检索结果-内蒙古大学图书馆

激光与红外 2021年第1期51卷 9-14页

作者：宋艳马世榜郑州信息科技职业学院河南郑州450001 南阳师范学院机电工程学院河南南阳473061

激光超声的纵波声场在工件内部各个方向均有分布,相比于横波和表面波,纵波最先到达开口裂纹处,随后发生衍射以及产生波型转换现象。若提取相应含有开口裂纹信息的超声波信号,便能够达到缺陷识别的目的。基于烧蚀机制下激光超声纵波声场... 详细信息

激光超声的纵波声场在工件内部各个方向均有分布,相比于横波和表面波,纵波最先到达开口裂纹处,随后发生衍射以及产生波型转换现象。若提取相应含有开口裂纹信息的超声波信号,便能够达到缺陷识别的目的。基于烧蚀机制下激光超声纵波声场的分布特点,分析了衍射纵波信号的时间及相位特征,并给出了裂纹参数的表达式。建立了含开口裂纹工件的二维有限元模型,根据衍射纵波的渡越时间计算了开口裂纹的深度并进行了对比。同时还探讨了衍射纵波的相位反转现象,为检测过程中衍射纵波的识别提供了依据。最后对开口裂纹进行了激光超声测量实验,验证了利用激光超声纵波的衍射信号测量开口裂纹的可行性。

关键词：激光超声纵波衍射信号开口裂纹

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使用抽样衍射信号选择假想剖面用于光学计量的方法

使用抽样衍射信号选择假想剖面用于光学计量的方法

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作者：翁维包军巍斯里尼瓦斯·多迪伊曼纽尔·德勒热温金桑贾伊·耶杜尔道瑞斯·钦尼克黑尔·亚卡塔达尔劳伦斯·雷恩美国加利福尼亚州

使用一个假想剖面来模拟形成于半导体晶片上的结构剖面，用于使用光学计量确定该结构的剖面。选择一个假想剖面，从形成于晶片上的结构中测量的衍射信号获得抽样衍射信号，该抽样衍射信号是对测量的衍射信号的代表性抽样。定义了一个假... 详细信息

标准号: CN100559156C

使用一个假想剖面来模拟形成于半导体晶片上的结构剖面，用于使用光学计量确定该结构的剖面。选择一个假想剖面，从形成于晶片上的结构中测量的衍射信号获得抽样衍射信号，该抽样衍射信号是对测量的衍射信号的代表性抽样。定义了一个假想剖面，并从获得的抽样衍射信号中使用一个抽样衍射信号对该假想剖面进行评价。

关键词：抽样衍射信号衍射信号半导体晶片代表性抽样光学计量结构剖面晶片评价

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一种X射线衍射信号的采集方法、系统、设备及存储介质

一种X射线衍射信号的采集方法、系统、设备及存储介质

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作者：罗震林刘志杰董永齐 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

本发明实施例提供了一种X射线衍射信号的采集方法、系统、设备及存储介质。方法包括：通过X射线源发出X射线照射样品，使用二维面探测器进行持续性扫描，控制样品沿ψ圆旋转360度，确定是否将当前2θ和ω取值下的目标倒易空间Qz为正的... 详细信息

标准号: CN113447507A

本发明实施例提供了一种X射线衍射信号的采集方法、系统、设备及存储介质。方法包括：通过X射线源发出X射线照射样品，使用二维面探测器进行持续性扫描，控制样品沿ψ圆旋转360度，确定是否将当前2θ和ω取值下的目标倒易空间Q_z为正的部分扫描完毕，若否，则控制χ变化Δχ，返回执行控制样品沿ψ圆旋转360度的步骤。若是，则判断是否已将目标倒易空间扫描完毕。若未将目标倒易空间扫描完毕，则控制2θ变化Δ2θ，控制ω变化Δω，并返回步骤控制样品沿ψ圆旋转360度。若已将目标倒易空间扫描完毕，则结束处理，并获得目标倒易空间中的第一衍射数据。本发明实现了对广域倒易空间中的大多数衍射信号快速高效地采集。

