检索结果-内蒙古大学图书馆

电加工 1994年第5期 12-16页

作者：宋小中刘正勋高长水南京航空航天大学

根据电火花放电的物理过程，分析电火花细微加工中的几种主要作用力，利用连续弹性体振动理论和一些假设条件研究电极的振动规律，并对电极结构尺寸与电极干扰振幅的关系进行数值分析。在理论研究和数值分析的基础上，进行了细微孔加工... 详细信息

根据电火花放电的物理过程，分析电火花细微加工中的几种主要作用力，利用连续弹性体振动理论和一些假设条件研究电极的振动规律，并对电极结构尺寸与电极干扰振幅的关系进行数值分析。在理论研究和数值分析的基础上，进行了细微孔加工受电极振动影响的工艺实验。

关键词：细微加工振动电火花加工电极干扰

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种用紫外光刻法制造的环氧基光刻胶的悬浮微结构的细微加工方法

一种用紫外光刻法制造的环氧基光刻胶的悬浮微结构的细微加工方法

引用

作者：赵振合刘絮霏 201824 上海市奉贤区青村镇李窑村930号

一种用紫外光刻法制造的环氧基光刻胶的悬浮微结构的细微加工方法，所述处理方法包括如下步骤：S1、将SU‑8光刻胶分配在Si/SiO2基板上，并在旋涂机上进行涂覆；S2、通过在旋转晶片的边缘分配丙二醇甲醚乙酸酯，去除边缘珠；S3、将晶圆... 详细信息

标准号: CN114488698A

一种用紫外光刻法制造的环氧基光刻胶的悬浮微结构的细微加工方法，所述处理方法包括如下步骤：S1、将SU‑8光刻胶分配在Si/SiO₂基板上，并在旋涂机上进行涂覆；S2、通过在旋转晶片的边缘分配丙二醇甲醚乙酸酯，去除边缘珠；S3、将晶圆置于室温下的可编程加热板上进行低温烘烤；S4、第一次紫外线曝光；S5、将mr‑DWL 40光刻胶旋涂在SU‑8上，完成后进行软烘烤；S6、第二次紫外线曝光，曝光后烘烤、显影、冲洗并干燥。该用紫外光刻法制造的环氧基光刻胶的悬浮微结构的细微加工方法，利用两种不同光刻胶（SU‑8和mr‑DWL）的组合来制造具有精确横向和纵向分辨率的悬浮层。

关键词：光刻胶悬浮微结构紫外线曝光细微加工紫外光刻环氧基烘烤旋涂丙二醇甲醚乙酸酯制造纵向分辨率低温烘烤加热板可编程悬浮层分配基板晶片晶圆去除涂覆显影冲洗曝光

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

可细微加工且防松动的智能佩戴设备螺母结构

可细微加工且防松动的智能佩戴设备螺母结构

引用

作者：颜锦洲 523000 广东省东莞市寮步镇良边村金富路33号

本实用新型公开了一种可细微加工且防松动的智能佩戴设备螺母结构，包括安装板，安装板两端部均开设有安装孔，在所述安装孔沿轴向方向设有一螺母，所述螺母位于所述安装板外侧，所述安装板上还开设有一卡板，所述螺母包括螺母本体及螺... 详细信息

标准号: CN206503828U

本实用新型公开了一种可细微加工且防松动的智能佩戴设备螺母结构，包括安装板，安装板两端部均开设有安装孔，在所述安装孔沿轴向方向设有一螺母，所述螺母位于所述安装板外侧，所述安装板上还开设有一卡板，所述螺母包括螺母本体及螺杆，该螺母本体及螺杆之间连接有一弹簧垫圈，该弹簧垫圈套设在所述螺杆上。本实用新型的可细微加工且防松动的智能佩戴设备螺母结构构件之间连接紧密，部分易松动的地方均采用垫片填充，既起到了防护作用，又能增强紧密性，具有结构紧凑、安装方便、摩擦系数低、承受强度高、适用范围广及使用寿命长的特点。

关键词：安装板螺母螺杆本实用新型弹簧垫圈螺母本体螺母结构细微加工安装孔防松动佩戴安装方便防护作用连接紧密摩擦系数使用寿命轴向方向智能紧密性两端部垫片卡板填充松动

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种激光精细微加工用的可吸附加工方法及装置

一种激光精细微加工用的可吸附加工方法及装置

引用

作者：鲁金忠边海榕罗开玉王钊夏蔡涛 212013 江苏省镇江市京口区学府路301号

本发明涉及一种激光精细微加工用的可吸附加工方法及装置。装置包括平台基体、可更换平台、前挡板、密封胶条、气管接头、后挡板、气缸、气动夹头、把手、真空泵。材料在加工前预先放置在可更换平台的指定位置，在平台基体准备就绪后将... 详细信息

