检索结果-内蒙古大学图书馆

真空科学与技术学报 2021年第2期41卷 126-131页

作者：侯颖杰张虎忠李得天魏建平成永军兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素。基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装置上对其开展性能研究,包括不同压力或不同阴极发射电流下的离子流、ESD效应和软X射线影响。结果表明,... 详细信息

电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素。基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装置上对其开展性能研究,包括不同压力或不同阴极发射电流下的离子流、ESD效应和软X射线影响。结果表明,系统压力介于10^(-8) Pa和10^(-6) Pa之间,当气体发生电离,能量分析器电压在低于阳极电压约25 V时收集极能得到最大的气相离子流。系统压力在10-7~10^(-8) Pa量级,采用2.5 mA的发射电流可得到比1 mA更大的气相离子流值。分离气相离子与ESD离子的能量筒电压差约为30 V,规管栅极除气后可降低ESD效应至除气前的37.5%。电离规的软X射线带来的本底干扰对应等效压力约为9×10^(-11) Pa。

关键词：电离规能量分析器离子流 ESD效应软X射线

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四极场能量分析器

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电子学报 1990年第1期18卷 114-116页

作者：周清南开大学电子科学系

四极场常用于质谱分析,用于能量分析还没有过。本文将详细阐述四极场作能量分析器的可能性。介绍其为分析器时的几何结构、原理和基本公式;具体给出了通过能量,分析器常数和分辨率的表达式。文中还对分析器的用途做了介绍。

关键词：四极场能量分析器静电折射场

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静电减速透镜能量分析器的数值计算

引用

高能物理与核物理 1989年第6期13卷 490-493页

作者：胡玉民李仪清华大学

用表面电荷密度法计算了能量分析器中静电减速透镜的电位分布,用基尔法对电子轨迹进行了模拟,在电子能量为20keV时,得到分析器的能量分辨为1.0eV;讨论了束径、入射角、透镜第三电极孔径对能量分辨的影响;并对个别实验结论作了补充.

关键词：静电减速透镜能量分析器数值计算

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小偏角粒子能量分析器的优化设计与仿真研究

小偏角粒子能量分析器的优化设计与仿真研究

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作者：乔路合肥工业大学

学位级别：硕士

能量分析器是空间粒子探测中被广泛使用的一种仪器。能量分析器探测粒子能量一般是利用静电场对离子的筛选来实现。通过仿真研究能量分析器的工作原理和讨论分析器工作过程的影响因素,进一步优化其结构,提高工作性能。本文结合理论分析... 详细信息

能量分析器是空间粒子探测中被广泛使用的一种仪器。能量分析器探测粒子能量一般是利用静电场对离子的筛选来实现。通过仿真研究能量分析器的工作原理和讨论分析器工作过程的影响因素,进一步优化其结构,提高工作性能。本文结合理论分析和多物理场仿真软件COMSOL Multiphysics5.3的使用,对一种小偏角粒子能量分析器进行了仿真计算以及结构优化。主要工作内容包括:(1)基于静电场中离子运动理论和低能离子运动碰撞理论,建立小偏角粒子能量分析器仿真的理论基础。(2)建立小偏角粒子能量分析器准直区和离化区三维仿真模型。在准直区仿真过程中,分析了准直区过滤电极板长度和宽度变化对电场分布的影响,分析了压强、电压、电极板长度和宽度、电极板距离入口位置以及空间电荷粒子种类对过滤电极过滤效果的影响。在离化区仿真过程中,计算了离化区内部电场分布特点以及电场对中性粒子电离后的离子运行轨迹的影响,计算了电子和中性粒子的碰撞过程。(3)建立小偏角粒子能量分析器偏离区二维和三维仿真模型。在二维模型仿真中,仿真计算了模型的电场分布和离子运动轨迹;计算二维模型的能谱图,根据能谱图计算了分析器能量分辨率和板因子。在三维模型仿真中,计算了三维模型下的电场分布和离子通过率。同时,对微通道板(MCP)的电压进行了优化,结果表明MCP电压为-100V时效果较好;优化偏离区的结构参数,并把三维仿真优化前后以及二维仿真的能谱图进行比较,结果表明优化后的三维仿真模型具有较高的离子通过率以及更好的能量分辨率。在优化后三维仿真模型尺寸下,对离子入射的角度以及温度和压强等参数进行了仿真分析,结果表明:分析器只在一个方向上具有角度分辨;模型中气体压力小于0.01Pa时可以忽略偏离区内残余中性气体的影响,温度的变化会影响到离子的通过率但对能量分辨率没有影响。本文的研究方法为该类型小偏角粒子能量分析器的设计制造提供了理论和仿真技术上的支撑,计算结果为小偏角粒子能量分析器的结构参数选定和优化提供了重要的参考依据。

