系统研究

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作者：朱晓明厦门大学

学位级别：硕士

目前,中国已经成为全球最大的卫浴产品生产与销售国家,卫浴洁具占世界总量的30％,卫浴配件约占世界总量的35％。在卫浴洁具行业的生产中,很多产品需要磨削、抛光,卫浴洁具产品的磨削、抛光主要采取人工作业。人工磨削水暖洁具存在产品... 详细信息

目前,中国已经成为全球最大的卫浴产品生产与销售国家,卫浴洁具占世界总量的30％,卫浴配件约占世界总量的35％。在卫浴洁具行业的生产中,很多产品需要磨削、抛光,卫浴洁具产品的磨削、抛光主要采取人工作业。人工磨削水暖洁具存在产品质量一致性差、档次低等问题,更为严重的是人工磨削产生的噪声和粉尘容易使工人患上职业病,影响身体健康。随着企业用工成本的升高和招工困难问题的出现,人工磨削已经严重制约着我国水暖洁具卫浴产业的升级和健康发展。\n 随着工业自动化的迅速发展,工业机器人已成为自动化的核心装备,在众多领域得到了应用,以工业机器人为核心的自动化磨削系统也得到了良好的发展,工业机器人磨削系统可以很好地解决人工磨削存在的问题。\n 针对水暖产品的磨削特点,本文主要研究了基于精确力控制和离线编程的工业机器人磨削系统,并对砂带磨削机的功能及关键结构(调偏机构、进给机构和中间轮机构)的设计进行了分析。介绍了力控轮建模、力控制原理,在力控制的基础上介绍了工具坐标系的标定原理与方法以及夹具坐标系的标定方法,为工业机器人离线编程的应用提供了理论依据。同时分析了示教编程和离线编程的特点,阐述了砂带磨削中的工业机器人离线编程原理。利用线激光器配合摄像机对工业机器人夹持工件产生的姿态偏差进行了测量。最后介绍了工业机器人磨削系统的实验,通过磨削实验结果分析,验证了系统所用关键技术的有效性。\n 系统采用精确的力控制技术,保证了工件表面均匀的磨削量;运用独特的标定技术解决了理论模型与实际对象之间的位姿关系一致性问题,在此基础上运用离线编程技术,提高了工业机器人应用的自动化程度、产品加工质量和生产效率;对零件磨削时夹持误差的校正研究,使得工业机器人程序具有了可移植性,同时提高了工件的磨削精度。

关键词：工业机器人磨削系统精确力控制离线编程

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大尺寸硅片超精密磨床磨削系统动态仿真技术研究

大尺寸硅片超精密磨床磨削系统动态仿真技术研究

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作者：张宗楠大连交通大学

学位级别：硕士

集成电路是现代信息产业和信息社会的基础，全球90%以上的集成电路衬底材料都采用硅片。随着集成电路制造技术的飞速发展，为了增大硅片的产量，降低单位制造成本，硅片趋于大尺寸化。随着硅片尺寸的增大，为了保证硅片具有足够的强度... 详细信息

集成电路是现代信息产业和信息社会的基础，全球90%以上的集成电路衬底材料都采用硅片。随着集成电路制造技术的飞速发展，为了增大硅片的产量，降低单位制造成本，硅片趋于大尺寸化。随着硅片尺寸的增大，为了保证硅片具有足够的强度，需增加硅片厚度；与此相反，为了满足先进集成电路芯片封装技术的要求，需减小硅片厚度。这些变化使硅片加工技术面临众多突出问题。为解决这些问题，采用固结磨料砂轮的超精密磨削技术正在取代传统的研磨技术成为硅片超精密平整化加工技术的主流发展方向。本文以直径300mm硅片超精密磨床磨削系统为研究对象，研究了其动态仿真技术并对系统进行了运动分析，对提高我国大尺寸硅片加工技术具有十分重要的意义。本文主要开展了以下工作：首先，介绍了硅片在电子信息技术中所起到的重要作用，对传统硅片磨削技术与现代硅片磨削技术进行了比较，并列举了几种常用的硅片磨削方式及大尺寸硅片超精密磨床，为课题的开展提供铺垫。其次，以基于硅片自旋转磨削原理的大尺寸硅片超精密磨床磨削系统为研究对象，论述了该种磨削方式的磨削原理并建立了数学模型，该数学模型为后文的运动分析提供了理论基础；分析了磨削系统的结构，并分析了磨削主系统中粗磨主轴、精磨主轴、分度台以及工作台的运动方式以及辅助磨削系统中精确定位系统、三向磨削力测量系统、硅片厚度测量系统、面型控制系统以及真空吸盘吸附力测量系统的工作原理。然后，以基于Pro/E异步模式二次开发、三维图形变换、逐帧动画为关键技术，以磨削系统三维模型为基础，开发了磨削系统的虚拟样机，通过对控制面板的操作实现了磨削系统的运动，并能实现对磨削速度的调节，实现了磨削系统的动态仿真。最后，对磨削系统中进给系统的关键工序进行了运动分析，得出了各道关键工序进给系统的运动参数；研究了影响磨削砂轮上某一点在硅片上运动轨迹的因素并得出结论，即运动轨迹与磨削主轴与硅片的转速比有关，与磨削主轴与硅片各自的旋转速度无关；研究了影响被加工硅片面型的参数，得出结论即硅片的面型受磨削主轴进给方向与硅片旋转中心线的夹角影响较大，受磨削主轴的进给速度、砂轮以及硅片的转速影响较小，从而可以通过调整该夹角控制硅片面型。

