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  • 1 篇 soi

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 门传玲
  • 1 篇 谢欣云
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  • 1 篇 张苗

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=绝缘体上半晶硅薄膜技术"
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排序:
SOI新结构——SOI研究的新方向
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物理 2002年 第4期31卷 214-218页
作者: 谢欣云 林青 门传玲 安正华 张苗 林成鲁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
SOI(silicon on insulator :绝缘体上单晶硅薄膜 )技术已取得了突破性的进展 ,但一般SOI结构是以SiO2 作为绝缘埋层 ,以硅作为顶层的半导体材料 ,这样导致了一些不利的影响 ,限制了其应用范围 .为解决这些问题和满足一些特殊器件 电路... 详细信息
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