检索结果-内蒙古大学图书馆

表面微加工传感器结构中的锆钛酸铅（PZT）薄膜

引用

红外 1992年第2期13卷 25-29页

作者： Tama.,T 高国龙

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

表面微加工中镍的微电铸

表面微加工中镍的微电铸

引用

中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：吕文龙陈义华孙道恒厦门大学厦门大学厦门大学

介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点。搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比。利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价... 详细信息

介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点。搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比。利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述。实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构。

关键词：微电铸脉冲表面微加工镍

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

表面微加工中镍的微电铸

表面微加工中镍的微电铸

引用

中国微米纳米技术第七届学术年会

作者：吕文龙陈义华孙道恒厦门大学厦门361005

本文介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有... 详细信息

本文介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.

关键词：微电铸表面微加工镍电解液脉冲电铸

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测

表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测

引用

中国微米纳米技术第七届学术年会

作者：姜理利唐洁影东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096

MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,本文阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂... 详细信息

MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,本文阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.

关键词：微悬臂梁断裂失效断裂可靠度表面微加工 MEMS

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

采用表面微加工和RIE的多层膜触觉图象传感器

引用

国外传感技术 1994年第5期3卷 114-120页

作者：梅涛

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

面向特征建模方式的微器件表面微加工掩膜推导方法

引用

现代机械 2017年第2期 75-79页

作者：迟茗文刘峥西安工业大学机电工程学院陕西西安710032

针对微机电系统传统设计方法中,微器件的结构设计过程不够直观,三维模型的更改需要根据掩膜的更改来推导完成。提出了一种算法以实现由微器件三维特征模型自动推导出掩膜版图。在完成对微器件三维特征模型工艺分层之后,每一工艺层分别... 详细信息

针对微机电系统传统设计方法中,微器件的结构设计过程不够直观,三维模型的更改需要根据掩膜的更改来推导完成。提出了一种算法以实现由微器件三维特征模型自动推导出掩膜版图。在完成对微器件三维特征模型工艺分层之后,每一工艺层分别包含各自的特征结构,再根据各个工艺层的结构信息和材料信息,利用提出的掩膜推导算法,在沿微器件加工方向的正方向完成掩膜的逐层推导。并在VC环境下基于Open CASCADE三维内核开发相关应用程序,来完成对掩膜推导算法的验证。通过实例验证表明,此算法具有可行性,可以实现掩膜的自动生成,较传统设计方法更加直观、高效。

关键词：表面微加工 MEMS 掩膜推导元素推理

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

纳秒脉冲激光对水下靶材的表面微加工技术

纳秒脉冲激光对水下靶材的表面微加工技术

引用

第八届全国表面工程学术会议暨第三届青年表面工程学术论坛

作者：张朝阳陈飞王耀民江苏大学机械工程学院激光技术研究所

利用纳秒脉冲激光在水下靶材表面进行了微加工试验,由于水流的作用,激光辐照的多余热量被带走,热影响区明显减小,加工精度得到提高。同时,水下激光辐照还会在加工区域造成光学击穿产生等离子体冲击波,由于水层的约束限制作用,加工表现... 详细信息

利用纳秒脉冲激光在水下靶材表面进行了微加工试验,由于水流的作用,激光辐照的多余热量被带走,热影响区明显减小,加工精度得到提高。同时,水下激光辐照还会在加工区域造成光学击穿产生等离子体冲击波,由于水层的约束限制作用,加工表现出了明显的冲击波力学效应。正是在这种热–力学复合作用下,使金属靶材表面产生了材料去除和变形的加工效果。利用所构建的试验系统,在激光的传输光路中加入掩模板,实现了掩模图形的缩映加工,与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率。又将水改为盐性溶液,利用纳秒脉冲激光在靶材表面引起的光化学反应和热-力学效应,实现了线宽均匀,热影响区小,成形精度较好的微细加工。

关键词：表面微加工纳秒脉冲激光等离子冲击波热–力学效应

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于三维工艺层模型的表面微加工MEMS器件掩模综合

基于三维工艺层模型的表面微加工MEMS器件掩模综合

引用

第十四届计算机辅助设计与图形学学术会议

作者：李建华刘玉生高曙明华东理工大学计算机科学与工程系上海200237 浙江大学CAD&CG国家重点实验室浙江杭州310027

本文针对表面微加工技术,提出了一种基于三维工艺层模型生成包括多层腐蚀在内的掩模和工艺序列的新方法。首先，分析了包括多层腐蚀的各种表面微加工步骤的几何特性及其对掩模综合的作用;在掩模综合时,先将多层腐蚀的相关信息从三维工... 详细信息

