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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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71 篇 专利

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71 篇 电子文献
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15 篇 上海集成电路研发...
6 篇 河南科技大学
4 篇 中国科学院半导体...
3 篇 昆山光微电子有限...
3 篇 中国科学院上海微...
2 篇 华中科技大学
2 篇 中国科学院长春光...
2 篇 南京大学
2 篇 北京北方高业科技...
2 篇 中国电子科技集团...
2 篇 中国科学院上海技...
2 篇 上海大亚科技有限...
1 篇 深圳市赛福力电子...
1 篇 深圳通感微电子有...
1 篇 烟台睿创微纳技术...
1 篇 复旦大学
1 篇 无锡中科德芯光电...
1 篇 湖北光谷实验室
1 篇 上海巨哥电子科技...
1 篇 东莞先导先进科技...

作者

14 篇 康晓旭
6 篇 张晓玲
6 篇 孟庆端
6 篇 普杰信
6 篇 张立文
4 篇 钟晓兰
3 篇 卢狄克
3 篇 尚海平
3 篇 陈大鹏
3 篇 孔延梅
3 篇 焦斌斌
3 篇 顾溢
3 篇 刘瑞文
3 篇 高超群
3 篇 李洪坤
3 篇 李志刚
2 篇 尚林涛
2 篇 潘辉
2 篇 叶小玲
2 篇 李铭

语言

71 篇 中文

检索条件"主题词=红外探测器结构"

共 71 条记录，以下是31-40 订阅

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光伏型InAs量子点红外探测器结构

光伏型InAs量子点红外探测器结构

引用

作者：唐光华徐波叶小玲金鹏刘峰奇陈涌海王占国姜立稳孔金霞孔宁 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

一种光伏型InAs量子点红外探测器结构，包括：一GaAs衬底；一GaAs底接触层制作在重掺杂或半绝缘GaAs衬底上；一未掺杂的下GaAs隔离层制作在GaAs底接触层上面的一侧，在GaAs底接触层的另一侧形成一台面；一5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaA... 详细信息

标准号: CN101740655B

一种光伏型InAs量子点红外探测器结构，包括：一GaAs衬底；一GaAs底接触层制作在重掺杂或半绝缘GaAs衬底上；一未掺杂的下GaAs隔离层制作在GaAs底接触层上面的一侧，在GaAs底接触层的另一侧形成一台面；一5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaAs结构层制作在未掺杂的下GaAs隔离层上，该5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaAs结构层是实现红外探测的核心部位；一GaAs顶接触层制作在5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaAs结构层上；该GaAs顶接触层进行高浓度掺杂从而实现与电极材料的欧姆接触；一上电极制作在GaAs顶接触层的中间部位；一下电极制作在GaAs底接触层上的台面上，该下电极可以收集电子，输出电流或电压信号；所述上电极与下电极一起能构成探测器检测回路。

关键词：接触层电极结构层掺杂电极制作隔离层衬底红外探测器结构高浓度掺杂探测器检测电极材料电压信号核心部位红外探测欧姆接触量子点台面光伏绝缘电流

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一种高填充因子的红外探测器结构及其制作方法

一种高填充因子的红外探测器结构及其制作方法

引用

作者：康晓旭 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

本发明公开了一种高填充因子的红外探测器结构，包括设于衬底之上的微桥结构，微桥结构包括微桥桥面及支撑和电连接孔，微桥桥面自下而上依次设有第一释放保护层、红外敏感层、第一金属电极层和第二释放保护层，支撑和电连接孔的内壁表... 详细信息

标准号: CN110120437A

本发明公开了一种高填充因子的红外探测器结构，包括设于衬底之上的微桥结构，微桥结构包括微桥桥面及支撑和电连接孔，微桥桥面自下而上依次设有第一释放保护层、红外敏感层、第一金属电极层和第二释放保护层，支撑和电连接孔的内壁表面上依次设有第二金属电极层、第三释放保护层，第二金属电极层自支撑和电连接孔的内壁顶部开口引出，并与第一金属电极层相连，第二金属电极层通过支撑和电连接孔的底部开口与衬底实现电性连接，第三释放保护层自支撑和电连接孔的内壁上端开口部引出，并与第二释放保护层相连。本发明能够在提高填充因子的同时，进一步提升产品性能。本发明还公开了一种高填充因子的红外探测器结构的制作方法。

关键词：金属电极层电连接孔保护层释放红外探测器结构高填充因子微桥结构自支撑衬底桥面微桥支撑红外敏感层产品性能底部开口电性连接内壁表面内壁顶部上端开口填充因子内壁开口制作

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一种基于像元合并的红外探测器结构及其合并方法

一种基于像元合并的红外探测器结构及其合并方法

引用

作者：康晓旭陈寿面 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

一种基于像元合并的红外探测器结构及其合并方法，其包括像素阵列和控制单元，像素阵列包括M*N个像元和与像元一一对应的盲元，控制单元包括盲元连接开关、行选开关、列选开关、传输开关、合并开关、放大单元及其电容；其中，M和N大于等... 详细信息

