检索结果-内蒙古大学图书馆

激光三角测量传感器的精密位移测量

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仪器仪表学报 1994年第4期15卷 400-404页

作者：戴立铭江潼君东南大学

本文论述了激光三角法测量位移时，其象点位置随被测物面位移的变化规律；推导出激光散射用与成象角之间的关系；讨论了激光三角测量传感器结构参数的设计方法。

关键词：传感器精密位移测量激光三角法

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基于单路利特罗型光栅干涉仪的超精密位移测量技术研究

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计量科学与技术 2024年第2期68卷 40-45,75页

作者：朱宏宇吴益泽冯婧桐林子超禹静薛栋柏邓晓程鑫彬同济大学精密光学工程技术研究所上海200092 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室上海200092 同济大学上海市数字光学前沿科学研究基地上海200092 同济大学上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台上海200092 同济大学物理科学与工程学院上海200092 中国计量大学计量测试工程学院杭州310018

基于光栅干涉仪的超精密位移测量技术是先进制造领域的关键共性技术,采用更高刻线密度的光栅是提升光栅干涉仪测量精度与分辨率的有效途径。随着电子束制备光栅技术的提升,采用电子束加工高刻线密度光栅(大于3000线/mm)作为测量基准是... 详细信息

基于光栅干涉仪的超精密位移测量技术是先进制造领域的关键共性技术,采用更高刻线密度的光栅是提升光栅干涉仪测量精度与分辨率的有效途径。随着电子束制备光栅技术的提升,采用电子束加工高刻线密度光栅(大于3000线/mm)作为测量基准是优化干涉仪性能的有效途径。利用3333线/mm的高刻线密度电子束直写光栅,采用单路利特罗光栅干涉构型,搭建了原始信号周期为300nm的光栅干涉仪,验证了其在位移测量方面的准确性与稳定性。单路利特罗光栅干涉仪与激光干涉仪比对装置为后续光栅间距标定提供了新的可能性,是电子束直写型高刻线密度光栅在精密位移测量领域的有益探索。

关键词：计量学精密位移测量光栅干涉仪电子束直写光栅激光干涉仪利特罗衍射

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一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置

一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置

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作者：王建波殷聪 100026 北京市朝阳区北三环东路18号

本发明属于精密位移测量技术领域，提供了一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置，所述方法通过调节电光调制器的边带频率与干涉仪共振，获得干涉仪第一腔长对应的第一自由光谱范围Δν1，以及第二腔长对应的第二自由光谱范围Δ... 详细信息

标准号: CN112945108B

本发明属于精密位移测量技术领域，提供了一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置，所述方法通过调节电光调制器的边带频率与干涉仪共振，获得干涉仪第一腔长对应的第一自由光谱范围Δν₁，以及第二腔长对应的第二自由光谱范围Δν₂；根据第一自由光谱范围Δν₁和第二自由光谱范围Δν₂计算得到干涉仪的位移ΔL。本发明通过锁定电光调制器的边带频率与干涉仪的自由光谱范围共振，将干涉仪的位移测量转化为微波共振频率的测量，提高位移测量的准确度。

关键词：自由光谱精密位移测量电光调制器边带频率位移测量干涉仪共振腔长干涉准确度电光调制共振频率边带微波测量锁定转化

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一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置

一种基于电光调制边带的精密位移测量方法及装置

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作者：王建波殷聪 100026 北京市朝阳区北三环东路18号

标准号: CN112945108A

关键词：自由光谱精密位移测量电光调制器边带频率位移测量干涉仪共振腔长干涉准确度电光调制共振频率边带微波测量锁定转化

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一种精密位移测量仪采集电路

一种精密位移测量仪采集电路

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作者：王惠民庄肖肖蔡玉健 310000 浙江省杭州市西湖区华星路92号-1 2号楼4楼

一种精密位移测量仪采集电路，包括主控电路，主控电路的信号输入端通过模数转换电路连接有位移传感器，主控电路的信号输出端连接通讯电路，通讯电路的信号传输端连接上位机，主控电路的控制端口上连接有功能按键，通过功能按键对主控... 详细信息

