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检索条件"主题词=红外探测器结构"
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一种红外探测器及其制造方法
一种红外探测器及其制造方法
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作者: 康晓旭 姜利军 201203 上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼B区
本发明公开了一种红外探测器及其制造方法,涉及红外探测器的制造工艺技术领域。本发明提供的一种红外探测器结构包括硅衬底、依次层叠在硅衬底上的探测器牺牲层、释放保护和支撑层、金属电极和探测器敏感材料层,其中,探测器敏感材料... 详细信息
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