本文针对表面微加工技术,提出了一种基于三维工艺层模型生成包括多层腐蚀在内的掩模和工艺序列的新方法。首先，分析了包括多层腐蚀的各种表面微加工步骤的几何特性及其对掩模综合的作用;在掩模综合时,先将多层腐蚀的相关信息从三维工艺层模型中提取出,然后按工艺层模型的工艺顺序基于每个层的实体和多层腐蚀相关的特定区域生成该层的掩模子集和工艺子步骤。最后，给出了实例进行分析。

关键词：表面微加工微机电系统器件掩模综合三维工艺层模型

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

连续激光与超声复合表面微加工系统及方法

连续激光与超声复合表面微加工系统及方法

引用

作者：龙芋宏焦辉杨林帆周嘉赵要武鲍家定刘清原黄宇星 541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号

本发明公开了一种连续激光与超声复合表面微加工系统及方法，包括将连续激光器的激光束聚焦在靶材上的透镜、激光作用时间调节装置和靶材上下振幅调节装置，靶材上下振幅调节装置包括由超声波发生器控制的超声波变幅杆，变幅杆通过固定... 详细信息

标准号: CN110052703A

本发明公开了一种连续激光与超声复合表面微加工系统及方法，包括将连续激光器的激光束聚焦在靶材上的透镜、激光作用时间调节装置和靶材上下振幅调节装置，靶材上下振幅调节装置包括由超声波发生器控制的超声波变幅杆，变幅杆通过固定夹具安装于CNC数控平台上，靶材安装于变幅杆上；激光作用时间调节装置包括调速器控制转速的挡光转盘，挡光转盘上圆周均布开设有调节激光通过比的透光口，挡光转盘由升降机构和左右移动机构调节其在透镜与靶材之间的位置。本发明利用激光熔凝淬火原理提高靶材表面的表面性能，将靶材固定在超声波变幅杆上，加快靶材表面的对流换热，增强冷却效果，抛出熔渣、均匀化加工区域和细化晶粒的作用。

关键词：靶材挡光转盘超声波变幅杆时间调节装置振幅调节装置透镜靶材表面激光作用变幅杆激光超声波发生器左右移动机构表面微加工调速器控制激光束聚焦连续激光器晶粒表面性能超声复合对流换热固定夹具加工区域冷却效果连续激光熔凝淬火升降机构数控平台均匀化透光口均布熔渣细化

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

连续激光与超声复合表面微加工系统

连续激光与超声复合表面微加工系统

引用

作者：龙芋宏焦辉杨林帆周嘉赵要武鲍家定刘清原黄宇星 541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号

本实用新型公开了一种连续激光与超声复合表面微加工系统，包括将连续激光器的激光束聚焦在靶材上的透镜、激光作用时间调节装置和靶材上下振幅调节装置，靶材上下振幅调节装置包括由超声波发生器控制的超声波变幅杆，变幅杆通过固定夹... 详细信息

标准号: CN209986397U

本实用新型公开了一种连续激光与超声复合表面微加工系统，包括将连续激光器的激光束聚焦在靶材上的透镜、激光作用时间调节装置和靶材上下振幅调节装置，靶材上下振幅调节装置包括由超声波发生器控制的超声波变幅杆，变幅杆通过固定夹具安装于CNC数控平台上，靶材安装于变幅杆上；激光作用时间调节装置包括调速器控制转速的挡光转盘，挡光转盘上圆周均布开设有调节激光通过比的透光口，挡光转盘由升降机构和左右移动机构调节其在透镜与靶材之间的位置。本实用新型利用激光熔凝淬火原理提高靶材表面的表面性能，将靶材固定在超声波变幅杆上，加快靶材表面的对流换热，增强冷却效果，抛出熔渣、均匀化加工区域和细化晶粒的作用。

关键词：靶材挡光转盘超声波变幅杆时间调节装置振幅调节装置透镜本实用新型靶材表面激光作用变幅杆激光超声波发生器左右移动机构表面微加工调速器控制激光束聚焦连续激光器晶粒表面性能超声复合对流换热固定夹具加工区域冷却效果连续激光熔凝淬火升降机构数控平台均匀化透光口均布熔渣细化

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：