标准号: CN213067635U

一种精密位移测量仪采集电路，包括主控电路，主控电路的信号输入端通过模数转换电路连接有位移传感器，主控电路的信号输出端连接通讯电路，通讯电路的信号传输端连接上位机，主控电路的控制端口上连接有功能按键，通过功能按键对主控电路进行功能设置，位移传感器采集的数据信号经过模数转换电路将模拟量转换为数字量，将数字量位移信号传输至主控电路进行处理，主控电路将位移数据通过通讯电路传输至上位机中。本实用新型的功能按键方便工作人员进行通道切换、标准件的对标以及测量数据的处理操作，且传感器放大电路可以匹配同种类型的不同位移传感器，方便工作人员的不同测量工作，通过设置的显示器可以为工作人员提供更为直观的测量结果。

关键词：主控电路位移传感器功能按键通讯电路模数转换电路数字量传感器放大电路精密位移测量位移信号传输本实用新型模拟量转换信号传输端信号输出端信号输入端标准件采集电路测量数据处理操作功能设置控制端口数据信号通道切换同种类型位移数据上位机位机显示器匹配测量直观采集传输

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一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统

一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统

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作者：邓晓程鑫彬林子超顾振杰姚玉林李同保 200092 上海市杨浦区四平路1239号

本发明涉及一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统，包括相干光源、光电探测模块、自溯源光栅和信号处理模块，所述自溯源光栅设置于待测的位移运动平台上，所述相干光源、光电探测模块和信号处理模块依次连接，所述相干光源产生的激光... 详细信息

标准号: CN113566714B

本发明涉及一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统，包括相干光源、光电探测模块、自溯源光栅和信号处理模块，所述自溯源光栅设置于待测的位移运动平台上，所述相干光源、光电探测模块和信号处理模块依次连接，所述相干光源产生的激光经光电探测模块传播后，入射至自溯源光栅，与自溯源光栅发生衍射作用，返回至光电探测模块中继续传播，进入信号处理模块，信号处理模块采集干涉信号获取运动位移量和运动方向。与现有技术相比，本发明克服了位移测量溯源难度大和光栅刻线密度低的缺点，其直接溯源的测量途径具有位移测量准确性高、鲁棒性强的优势。

关键词：溯源光栅光电探测模块信号处理模块相干光源位移测量精密位移测量测量途径干涉信号光栅干涉位移运动依次连接运动位移鲁棒性入射衍射传播激光采集返回

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一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统

一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统

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作者：邓晓程鑫彬林子超顾振杰姚玉林李同保 200092 上海市杨浦区四平路1239号

标准号: CN113566714A

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基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法

基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法

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作者：吴自玉王圣浩王志立高昆韩华杰张灿杨蒙 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

本发明公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，该装置包括：同步辐射加速器，用于产生平行同步X射线光；双晶单色器将X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅和标尺光栅，... 详细信息

标准号: CN103900502B

本发明公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，该装置包括：同步辐射加速器，用于产生平行同步X射线光；双晶单色器将X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅和标尺光栅，以产生莫尔条纹；标尺光栅与运动部件连接在一起；X射线探测器，用于探测莫尔条纹并输出相应的电信号；条纹细分和显示装置，用于对X射线探测器输出的电信号进行条纹细分和显示处理。本发明还公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量方法。本发明能够提高现有光栅莫尔条纹位移测量技术的分辨率和灵敏度，增加两块光栅之间的距离，降低光栅安装过程中的难度，提高系统使用的稳定性和可靠性。

关键词：莫尔条纹精密位移测量光栅标尺光栅几何投影条纹平行同步辐射加速器位移测量技术双晶单色器垂直照射单一波长光栅安装平行放置显示处理显示装置运动部件指示光栅输出灵敏度分辨率光转换准直探测

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基于空间关联约束传感的超精密角位移测量方法研究

基于空间关联约束传感的超精密角位移测量方法研究

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作者：于沛玉重庆理工大学

学位级别：硕士

随着近年来科技的飞速发展,高端制造、新能源等国家战略性新兴产业和各类国家重大工程对超高精度角度计量能力提出了新要求。然而目前我国最高精度角度计量元件严重依赖国外核心技术和器件,但国外对我国实施价格垄断与技术封锁,严重制... 详细信息

