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  • 2 篇 意法半导体股份有...
  • 1 篇 英飞凌科技股份有...

作者

  • 2 篇 l·科索
  • 2 篇 l·奥吉欧尼
  • 2 篇 f·韦尔切西
  • 2 篇 l·塞吉齐
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  • 1 篇 g·洛伦茨

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  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=组合微机电"
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组合微机电器件
组合微机电器件
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作者： F·韦尔切西 L·塞吉齐 L·奥吉欧尼 L·科索 意大利阿格拉布里安扎
本公开的各实施例总体上涉及组合微机电器件。一种用于制造组合微机电器件的方法包括：在半导体材料的管芯中形成至少第一微机电结构和第二微机电结构；执行第一结合阶段以经由结合区域或粘合剂将盖结合到管芯以至少分别在第一微机电结... 详细信息
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用于制造组合微机电器件的方法和对应组合微机电器件
用于制造组合微机电器件的方法和对应组合微机电器件
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作者： F·韦尔切西 L·塞吉齐 L·奥吉欧尼 L·科索 意大利阿格拉布里安扎
本公开的各实施例总体上涉及用于制造组合微机电器件的方法和对应组合微机电器件。一种用于制造组合微机电器件的方法包括：在半导体材料的管芯中形成至少第一微机电结构和第二微机电结构；执行第一结合阶段以经由结合区域或粘合剂将盖... 详细信息
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组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器
组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器
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作者： C·布雷特豪尔 S·戈斯瓦米 M·F·赫曼 G·洛伦茨 P·米什拉 D·诺伊迈尔 D·图姆波德 德国诺伊比贝尔格
本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如，一种组合微机电结构(MEMS)，包括：第一压电隔膜，具有一个或多个第一电极，第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间；以及第二压电隔膜，具有惯性质量和一个或多个第... 详细信息
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