标准号: CN115229365A

本发明涉及一种激光精细微加工用的可吸附加工方法及装置。装置包括平台基体、可更换平台、前挡板、密封胶条、气管接头、后挡板、气缸、气动夹头、把手、真空泵。材料在加工前预先放置在可更换平台的指定位置，在平台基体准备就绪后将可更换平台放置于平台基体上，由平台基体连接真空泵创造负压环境，使被加工材料自然吸附在可更换平台上，随后对可更换平台进行进一步的夹紧定位，确保被加工材料的高定位精度。

关键词：可更换被加工材料真空泵吸附加工方法及装置负压环境基体连接夹紧定位密封胶条气动夹头气管接头细微加工准备就绪高定位后挡板前挡板气缸激光把手加工

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种半导体集成电路细微加工研磨剂

一种半导体集成电路细微加工研磨剂

引用

作者：范向奎 266000 山东省青岛市李沧区郑佛路17号-8室

本发明公开了一种半导体集成电路细微加工研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：硫氰酸盐15-35份，碳酸钙7-10份，分散剂1-3份，增稠剂1-3份，阻燃剂4-6份，硬脂酸4-8份，滑石粉4-6份，硬脂酸锌4-6份，硬脂酸钙1-3份，聚丙烯酯... 详细信息

标准号: CN104130747A

本发明公开了一种半导体集成电路细微加工研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：硫氰酸盐15-35份，碳酸钙7-10份，分散剂1-3份，增稠剂1-3份，阻燃剂4-6份，硬脂酸4-8份，滑石粉4-6份，硬脂酸锌4-6份，硬脂酸钙1-3份，聚丙烯酯5-9份。本发明的有益效果是：腐蚀速度低，研磨效果好，对半导体损伤小。

关键词：聚丙烯半导体集成电路滑石粉碳酸钙腐蚀速度硫氰酸盐细微加工研磨效果硬脂酸钙硬脂酸锌分散剂研磨剂硬脂酸增稠剂阻燃剂半导体损伤

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

用激光进行细微加工

引用

中国科教创新导刊 1999年第5期 31-31页

作者：辛健彤迟悟

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

日本电火花加工技术的发展现状

引用

电加工与模具 2001年第3期 13-16页

作者：徐盛林华中理工大学汉口分校

介绍了近年来日本在电火花加工的基础理论研究、新技术开发及新产品研制等方面的进展情况 ,反映了日本电火花加工技术的发展动向。

关键词：电火花加工套料加工细微加工复合加工电火花加工机床日本

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

微机电系统科学与技术的现状研究

引用

机械设计 2003年第11期20卷 4-6,19页

作者：黄志奇杜平安卢凉电子科技大学机械电子工程学院四川成都610054

概述性地介绍了微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem———MEMS)的定义及其特点。从理论基础、技术基础和应用研究三方面阐述了MEMS的主要研究内容。简要介绍了MEMS的基本加工技术,实际应用情况以及国内外MEMS的研究发展现状。

关键词：微机电系统加工技术微传感器细微加工 LIGA MEMS

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

LIGA技术研究与进展

引用

电子器件 1997年第2期20卷 20-27页

作者：揭景耀华东交通大学机械系

本文综述了ＬＩＧＡ技术。介绍了国内外对ＬＩＧＡ技术的改进与推广。

关键词： ILGA技术 X射线光刻细微加工微传感器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

2019封测年会企业推荐

引用

电子工业专用设备 2019年第4期48卷 84-96页

大族激光显视与半导体装备事业部成立于2010年,聚焦于LED、面板、半导体、光伏、消费类电子等行业的精细微加工和相关联行业的测量、检测和自动化解决方案,主要研究蓝宝石、玻璃、陶瓷、硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓等材料的加工工艺和... 详细信息

大族激光显视与半导体装备事业部成立于2010年,聚焦于LED、面板、半导体、光伏、消费类电子等行业的精细微加工和相关联行业的测量、检测和自动化解决方案,主要研究蓝宝石、玻璃、陶瓷、硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓等材料的加工工艺和智能车间解决方案;事业部在职员工逾千人,研发人员占60%以上,2018年事业部销售额超过10亿元。

关键词：企业年会消费类电子事业部细微加工加工工艺半导体碳化硅

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：