检索结果-内蒙古大学图书馆

液晶与显示 2019年第2期34卷 146-154页

作者：刘丹陈启超黄晟秦刚高朋朋陈昊蔡晓锐王百强冯家海方亮重庆京东方光电科技有限公司重庆大学物理学院

光刻胶经过曝光、显影后的锥角(Taper)和关键尺寸(Develop Inspection Critical Dimension,DICD)是光刻工艺的重要参数。明确影响锥角和DICD的工艺参数,进而控制锥角和DICD,这对工艺制程至关重要。本文结合光刻制程,探究了光刻胶厚度、... 详细信息

光刻胶经过曝光、显影后的锥角(Taper)和关键尺寸(Develop Inspection Critical Dimension,DICD)是光刻工艺的重要参数。明确影响锥角和DICD的工艺参数,进而控制锥角和DICD,这对工艺制程至关重要。本文结合光刻制程,探究了光刻胶厚度、曝光剂量、Z值、显影时间对锥角和DICD的影响,并结合蒙特卡罗算法对显影制程进行评估。实验结果表明:光刻胶厚度每增加1μm,DICD增加约2.6μm。同时,厚度增加会导致光刻胶顶部的锥角逐渐由锐角向钝角演变。曝光剂量每增加10mJ/s,DICD则减小约0.8μm,锥角则呈阈值跳跃式上升趋势。基板在最佳焦平面曝光,DICD和锥角均一性最好。显影时间每增加10s,DICD下降约0.3m,锥角则增加约1.7°。最终,DICD和锥角呈负相关关系,可以通过调节光刻工艺参数对锥角和DICD进行控制。

关键词：光刻胶锥角显影后关键尺寸光刻工艺蒙特卡罗计算

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球状深穿透屏蔽基准实验设计及效果验证

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哈尔滨工程大学学报 2024年第12期45卷 2358-2363页

作者：翟梓安唐松乾刘思凡王湘雷温兴坚吴怡睿中国核动力研究设计院核反应堆技术全国重点实验室四川成都610213 中国核动力研究设计院核动力设计研究所四川成都610213

针对自主化屏蔽计算程序和屏蔽数据库缺少屏蔽基准实验数据验证的问题,本文基于Cf-252中子源开展了球状深穿透屏蔽基准系列实验设计研究,设计影锥系统解决深穿透屏蔽实验中散射扣除困难的关键问题。通过安装影锥系统前后的两次测量结果... 详细信息

针对自主化屏蔽计算程序和屏蔽数据库缺少屏蔽基准实验数据验证的问题,本文基于Cf-252中子源开展了球状深穿透屏蔽基准系列实验设计研究,设计影锥系统解决深穿透屏蔽实验中散射扣除困难的关键问题。通过安装影锥系统前后的两次测量结果相减,从而实现散射中子的扣除。采用蒙特卡罗计算方法对影锥系统的应用效果进行了验证,并利用裸源实验完成了实验设计整体验证。结果表明:本文设计的影锥系统散射扣除效果良好,扣除后的探测器反应率较无散射情况的最大相对偏差为3.11%;裸源实验能谱测量结果与Cf-252自发裂变中子谱瓦特谱吻合良好,47群能谱的均方根误差为1.89×10-3。研究表明:本文开展的深穿透屏蔽基准实验设计效果较好,后续产生的实验数据可用于自主化屏蔽计算程序和屏蔽数据库的验证,支持我国深穿透屏蔽基准实验数据库建设。

关键词：屏蔽计算基准实验散射扣除影锥深穿透 Cf-252 中子能谱探测器蒙特卡罗计算

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云对在卫星上探测近地面核爆光信号的影响

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核电子学与探测技术 2002年第5期22卷 465-472页

作者：张仲山张恩山高春霞肇文丽防化指挥学院7教防化研究院2所 57318部队

定量分析了云对从卫星上探测近地面核爆光信号的影响。结果表明 ,其影响程度皆随云光学厚度或卫星视角的增大而增大 ;云确会在可探测信号强度及光学定位精度方面带来不利影响 ,但其影响程度并不太大 ;云多次散射会使穿云光信号波形出现... 详细信息

定量分析了云对从卫星上探测近地面核爆光信号的影响。结果表明 ,其影响程度皆随云光学厚度或卫星视角的增大而增大 ;云确会在可探测信号强度及光学定位精度方面带来不利影响 ,但其影响程度并不太大 ;云多次散射会使穿云光信号波形出现一定的延时并变得“矮胖”;当点光源位于云几何中位面上方时 ,其向上穿云光学透过比与无云时几乎相同 ;而当该源在云几何中位面下方时 ,其向上穿云透射比与该源到其几何中位面的距离密切相关。给出了许多便于估计云影响程度的图表。

