检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：吕清花湖北工业大学

学位级别：硕士

视觉自动对准技术是集成电路后封装设备中的一项重要单元技术。视觉自动对准系统由光学照明系统、光学成像系统、CCD摄像器件、图像处理软件和运动控制系统等部分组成,其中图像处理算法对视觉自动对准系统的精度起着决定性的作用。本文... 详细信息

视觉自动对准技术是集成电路后封装设备中的一项重要单元技术。视觉自动对准系统由光学照明系统、光学成像系统、CCD摄像器件、图像处理软件和运动控制系统等部分组成,其中图像处理算法对视觉自动对准系统的精度起着决定性的作用。本文研究了相关的图像处理算法,实现由粗到精的高精度视觉对准定位,全文主要包括以下几个方面的内容: (1)根据机器视觉原理和自动对准技术,建立了自动对准系统的构架,实现图像自动采集,自动定位的目的。 (2)根据自动对准系统精度的需要,对CCD摄像机的比例系数、光学中心以及系统的像素转换当量等参数进行了标定。 (3)分析了定位标记的作用和特征,将其分为两类,一类是粗定位标记,另一类为精定位标记。同时,运用一系列图像处理技术,例如:灰度直方图分析、图像平滑、域值分割、有效区域提取(ROI)、边缘提取等,将两组定位标记分别提取出来。 (4)结合图像定位标记的分类,运用图像匹配算法实现由粗到精的自动对准过程。首先,利用形心与重心匹配算法找到粗定位标记,实现粗定位;然后对粗定位后图像进行ROI提取,在ROI区域采用当前视觉测量的一种较先进的点模式匹配的方法实现精确定位。在实现精定位之前,为了有效突出定位标记的特征,提高整个系统的定位精度和定位效率,运用基于空间矩的亚像素边缘提取方法,实现定位标记边缘的亚像素级跟踪提取,再利用SUSAN角点提取的方法对亚像素级的边缘进行特征点的有效提取。 (5)运用仿真分析的方法对边缘提取的精度和匹配的精度进行了实验分析.实验表明,该系统具有较高的精度、较强的鲁棒性和实用性。

关键词：自动对准系统标定点模式匹配亚像素边缘提取

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水下无线光自动对准系统的设计与实现

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激光杂志 2021年第1期42卷 124-127页

作者：贺锋涛韦鹏程张建磊杨祎朱云周西安邮电大学电子工程学院西安710121 中国船舶重工集团第705研究所水下信息与控制重点实验室西安710068

水下无线光通信(UOWC)具有保密性好、容量大、传输速度快等优点,可应用于水下信息传输、资源勘查等领域,通信链路的快速建立和持续稳定是水下无线光通信实际应用的基本条件。在平台扰动和海水信道杂质干扰的条件下,如何实现远距离的快... 详细信息

水下无线光通信(UOWC)具有保密性好、容量大、传输速度快等优点,可应用于水下信息传输、资源勘查等领域,通信链路的快速建立和持续稳定是水下无线光通信实际应用的基本条件。在平台扰动和海水信道杂质干扰的条件下,如何实现远距离的快速对准是水下无线光通信必须解决的问题。针对水下无线光通信过程中系统发射端和接收端之间的链路由于干扰问题引起底层平台不断移动而无法对准的问题,搭建了一个基于激光二极管(LD)的水下无线光自动对准系统,该系统具有自动对准控制的特点,即系统在底层平台移动的情况下,依然可以实现链路的对准。

关键词：水下无线光通信自动对准系统海水信道远距离传输

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基于PSD的工件自动对准系统

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工具技术 2006年第3期40卷 128-130页

作者：宋泽云福州大学

介绍了应用二维PSD建立的激光-PSD自动对准系统的组成、位置控制数学模型以及偏心调整机构。该系统能实现回转体类零件在工作台上的自动对准。试验表明,系统使用方便、精度高、可靠性好。

关键词：回转体二维PSD 对准激光自动对准系统工件

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微型光纤准直器的自动对准系统

微型光纤准直器的自动对准系统

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作者：徐健哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

光电子技术是现代通信赖以生存和发展的基础，以光纤为传输媒介的光纤通信正得到广泛应用。光纤准直器作为自由空间型的光无源器件基本元件之一，广泛应用于光隔离器，光环型器，光开关等之中。这些光无源器件生产过程中最重要的一道工... 详细信息