随着近年来科技的飞速发展,高端制造、新能源等国家战略性新兴产业和各类国家重大工程对超高精度角度计量能力提出了新要求。然而目前我国最高精度角度计量元件严重依赖国外核心技术和器件,但国外对我国实施价格垄断与技术封锁,严重制约了我国在超高精密传感器方面的发展,这无疑是一个潜在的安全隐患,严重影响国家经济安全和国防安全。同时,在超高精度角度测量领域,世界上各个国家的发展普遍受到核心测量器件工作原理的严重制约,研究水平已经达到极限,已有多年未有重大突破。而我国由于缺乏原创和核心技术,研究水平与国外相差约5倍,因此针对国产化超高精度角位移传感的研究迫在眉睫。针对上述国家重大需求和技术现状,本文在前期二十多年精密纳米时栅传感器的研究基础上,提出采用自主原创发明的圆时栅传感器作为核心测量器件,利用“时空转换”的思想,将对空间量的测量转换到对时间量的测量上,从测量原理和关键技术上进行再创新。而后在此基础上探索基于空间关联约束传感原理的纳米圆时栅全组合测量方法,利用两个纳米圆时栅传感器互为参考进行全组合测量,立足于解决“在没有更高精度测量仪器条件下如何提高测量精度”这一重大科学问题,从而实现超高精度角位移的测量。本文主要内容总结如下:1)介绍“时空转换”理论,并详细介绍了基于此理论的双列结构电场式圆时栅传感器原理,进一步推导单列结构传感器的原理与优势。在此基础上提出了空间关联约束传感方法,将两个传感器通过空间关联耦合在一起,形成一种新的传感结构。以整周360°圆周封闭特性作为基础,通过多次转位,利用整周角度测量误差和等于零这一原则实现轴系误差分离,提高整周角度测量精度。2)对单列结构纳米时栅圆传感器的安装误差进行系统性分析,阐明了由安装带来的误差主要体现在由偏摆造成的一次谐波误差与由倾斜造成的二次谐波误差,揭示了采用多个电极进行信号拾取会具有谐波抑制与匀化效应,能够抑制除测头数整数倍以外的所有频次谐波误差的同时对误差信号的大小进行匀化。并通过理论推导与电场仿真相结合,验证分析的准确性。3)搭建实验测试平台,设计硬件电路与上位机测量系统,并制作传感器样机,对传感器样机进行精度测试验证理论分析的正确性。进行不同安装间隙、不同读数头数目与不同安装位置测试,测试了不同安装情况对测量结果的影响,验证了多读数头结构对误差产生的抑制与匀化作用。然后利用空间关联约束传感方法对传感器进行误差分离,计算出轴系误差对测量结果的影响,大幅提高了传感器在整周的测量精度。综上所述,本文通过空间关联约束测量方法,在不依赖于外部更高基准的条件下实现了超高精度角位移测量,在整周360°的范围内达到±0.1″的测试精度,为生产我国自主研发的角度基准器件打下基础。

关键词：精密位移测量空间关联约束多测头圆时栅

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用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置的建立

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计量科学与技术 2025年第1期69卷 3-10,46页

作者：施玉书王康张诗涵史舟淼於灿杰邓晓程鑫彬皮磊张树深圳中国计量科学研究院技术创新研究院深圳518107 中国计量科学研究院北京100029 同济大学物理科学与工程学院上海200092 同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心上海200092

微纳米定位技术是前沿科学和工程技术领域的关键技术之一,其中微纳米定位平台的位移校准在精密测量领域中占据重要地位,中国计量科学研究院研制了用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置,并建立为我国计量标准。该装置包含激... 详细信息

微纳米定位技术是前沿科学和工程技术领域的关键技术之一,其中微纳米定位平台的位移校准在精密测量领域中占据重要地位,中国计量科学研究院研制了用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置,并建立为我国计量标准。该装置包含激光干涉法微纳米位移定位校准装置与光栅衍射干涉法微纳米位移定位校准装置,其中激光干涉法校准装置通过六自由度激光干涉校准系统实现了纳米微位移平台直接全面校准,在该溯源链路中量值通过激光干涉仪溯源至米定义的波长基准;光栅衍射干涉法校准装置以一维纳米光栅标准物质为核心,在该溯源链路中量值通过光栅栅距溯源至米定义的波长基准。双溯源链路计量标准装置满足了微纳米定位校准的多样化应用需求并增强溯源方式的全面性和可靠性,保证了集成电路领域光刻等微纳米级位移的高精度测量、航空航天工业关键部件的精密装配测量,该计量装置的建立为我国微纳米定位技术的发展提供了重要的技术支撑。

关键词：计量学微纳米定位精密位移测量光栅溯源链路标准物质

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