标准号: CN112082661A

一种基于像元合并的红外探测器结构及其合并方法，其包括像素阵列和控制单元，像素阵列包括M*N个像元和与像元一一对应的盲元，控制单元包括盲元连接开关、行选开关、列选开关、传输开关、合并开关、放大单元及其电容；其中，M和N大于等于2，盲元连接开关、行选开关、列选开关的数量为M*N，传输开关的数量为N，合并开关为N‑1；当需要至少一个相邻X行*Y列合并时，需合并区域的行选开关和列选开关同时闭合，且需合并区域的盲元连接开关全部闭合，需合并区域的合并开关全部闭合，需合并区域的传输开关选通一个闭合且其余传输开关断开，使需合并区域的所有像元的输出数据通过与闭合的传输开关相应的放大器输出；其中，X小于等于M，Y小于等于N。

关键词：闭合传输开关合并区域合并像元连接开关像素阵列放大器红外探测器结构放大单元输出数据电容断开选通输出

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一种改善光谱平整度的红外探测器结构

一种改善光谱平整度的红外探测器结构

引用

作者：许金通李向阳朱龙源王妮丽储开慧赵水平兰添翼 200083 上海市虹口区玉田路500号

本发明公开了一种改善响应光谱平整度的红外探测器结构，它包括金属电极、衬底、光敏感区和其它介质，金属电极位于矩形光敏感区的左右两边，其它介质位于矩形光敏感区的上下两边；所述的其它介质采用与光敏感区相同的材料，电学上与金... 详细信息

标准号: CN103579406A

本发明公开了一种改善响应光谱平整度的红外探测器结构，它包括金属电极、衬底、光敏感区和其它介质，金属电极位于矩形光敏感区的左右两边，其它介质位于矩形光敏感区的上下两边；所述的其它介质采用与光敏感区相同的材料，电学上与金属电极和光敏感区隔离。本发明的器件结构简单且有效，消除了响应光谱谱形的非线形，提高了光谱的平整度。

关键词：敏感区金属电极响应光谱平整度红外探测器结构器件结构电学衬底光谱隔离

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一种红外探测器结构及其制备方法

一种红外探测器结构及其制备方法

引用

作者：陈学枝黄新龙沈憧棐 200233 上海市徐汇区桂平路418号13层06室

本发明的目的是提供一种红外探测器结构及其制备方法。具体地，一种红外探测器结构，包括：衬底、主体桥面，以及：绝热梁，用于支撑主体桥面悬于衬底上方，使得主体桥面与衬底相分离；连接柱，用于连接衬底与绝热梁；其中，衬底朝向主... 详细信息

标准号: CN106611806A

本发明的目的是提供一种红外探测器结构及其制备方法。具体地，一种红外探测器结构，包括：衬底、主体桥面，以及：绝热梁，用于支撑主体桥面悬于衬底上方，使得主体桥面与衬底相分离；连接柱，用于连接衬底与绝热梁；其中，衬底朝向主体桥面的端面上具有红外反射薄膜，主体桥面包含电极薄膜图形和热敏薄膜图形，电极薄膜图形包括分别由梳齿状图形构成的正极图形和负极图形，正极图形和负极图形的梳齿交错排列，之间形成来回弯折的条形区域，条形区域包含热敏薄膜区域以及通孔区域，其中，通孔区域位于条形区域的弯折处，将热敏薄膜区域分割为多个独立的长方形区域。与现有技术相比，本发明解决了电极交错配置的不均匀电流及尖端放电缺陷。

关键词：衬底桥面热敏薄膜条形区域红外探测器结构正极负极绝热电极薄膜通孔红外反射薄膜长方形区域尖端放电交错排列交错配置区域分割支撑主体不均匀连接柱梳齿状弯折处弯折的相分离电极梳齿制备

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一种超晶格甚长波红外探测器结构

一种超晶格甚长波红外探测器结构

引用

作者：施毅岳壮豪牛智川王国伟徐应强蒋洞微常发冉李勇王军转郑有炓 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

一种基于锑化物超晶格的甚长波红外探测器结构，包括从下到上的以下结构：衬底，缓冲层，甚长波波段吸收层，中长波波段势垒层，甚长波波段欧姆接触层，顶盖层；缓冲层外延于所述衬底之上；本发明拥有良好载流子输运性能的锑化物超晶格... 详细信息

标准号: CN111710733A

一种基于锑化物超晶格的甚长波红外探测器结构，包括从下到上的以下结构：衬底，缓冲层，甚长波波段吸收层，中长波波段势垒层，甚长波波段欧姆接触层，顶盖层；缓冲层外延于所述衬底之上；本发明拥有良好载流子输运性能的锑化物超晶格甚长波红外探测器。本发明引入了同型结和分段掺杂，同时对各个区域超晶格结构，掺杂浓度和厚度进行了调控以得到高综合探测率的红外探测器结构。