关键词：大尺寸硅片超精密磨床磨削系统虚拟样机动态仿真运动分析

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硅片倒角机磨削系统关键技术研究

硅片倒角机磨削系统关键技术研究

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作者：杨树文华中科技大学

学位级别：硕士

硅片倒角是指把切割后硅片的锐利边缘通过磨削修整成圆弧形，其目的是消除边缘切割应力，防止边缘破裂及颗粒脱落。本文对硅片倒角机磨削系统的关键技术进行研究。\n 本文通过对主轴系统的轴承组配方式、预紧方式、离心力和陀螺力矩... 详细信息

硅片倒角是指把切割后硅片的锐利边缘通过磨削修整成圆弧形，其目的是消除边缘切割应力，防止边缘破裂及颗粒脱落。本文对硅片倒角机磨削系统的关键技术进行研究。\n 本文通过对主轴系统的轴承组配方式、预紧方式、离心力和陀螺力矩等主轴轴承应用理论的研究，确定了主轴轴承及支撑结构。分析滚珠丝杠、滚动直线导轨的特点和工作台机械传动机构系统特性，得出了提高系统定位精度和提高系统跟随指令的方法，确定了工作台滚动直线导轨和滚珠丝杠的支撑形式。研究精密磨削的特点，分析了影响倒角质量的主要因素，对磨削力和磨削热造成的局部表面温度进行了理论计算，确定了硅片倒角的磨削深度、磨削速度和冷却液流量等系统工艺参数。\n 本文针对单晶硅片的边缘磨削特点和要求，通过主轴轴承应用理论和工作台应用技术研究及磨削力和磨削温度的分析设计了磨削系统机械结构。对主轴刚性和滚珠丝杠轴向刚性误差进行了理论计算；对磨削主轴模态及共振频率使用ANSYS软件进行分析；对系统设计进行试验验证和数据分析。通过研究解决了硅片边缘精密磨削问题。\n 硅片倒角机磨削系统关键技术的研究对半导体硅片精密磨削技术的发展及半导体精密加工设备的制造具有一定的应用价值。

关键词：硅片倒角磨削系统结构设计单晶硅片半导体硅片半导体技术精密加工

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在线电解修整(ELID)磨削系统的研制

在线电解修整(ELID)磨削系统的研制

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作者：全涛长春光学精密机械学院

学位级别：硕士

该文论述了在线电解修整(ELID)法的磨削机理及其试验装置的研制,特别是其中ELID磨削专用脉冲电源和ELID磨削液的研制.在整个ELID磨削系统中,脉冲电源的性能是关系到修整效果的关键因素.作者研制成功的频率在4Hzˉ500KHz的脉冲电源,在额... 详细信息

该文论述了在线电解修整(ELID)法的磨削机理及其试验装置的研制,特别是其中ELID磨削专用脉冲电源和ELID磨削液的研制.在整个ELID磨削系统中,脉冲电源的性能是关系到修整效果的关键因素.作者研制成功的频率在4Hzˉ500KHz的脉冲电源,在额定电源参数下工作,具有较理想的输出波形,为ELID磨削技术的研究创造了不可缺少的前提条件.此外,作者还对ELID磨削中影响加工效率、加工质量的各种因素作了大量对比试验.通过试验现象和所得数据分析,找出了较适合电解修整的工作频率、工作电压及工作电流.

关键词：磨削系统在线电解修整(ELID) 脉冲电源超微粒金刚石砂轮

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