关键词：探测近地面核爆光信号散射消光云光学厚度卫星视角穿云光学透射比蒙特卡罗计算几何中位面

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贫化铀用于舰艇核动力装置辐射防护的屏蔽性能分析

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核科学与工程 2019年第2期39卷 260-266页

作者：宋英明张宇卢川谭磊王浩然陈心润南华大学核科学技术学院湖南衡阳421001 中国核动力研究设计院核反应堆系统设计技术国家重点实验室四川成都610213

贫化铀的合理利用和安全处置是国际核工程界长期存在的难题,用作舰艇核动力装置的一次屏蔽结构材料是贫化铀利用的一条途径。文章对贫化铀材料主要是DU混凝土作为辐射防护材料的物理、化学、力学、屏蔽等方面性能进行了调研综述,结合舰... 详细信息

贫化铀的合理利用和安全处置是国际核工程界长期存在的难题,用作舰艇核动力装置的一次屏蔽结构材料是贫化铀利用的一条途径。文章对贫化铀材料主要是DU混凝土作为辐射防护材料的物理、化学、力学、屏蔽等方面性能进行了调研综述,结合舰艇核动力装置对辐射防护的具体要求,针对舰艇反应堆四层三维屏蔽结构简化模型,利用蒙特卡罗方法模拟计算了贫化铀材料对中子、γ射线的屏蔽性能,通过与铅、钨、铸钢等材料进行对比分析,初步说明了贫化铀或贫化铀混合物用于舰艇核动力装置辐射防护材料的可行性。

关键词：贫化铀材料舰艇核动力装置屏蔽性能蒙特卡罗计算

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用于薄膜厚度均匀性监测的^(147)Pm-β源设计

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核电子学与探测技术 2013年第2期33卷 202-206页

作者：张洁徐家云陈秀莲王芳娜四川大学物理科学与技术学院成都610064

β射线束已被广泛用于工业上纸张、铝箔等薄膜生产中厚度均匀性的在线监测,为提高监测的精细程度和准确度,需要用束斑小、强度高、含韧致辐射少的β粒子束。对此,采用蒙特卡罗EGS5程序,对147Pm-β源的结构和尺寸进行了优化模拟计算设计... 详细信息

β射线束已被广泛用于工业上纸张、铝箔等薄膜生产中厚度均匀性的在线监测,为提高监测的精细程度和准确度,需要用束斑小、强度高、含韧致辐射少的β粒子束。对此,采用蒙特卡罗EGS5程序,对147Pm-β源的结构和尺寸进行了优化模拟计算设计。在将源结构设计成由内向外依次为147Pm-β源、铝和铅屏蔽层的情况下,模拟计算结果表明:对一定横截面积的147Pm-β源芯,β束流强度随源芯厚度增加而增大,在厚度为25 mg/cm2时达到饱和;穿出β源屏蔽体的韧致辐射强度随铝和铅屏蔽层的增厚减小,当铝和铅层厚度分别大于0.3 mm和0.8 mm时,辐射强度为最小。

关键词： 147Pm-β放射源薄膜厚度均匀性测量蒙特卡罗计算

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^(16)O+^(115)In反应中余核的激发函数

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高能物理与核物理 1990年第1期14卷 64-69页

作者：孙彤玉李文新吴定清王素芳徐树威赵莉莉郭应祥孙秀荣中国科学院近代物理研究所

在能量为51—97 MeV的^(16)O离子轰击^(115)In的反应中,采用核化学技术测定了21个反应产物的激发函数,实验结果与复合核统计蒸发模型的Alice程序以及描述复合核统计蜕变过程的Monte-Carlo模拟计算值进行了比较.

关键词：重离子反应核化学技术余核激发函数蒙特卡罗计算复合核统计蒸发复合核统计蜕变

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6711型125I种子源剂量学参量的蒙特卡罗模拟研究

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中华放射医学与防护杂志 2008年第2期28卷 -页

作者：孙吉宁樊铁栓杨元第温松明胡家成苏以翔杨鸿栋温琛琳重离子物理教育部重点实验室北京大学物理学院重离子物理研究所100871 中国计量科学研究院电离辐射与医学工程计量科学研究所大连现代高技术发展有限公司北京医迈迪科技发展有限公司北京师范大学低能核物理研究所

目的计算6711型125I种子源的剂量特性.方法使用EGSnrc蒙特卡罗模拟程序对种子源的各向异性函数、径向剂量函数和剂量率常数进行计算,并给出了不同介质中的空间剂量率分布,将计算结果与美国医学物理师协会(AAPM)TG43-U1号报告中的推荐... 详细信息