光电子技术是现代通信赖以生存和发展的基础，以光纤为传输媒介的光纤通信正得到广泛应用。光纤准直器作为自由空间型的光无源器件基本元件之一，广泛应用于光隔离器，光环型器，光开关等之中。这些光无源器件生产过程中最重要的一道工序就是准直器的对准，其耦合效率直接影响到产品的光学性能及其合格率。目前国内外在这一生产过程中大多采用手动对准。本文针对光纤准直器的光学特性及结构特点，建立了一套应用于光纤准直器自动对准的系统，并提出了一种快速的多自由度搜索算法，完成光纤准直器的自动对准。在粗对准过程中采用了基于机器视觉定位的方法，使其能够快速找到第一束光。精对准过程结合了多种搜索算法使其具有多自由度同时搜索的优点，因此对准速度快，可以克服多自由度交叉耦合的影响，受噪声影响小。本文主要内容如下：\n 对光电子产业、光电子器件封装和对准算法的发展和现状进行了综述，提出和分析了光纤准直器的光传输公式，着重论述了国内外一些对准算法的基本原理及各自的优缺点。\n 对系统的体系结构进行了说明，论述了自动对准系统的特点，并围绕运动机构和测量系统的精度问题对自动对准系统的各硬件环节的配置进行了详细的讨论。另外还对光纤准直器的几种耦合失配情况进行了讨论，并结合实际的测量数据对光纤准直器端面光场分布特点进行了理论上的分析。\n 论述了基于视觉定位的粗对准算法，并与传统的盲目搜索法进行了比较。此外还介绍了相关的系统标定方法。\n 论述了光纤准直器自动对准过程中精对准部分的算法及对算法的改进，着重说明了角度轴对准过程中对线性轴造成偏差的补偿问题，并介绍了自动对准系统的软件架构。\n 对论文工作中的实验过程和各项实验数据进行了比较分析。\n 本文研发的光纤准直器自动对准系统解决了手动对准效率低下（约二十分钟）的问题，避免了由于操作不当等人为因素对产品造成的不良影响。实验结果表明，本系统对准速度快（约为两分钟），稳定性高，操作简单易学，适合应用于实际的生产中。

关键词：微型光纤准直器自动对准系统光学特性软件架构

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基于图像处理的高精度自动对准系统研究和实现

基于图像处理的高精度自动对准系统研究和实现

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作者：郑达中国地质大学（武汉）

学位级别：硕士

自动对准系统(Automatic Alignment System)是现代工业自动化的基础，所以成为自动化方向的一个重要研究内容。早期的研究主要集中于机械和电子的方法，但都存在一些不足之处，例如具有破坏性、速度慢和不能适应当前的工艺要求等缺点。... 详细信息

自动对准系统(Automatic Alignment System)是现代工业自动化的基础，所以成为自动化方向的一个重要研究内容。早期的研究主要集中于机械和电子的方法，但都存在一些不足之处，例如具有破坏性、速度慢和不能适应当前的工艺要求等缺点。随着计算机的出现和图形图像技术的应用发展，基于图像处理的自动对准系统被逐渐应用推广，该方法具有很强的灵活性和鲁棒性。但成熟的商业系统，由于涉及商业机密等原因，都没有详细的公布，即使是这些系统申请的专利文件中。本文针对半导体生产过程中的硅片检测设备，通过研究现有系统设计和半导体生产需要，研究设计出基于图像处理的硅片自动对准系统。该系统主要由硅片预对准(Wafer Pre-Alignment)、硅片全区域对准(wafer Global Alignment)和晶元对准(Die Allgnment)三部分组成。\n 预对准部分虽然也有一些系统用到了图像的方法，但整体还是属于机械对准范畴，一般的对准系统都具有该部分，由于该部分是基础，并将直接影响到后续步骤的进行，所以也具有改进意义，但不是本文的研究重点。\n 硅片全区域对准在预对准的基础上，能够达到一定的精度。当前主要的对准方法是两点全区域对准法，但该方法速度慢、鲁棒性差、精度也不高且易受旋转误差的影响。本文根据设备机械系统的特性和现有的经典图像对准算法——归一化交叉相关算法(Normalize Cross-Correlation，NCC)，提出实时全区域对准法(Run-Time Alignment)。该方法能避免旋转误差的影响，从而有效地提高对准的速度、精度和鲁棒性。\n 前两步的对准只能够满足普通的半导体工艺，为了满足精度要求更高的设备，本文提出晶元对准，虽然现有的一些设备也具有类似步骤，例如二值相关法和投影法，但它们都没有在硅片全区域对准的基础上进行，所以对准精度的可靠性得不到保证。本文在该步骤主要是应用图像对准算法，实现两幅晶元图像的对准，但现有的经典图像对准算法都存在一定的缺点，例如最小二乘匹配(Least Squares Matching，LSM)算法易受图像噪声影响、归一化交叉相关算法易受旋转误差影响、傅立叶．梅林(Fourier-Mellin)算法速度慢且信息利用率不高等缺点。本文借鉴梅林．傅立叶算法思想，提出速度更快精度更高的哈夫(Hough)变换算法。该方法通过先验经验控制变换精度，能有目的地控制变换结果图像的大小和结果图像可检测的精度，从而提高整体对准结果的速度和精度。

关键词：自动对准系统图像处理半导体生产硅片检测硅片预对准

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高精度光学自动对准系统的研究

高精度光学自动对准系统的研究

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作者：薛英武湖北工业大学

学位级别：硕士

自动对准系统是自动贴片机中的关键组件之一,包括光学照明系统、光学成像系统、图像处理软件和运动控制系统,其对准方法是利用机器视觉和图像处理技术来识别和测量微细标记特征,然后反馈给控制系统引导机械装置进行对准定位。本文重点... 详细信息

