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  • 1 篇 学位论文

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 气体击穿
  • 1 篇 粒子/蒙特卡洛模拟...
  • 1 篇 等离子体数值模拟
  • 1 篇 容性耦合等离子体

机构

  • 1 篇 华中科技大学

作者

  • 1 篇 吴浩

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=粒子/蒙特卡洛模拟"
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排序:
容性耦合等离子体击穿过程的数值模拟研究
容性耦合等离子体击穿过程的数值模拟研究
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作者: 吴浩 华中科技大学
学位级别:博士
容性耦合等离子体(capacitively coupled plasma,CCP)已经广泛用于半导体产业中的刻蚀、沉积、清洗等领域。对于CCP或者其他等离子体源而言,气体击穿是其形成等离子体不可缺少的过程,研究该过程对于认识等离子体的形成、优化等离子体... 详细信息
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