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作者

  • 2 篇 克里斯琴.肯普特
  • 2 篇 简.霍恩
  • 2 篇 沃尔夫冈.法洛特-...

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=粗数模转换器"
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排序:
监视镜位置的方法和微光刻投射曝光设备的照明系统
监视镜位置的方法和微光刻投射曝光设备的照明系统
收藏 引用
作者: 简.霍恩 克里斯琴.肯普特 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特 德国上科亨
微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动倾斜的镜。此外,照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置,该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70),以... 详细信息
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监视镜位置的方法和微光刻投射曝光设备的照明系统
监视镜位置的方法和微光刻投射曝光设备的照明系统
收藏 引用
作者: 简.霍恩 克里斯琴.肯普特 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特 德国上科亨
微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动倾斜的镜。此外,照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置,该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70),以... 详细信息
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