自动对准系统是自动贴片机中的关键组件之一,包括光学照明系统、光学成像系统、图像处理软件和运动控制系统,其对准方法是利用机器视觉和图像处理技术来识别和测量微细标记特征,然后反馈给控制系统引导机械装置进行对准定位。本文重点研究了高精度的光学成像系统技术,设计和实现了基于机器视觉的对准定位系统。主要工作如下: 首先,本文对偏振光学理论进行了分析。利用矩阵理论对光线偏振状态进行了理论推导,计算得出自然光线在通过偏振分光片、λ/4波片以及其经过目标反射后不同的状态下的琼斯矩阵表达式,为光学成像系统的设计提供了理论依据。其次,设计和实现了一种光学成像系统。本光学成像系统采用一块CCD来获取两个目标的图像,避免了多相机之间的标定;选择了可以直接和CCD耦合成像的工作距离长、像方光路封装的显微物镜;组合使用偏振分光片、高反射镜和λ/4波片,实现了光路的转折,减小了两个对准目标之间的工作距离,同时由于利用了光线在通过不同光学器件时的偏振特性,减少了光能损失,提高了图像的获取效果。再者,提出了一种新的使用光栅刻线进行成像系统精度标定的方法。通过计算光栅图像每一列中所有像素点的灰度值之和,把条纹灰度值进行平移,得到一幅李萨如图。然后通过对李萨如图进行分析与处理,计算本系统中光栅刻线与图像像素之间的映射系数,实现了系统的定标。最后,利用上述光学成像技术,实现了一种光学自动对准系统。运用该系统,采集了某芯片与其基底的图像并进行对准。结果表明,该光学自动对准系统具有结构紧凑、成本低、精度高等特点。

关键词：自动对准系统机器视觉偏振标定光栅刻线

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LCD基板视觉自动对准系统及其图像处理

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电子工艺技术 2001年第3期22卷 123-126页

作者：沈奕姚若河吕佳鹏汕头大学物理学系广东汕头515053 汕头超声显示器有限公司广东汕头515041

阐述LCD(液晶显示器 )基板视觉自动对准系统的基本组成、标定及实现原理。介绍了图像处理技术在其中的应用。

关键词：基板自动对准系统图像处理液晶显示器

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贴片机自动对准系统的硬件设计

贴片机自动对准系统的硬件设计

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湖北省机械工程学会第十六届机械设计与传动学术年会

作者：刘文超范宜燕王选择湖北工业大学机械工程学院湖北武汉430068 湖北省现代制造质量工程重点实验室湖北武汉430068

介绍了贴片机自动对准系统的结构与工作原理,并对贴片机自动对准系统的硬件进行了设计,硬件部分由光学系统、运动控制系统和光源控制系统组成.实验结果证明该系统能够成功实现高精度自动对准的功能.

关键词：贴片机自动对准系统光学系统运动控制系统

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DSW光刻机中的最短时间自动对准系统

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河北工业科技 1989年第1期12卷 29-33页

作者：王文平刘永强罗培成王彦池河北机电学院自动化系

本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)

关键词：自动对准系统最短时间控制动态规划

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自动对准系统

自动对准系统

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作者：戴金何耀文方伟胡科刘爱辉张超张贝彭苗毕俊 100031 北京市西城区西长安街86号

本发明提供一种自动对准系统，包括：对准子部件，包括：第一安装板、第一驱动组件、第二安装板、第二驱动组件和间隔棒销钉植入装置；第一安装板上设有沿第一水平方向延伸的滑轨，间隔棒销钉植入装置可滑动地设置在滑轨上，滑轨靠近间... 详细信息

标准号: CN116140958B

本发明提供一种自动对准系统，包括：对准子部件，包括：第一安装板、第一驱动组件、第二安装板、第二驱动组件和间隔棒销钉植入装置；第一安装板上设有沿第一水平方向延伸的滑轨，间隔棒销钉植入装置可滑动地设置在滑轨上，滑轨靠近间隔棒的一端通过弹性件与间隔棒销钉植入装置连接；第一安装板设置在第一驱动组件上，第一驱动组件用于驱动第一安装板沿与第一水平方向垂直的第二水平方向移动；第一安装板和第一驱动组件均设置在第二安装板上，第二安装板设置在第二驱动组件上，第二驱动组件用于驱动第二安装板沿竖直方向移动。本发明通过自动对准系统用于将间隔棒销钉植入装置与间隔棒对准，保证了安装的效率，降低了人工作业的安全风险。

关键词：安装板驱动组件间隔棒植入装置销钉滑轨自动对准系统对准竖直方向移动水平方向延伸水平方向移动驱动可滑动地人工作业垂直的弹性件子部件安全保证

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