目的计算6711型125I种子源的剂量特性.方法使用EGSnrc蒙特卡罗模拟程序对种子源的各向异性函数、径向剂量函数和剂量率常数进行计算,并给出了不同介质中的空间剂量率分布,将计算结果与美国医学物理师协会(AAPM)TG43-U1号报告中的推荐值和其他已发表的相关数据进行了比较.结果各向异性函数与其他最新发表的数据符合较好;径向剂量函数与TG43-U1推荐值符合较好;剂量率常数为0.951 cGy·h-1·U-1,与TG43-U1推荐值在1.45%内吻合.结论 6711型125I种子源剂量场具有低剂量率,高梯度的特点;各向异性函数在近距离小角度处存在小突起的结构.

关键词： 125I种子源蒙特卡罗计算各向异性函数径向剂量函数剂量率常数剂量率分布

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γ射线康普顿反散射成像研究

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核电子学与探测技术 2003年第1期23卷 72-74页

作者：柳晓旭陈文娟清华大学核能技术设计研究院北京100084

通过使用MCNP软件对反散射成像装置的蒙特卡罗计算模拟,对探测器电流进行了计算,通过实验进行了验证。

关键词： γ射线康普顿反散射 MCNP软件蒙特卡罗计算

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瓦里安加速器6MVX线小野数据测量与计算比较

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中华放射肿瘤学杂志 2012年第6期21卷 557-559页

作者：王学涛陈少文戴振晖朱琳刘小伟广东省中医院放疗区广州510275 中山大学物理科学与工程技术学院东莞理工学院电子工程学院

目的通过比较不同电离室测量及蒙特卡罗计算结果，研究不同方法对小野数据测量的适用性。方法用不同电离室测量及蒙特卡罗计算瓦里安6MVX线在0．5cm×0．5cm-10cm×10cm射野的总散射因子和百分深度剂量，对测量和计算结果进行... 详细信息

目的通过比较不同电离室测量及蒙特卡罗计算结果，研究不同方法对小野数据测量的适用性。方法用不同电离室测量及蒙特卡罗计算瓦里安6MVX线在0．5cm×0．5cm-10cm×10cm射野的总散射因子和百分深度剂量，对测量和计算结果进行比较和分析。结果当射野≥3．5cm×3．5cm时各电离室测量及蒙特卡罗计算结果间差异较小，当射野≤3．0cm×3．0cm时不同结果间差异明显。CC04、CC13电离室适合于≥2．0cm×2．0cm射野的总散射因子和百分深度剂量测量。结论CC04、CC13电离室测量和蒙特卡罗计算方法能确定≥2．0cm×2．0cm射野的总散射因子和百分深度剂量，更小射野测量和计算数据需慎重评估。

关键词：电离室测量蒙特卡罗计算小野数据

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^(252)Cf裂变中子源在组织等效模体中的中子和γ辐射剂量分布的计算

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中华放射医学与防护杂志 2001年第4期21卷 244-246页

作者：纪刚郭勇骆亿生张文仲北京放射医学研究所 100850

目的　计算2 5 2 Cf裂变中子源的中子和γ辐射在组织等效模体内的剂量分布 ,为使用2 5 2 Cf裂变中子源进行中子放疗提供有用的剂量学参数。方法　建立2 5 2 Cf源和组织等效模体的三维几何计算模型 ,利用蒙特卡罗方法进行中子和γ辐射联... 详细信息

目的　计算2 5 2 Cf裂变中子源的中子和γ辐射在组织等效模体内的剂量分布 ,为使用2 5 2 Cf裂变中子源进行中子放疗提供有用的剂量学参数。方法　建立2 5 2 Cf源和组织等效模体的三维几何计算模型 ,利用蒙特卡罗方法进行中子和γ辐射联合输运计算。结果　计算了两种医用2 5 2 Cf裂变中子源在水、血液、肌肉、皮肤、骨骼和肺组织等效材料构成的模体中距源不同距离点处的中子和γ辐射吸收剂量。结论　蒙特卡罗计算结果与文献数据以及使用双电离室实验测量的结果符合得较好。对2 5 2 Cf裂变中子源在 5种组织材料构成的模体中中子和γ辐射的剂量分布进行了比较 ,使用水作为组织等效材料对2 5 2 Cf裂变中子源在以肌肉、血液和皮肤构成的局部组织内的剂量分布进行模拟计算 ,可取得比较可靠的结果。

关键词： ^252Cf裂变中子源蒙特卡罗计算剂量分布组织等效模式 γ辐射肿瘤治疗

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