关键词：能量分析器静电分析器通过率能量分辨率

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能量分析器及其对电位衬度的线性校正

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真空电子技术 1986年第5期 18-20页

作者：吴常津陈月秋

引言电子束检测比机械探针检测优越性多,是对大规模集成电路进行动态测试和失效分析的有效手段。然而用普通的扫描电镜难于对电位衬度进行定量测量,因为它获取信号的机理与机械探针不同,如图1所示。如果不计电抗效应,那么金属探针探测... 详细信息

引言电子束检测比机械探针检测优越性多,是对大规模集成电路进行动态测试和失效分析的有效手段。然而用普通的扫描电镜难于对电位衬度进行定量测量,因为它获取信号的机理与机械探针不同,如图1所示。如果不计电抗效应,那么金属探针探测的电压Vi应与样品电位Vo相等。而电子束检测是通过入射电子轰击样品,激发出二次电子,然后二次电子被探头接收并转换成电信号来实现。Vo与Vi之间的关系受下列诸因素的影响:

关键词：能量分析器线性校正收集极衬度

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微小型热层大气风场仪能量分析器设计优化

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航天器环境工程 2020年第1期37卷 54-59页

作者：焦子龙姜利祥李涛窦仁超黄建国孙继鹏王国栋可靠性与环境工程技术重点实验室北京卫星环境工程研究所北京100094 合肥工业大学真空科学与设备工程系合肥230009

为满足低轨航天器高精度大气阻力分析及热层−电离层耦合机理研究需求,需要开展基于皮纳卫星的热层大气全球组网探测。文章对一种基于平行平板式静电场能量分析器的热层大气风场仪原理进行分析,指出其可获得热层大气沿着和垂直于卫星轨... 详细信息

为满足低轨航天器高精度大气阻力分析及热层−电离层耦合机理研究需求,需要开展基于皮纳卫星的热层大气全球组网探测。文章对一种基于平行平板式静电场能量分析器的热层大气风场仪原理进行分析,指出其可获得热层大气沿着和垂直于卫星轨迹的风速,并利用COMSOL多物理场仿真软件对能量分析器进行优化设计,使得离子的能量分辨率和最大通过率分别较优化前提高1倍和1.5倍。

关键词：热层大气风场仪能量分析器仿真优化

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一个静电式电子能量分析器系统

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物理 1979年第5期 401-406页

作者：许自图陈基辅张水顺中国科学院贵阳地球化学研究所中国科学院沈阳科学仪器厂中国科学院电子学研究所

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用于集成电路检测的复合电子透镜——能量分析器-收集器系统

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真空科学与技术 1993年第4期13卷 280-287页

作者：唐天同王燕西安交通大学电子工程系西安710049

研制出一种将物镜、电子能量分析器与二次电子收集器复合在一起的电子光学系统,该系统能用于集成电路的电子束检测,定量地测定微电路的电位分布。利用侧极靴磁透镜作物镜,该透镜轴上最大磁场在透镜体外,带有吸引栅的拒斥场分析器处在透... 详细信息

研制出一种将物镜、电子能量分析器与二次电子收集器复合在一起的电子光学系统,该系统能用于集成电路的电子束检测,定量地测定微电路的电位分布。利用侧极靴磁透镜作物镜,该透镜轴上最大磁场在透镜体外,带有吸引栅的拒斥场分析器处在透镜体内,样品处有很强的透镜磁场。通过计算机优化设计,样品发出的二次电子在复合电磁场作用下大体正交地进入拒斥场分析器,确保了很高的电位分辨率。实验研究结果证实了计算机CAD设计,S曲线与理论预期的很接近。本文还提出了一种理论模型,用于分析了局部场效应,尤其是局部位垒对S曲线的影响。

关键词：电子束检测集成电路能量分析器

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127°圆柱形能量分析器—CDA的研制

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真空科学与技术学报 1987年第3期 206-210页

作者：徐共建湖北汽车工业学院计算站

本文对低能离子散射谱仪的能量分析器进行了研究,设计和制做了127°园柱形能量分析器—CDA用计算机辅助设计与计算了减速透镜。测试结果表明该CDA的结构合理,在入口缝宽W=3mm的情况下,分辨率达到了6.2%。

关键词：减速透镜能量分析器 CDA 圆柱形

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用于集成电路检测的物镜内能量分析器系统

用于集成电路检测的物镜内能量分析器系统

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第六届全国电子光学会议

作者：唐天同王燕西安交通大学

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