关键词：空间扫描扫描采集发出X射线存储介质衍射信号持续性二维面返回探测器广域衍射照射

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一种测量表面法向衍射信号的方法、装置及存储介质

一种测量表面法向衍射信号的方法、装置及存储介质

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作者：罗震林董永齐 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

本申请实施例提供了一种测量表面法向衍射信号的方法、装置及存储介质，其中方法包括：将ω和2θ均初始化为0，调整χ以使样品表面法线与ω的旋转轴垂直，并设置ω＝θ，以使X射线二维探测器的探测方向为样品表面法线的方向，根据样品... 详细信息

标准号: CN114486965B

本申请实施例提供了一种测量表面法向衍射信号的方法、装置及存储介质，其中方法包括：将ω和2θ均初始化为0，调整χ以使样品表面法线与ω的旋转轴垂直，并设置ω＝θ，以使X射线二维探测器的探测方向为样品表面法线的方向，根据样品的块材参数，确定不少于两个的衍射斑，并生成连接不少于两个的衍射斑的直线，利用X射线二维探测器在预设倒易空间衍射矢量值区间内，沿直线进行倒易空间扫描，待X射线二维探测器按照预设倒易空间衍射矢量值区间采集完毕后，获得第一数量个衍射信号图片，对第一数量个衍射信号图片进行筛选，获得第三数量个信噪比大于预设信噪比值的晶体截断杆衍射信号。本申请实现了获得高信噪比的表面衍射信号的发明目的。

关键词：衍射信号二维探测器预设样品表面法线空间衍射矢量衍射存储介质空间扫描表面法初始化信噪比旋转轴高信截断块材申请探测测量垂直采集筛选图片

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一种测量表面法向衍射信号的方法、装置及存储介质

一种测量表面法向衍射信号的方法、装置及存储介质

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作者：罗震林董永齐 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

标准号: CN114486965A

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一种X射线衍射信号的采集方法、系统、设备及存储介质

一种X射线衍射信号的采集方法、系统、设备及存储介质

引用

作者：罗震林刘志杰董永齐 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

标准号: CN113447507B

关键词：空间扫描扫描采集发出X射线存储介质衍射信号持续性二维面返回探测器广域衍射照射

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一种衍射信号接收并处理的方法

一种衍射信号接收并处理的方法

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作者：关守平刘天宇卢海波 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号

本发明提供一种衍射信号接收并处理的方法，涉及X射线探测技术领域。一种衍射信号接收并处理的装置，包括供电电源、信号处理系统、中央控制系统和显示系统；信号处理系统一端连接闪烁探测器，接收闪烁探测器输出的毫伏级弱电压脉冲信... 详细信息

标准号: CN108508046B

本发明提供一种衍射信号接收并处理的方法，涉及X射线探测技术领域。一种衍射信号接收并处理的装置，包括供电电源、信号处理系统、中央控制系统和显示系统；信号处理系统一端连接闪烁探测器，接收闪烁探测器输出的毫伏级弱电压脉冲信号，并将其转化为标准的数字脉冲信号和连续模拟信号；信号处理系统的另一端与中央控制系统相连；中央控制系统与显示系统相连；供电电源为整个装置和闪烁探测器供电。本发明提供采用衍射信号接收并处理的装置进行衍射信号接收并处理的方法。本发明提供的衍射信号接收并处理的方法，在满足同样测量精度要求的前提下，使闪烁探测器对X光管电流的强度要求大幅度减小，延长了X射线管的使用寿命。

关键词：衍射信号闪烁探测器信号处理系统中央控制系统供电电源显示系统测量精度要求连续模拟信号数字脉冲信号脉冲信号强度要求使用寿命一端连接管电流弱电压减小供电输出转化