关键词：长波红外探测器长波波段超晶格缓冲层锑化物衬底掺杂红外探测器结构超晶格结构欧姆接触层载流子输运顶盖层势垒层探测率吸收层中长波波段分段引入调控

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一种高填充因子的红外探测器结构

一种高填充因子的红外探测器结构

引用

作者：康晓旭 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

本发明公开了一种高填充因子的红外探测器结构，自下而上包括：位于第一层的半导体衬底，位于第二层的第一导电梁和第二导电梁，以及位于第三层的微桥桥面；所述第一导电梁和第二导电梁分设有第一连接端和第二连接端，所述第一导电梁的... 详细信息

标准号: CN110361096A

本发明公开了一种高填充因子的红外探测器结构，自下而上包括：位于第一层的半导体衬底，位于第二层的第一导电梁和第二导电梁，以及位于第三层的微桥桥面；所述第一导电梁和第二导电梁分设有第一连接端和第二连接端，所述第一导电梁的第一连接端下表面和第二导电梁的第一连接端下表面分别通过一个第一导电支撑柱连接所述半导体衬底的上表面，所述第一导电梁的第二连接端上表面和第二导电梁的第二连接端上表面分别通过一个第二导电支撑柱连接所述微桥桥面的下表面。本发明能够在提高填充因子的同时，让第一导电支撑柱、第二导电支撑柱以及第一导电梁、第二导电梁等结构使用更大的面积空间，从而进一步提升产品性能。

关键词：导电梁连接端导电支撑柱上表面下表面衬底微桥半导体红外探测器结构高填充因子产品性能结构使用面积空间填充因子第三层第一层桥面

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一种高填充因子的红外探测器结构及其制作方法

一种高填充因子的红外探测器结构及其制作方法

引用

作者：康晓旭 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

标准号: CN110120437B

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光学读出热-机械型红外探测器结构及其制造方法

光学读出热-机械型红外探测器结构及其制造方法

引用

作者：刘瑞文焦斌斌孔延梅尚海平李志刚卢狄克高超群陈大鹏 215325 江苏省苏州市昆山市周庄镇大桥路145号

本发明公开了光学读出热-机械型红外探测器结构及其制造方法，该光学读出热-机械型红外探测器结构包括若干个呈阵列分布的像元单元，每个像元单元包括：衬底、支撑层、红外吸收层、反光板和双材料悬臂梁。该红外探测器结构不仅继承了上... 详细信息

标准号: CN103199144A

本发明公开了光学读出热-机械型红外探测器结构及其制造方法，该光学读出热-机械型红外探测器结构包括若干个呈阵列分布的像元单元，每个像元单元包括：衬底、支撑层、红外吸收层、反光板和双材料悬臂梁。该红外探测器结构不仅继承了上述带衬底FPA和全镂空FPA的优点，同时也克服了他们存在的缺点。该结构较带衬底结构的FPA提高了红外吸收效率，较全镂空FPA提高了薄膜区域的温度均匀性，使得各像元之间可以独立工作，提升了热响应速率，同时各像元制作在支撑层上，无需额外的支撑框架，使占空比得到提高；此外其上下叠加式变形悬臂梁结构的设计不仅提高温度响应灵敏度，而且提高了光学填充因子，更有利于像元向更小尺寸方向发展。

关键词：红外探测器结构光学读出红外吸收镂空机械型支撑层衬底温度均匀性悬臂梁结构薄膜区域材料悬臂衬底结构独立工作填充因子温度响应响应速率阵列分布支撑框架灵敏度反光板小尺寸空比叠加变形继承发展

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一种平面结构铟镓砷阵列红外探测器

一种平面结构铟镓砷阵列红外探测器

引用

作者：李永富龚海梅李雪唐恒敬张可锋李淘宁锦华张燕朱耀明姜佩璐 200083 上海市玉田路500号

本发明公开了一种新型平面结构InGaAs阵列红外探测器。红外探测器结构设计为：在NIN型外延片上通过刻蚀在阵列光敏面周围形成浅隔离槽。通过闭管扩散形成光敏面的PN结区，同时形成与浅隔离槽一体的保护环。通过加厚Cr/Au形成保护环电极... 详细信息

标准号: CN101527308B

本发明公开了一种新型平面结构InGaAs阵列红外探测器。红外探测器结构设计为：在NIN型外延片上通过刻蚀在阵列光敏面周围形成浅隔离槽。通过闭管扩散形成光敏面的PN结区，同时形成与浅隔离槽一体的保护环。通过加厚Cr/Au形成保护环电极及环形遮盖电极。本发明的优点在于一体设计的浅隔离槽与保护环可有效地抑制阵列器件相邻光敏面之间的串音和光敏面扩大现象，辅以小扩散孔及环形遮盖电极能进一步抑制光敏面的扩大并对光敏面进行精确定义。在平面型延伸波长InGaAs阵列器件中，浅隔离槽的引入还可以有效抑制由于材料的晶格失配造成的相邻光敏面P电极间的漏电流。

关键词：光敏面电极隔离槽保护环光敏面的阵列器件红外探测器结构红外探测器晶格失配精确定义新型平面有效抑制扩散孔漏电流平面型外延片波长串音刻蚀扩散延伸周围

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