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利用具有仿真衍射信号输入的支持向量机的光学计量

利用具有仿真衍射信号输入的支持向量机的光学计量

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作者：金文鲍君威李世芳日本东京都

本发明公开了利用具有仿真衍射信号输入的支持向量机的光学计量。可以利用支持向量机来检查在半导体晶片上形成的结构。获得结构的轮廓模型。该轮廓模型由表征结构的几何形状的轮廓参数定义。获得一组轮廓参数值。利用该组轮廓参数值生... 详细信息

标准号: CN101285677B

本发明公开了利用具有仿真衍射信号输入的支持向量机的光学计量。可以利用支持向量机来检查在半导体晶片上形成的结构。获得结构的轮廓模型。该轮廓模型由表征结构的几何形状的轮廓参数定义。获得一组轮廓参数值。利用该组轮廓参数值生成一组仿真衍射信号，每个仿真衍射信号表征从所述结构衍射的光的行为。利用该组仿真衍射信号作为对支持向量机的输入并且利用该组轮廓参数值作为支持向量机的期望输出，对该支持向量机进行训练。获得离开结构的测得衍射信号。将测得衍射信号输入到经训练的支持向量机。获得结构的轮廓参数值作为经训练的支持向量机的输出。

关键词：向量机衍射信号参数值仿真轮廓模型训练半导体晶片表征结构光学计量轮廓参数衍射检查

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基于超声衍射信号实施检测的无损检测仪

基于超声衍射信号实施检测的无损检测仪

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作者：汪静 226000 江苏省南通市港闸区永和路561号南通友联数码技术开发有限公司

本发明公开了一种基于超声衍射信号实施检测的无损检测仪，包括主机、扫查装置，主机有人机交互的硬件平台，并接有显示屏、操作面板、各类电气和数据接口、主控计算机、超声功能模块、存储设备；扫查装置包括TOFD探头、位置编码器，以... 详细信息

标准号: CN102235999A

本发明公开了一种基于超声衍射信号实施检测的无损检测仪，包括主机、扫查装置，主机有人机交互的硬件平台，并接有显示屏、操作面板、各类电气和数据接口、主控计算机、超声功能模块、存储设备；扫查装置包括TOFD探头、位置编码器，以及扫查架，其中TOFD探头是专用于TOFD检测的宽频窄脉冲、压电复合材料探头，位置编码器为高精度的旋转编码器，用于记录扫查时TOFD探头的移动位置，扫查架用于固定探头间距以及安装旋转编码器。本发明结构合理，检测性能好，体积小，携带方便。

关键词：探头位置编码器旋转编码器主机压电复合材料无损检测仪主控计算机超声功能存储设备固定探头人机交互实施检测数据接口衍射信号移动位置硬件平台高精度检测脉冲超声宽频显示屏

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一种晶体衍射信号获取方法

一种晶体衍射信号获取方法

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作者：窦作勇张鹏程马策陈力罗晋如谈笑李云王旻董平 621700 四川省绵阳市江油市华丰新村9号

本发明提供一种晶体衍射信号获取方法，通过采用W靶X射线管，并用铅块屏蔽透射X射线，并加装滤波片减少干扰，可在面探测器上获得清晰的衍射图像。本发明方法可穿透3mm厚的铁，40mm厚的铝，快速获得晶体材料从表层到内部的衍射信号，有... 详细信息

标准号: CN107703168A

本发明提供一种晶体衍射信号获取方法，通过采用W靶X射线管，并用铅块屏蔽透射X射线，并加装滤波片减少干扰，可在面探测器上获得清晰的衍射图像。本发明方法可穿透3mm厚的铁，40mm厚的铝，快速获得晶体材料从表层到内部的衍射信号，有利于材料内部的物相、织构和应力分析。

关键词：材料内部减少干扰晶体材料晶体衍射面探测器信号获取衍射图像衍射信号应力分析可穿透滤波片透射屏蔽加装铅块织构并用清晰

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