检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：迟茗文西安工业大学

学位级别：硕士

微型元器件是微机电系统中的重要组成部分,并且在多种行业内得到了非常广泛的应用,因此微器件的工艺设计方法就显得至关重要。目前,微型元器件设计者在设计微器件的同时还需要掌握微器件的加工工艺,这样就使得微器件的开发周期变长、设... 详细信息

微型元器件是微机电系统中的重要组成部分,并且在多种行业内得到了非常广泛的应用,因此微器件的工艺设计方法就显得至关重要。目前,微型元器件设计者在设计微器件的同时还需要掌握微器件的加工工艺,这样就使得微器件的开发周期变长、设计效率低下。要求微器件的功能设计者同时需要掌握大量工艺知识。伴随着设计理念的发展,产生了更为先进的“逆向”设计方法,即先创建MEMS器件的结构模型,再由模型推导出工艺信息,其关键就在于微器件的工艺分层和掩模的推导。为了从基础技术层面支撑这种设计思想,论文以微器件的三维模型为基础,利用有向图方法完成对三维模型的工艺分层,再基于MUMPS工艺规范,开发了掩模推导算法,利用该算法实现了各工艺层的掩模推导。在VC++环境下通过MFC框架,利用三维内核Open CASCADE搭建了应用程序。然后以典型微器件为实例,在构建的三维环境下完成微器件的建模与显示。以微器件的特征模型为输入,利用有向图搜索配合交互判断的方法完成对特征的工艺分层。以各个工艺层为单位,运用几何元素和模型运算相结合的掩模推导算法,在三维系统中完成掩模的推导,得到每一工艺层对应的掩模版图,实现了掩模的自动生成。最后,在本课题所开发的原型系统下完成了对文中所提相关方法的验证,为微器件先进设计理念做出了技术层面的支撑。

关键词：表面微加工 MEMS 掩模推导几何元素推理

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RF MEMS自由梁谐振器特性研究

RF MEMS自由梁谐振器特性研究

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作者：凌源电子科技大学

学位级别：硕士

随着电子系统对器件高性能、小型化需求的逐步提高,MEMS谐振器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优势被推上舞台。由于MEMS谐振器的制作工艺和IC工艺兼容,可以实现批量生产,加上其优越的电气性能,因而在近年来逐渐成为一大研究热点。本文... 详细信息

随着电子系统对器件高性能、小型化需求的逐步提高,MEMS谐振器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优势被推上舞台。由于MEMS谐振器的制作工艺和IC工艺兼容,可以实现批量生产,加上其优越的电气性能,因而在近年来逐渐成为一大研究热点。本文分析了MEMS自由梁谐振器工作机理及性能影响因素,讨论了Q值与谐振器结构、空气阻尼之间的关系,动态阻抗与电极间隙、介质材料之间的关系,根据表面微加工工艺设计了谐振器加工流程,并完成了谐振器的制备和测试,主要内容如下:1.将MEMS自由梁谐振器等效为弹簧阻尼振动系统,根据谐振器结构和材料提取谐振器等效弹性系数、等效质量等,采用机电类比法,将机械三维结构的谐振器等效为RLC电路模型,便于谐振器性能的分析;2.研究自由梁谐振器的能量损耗机理。从振动力学的角度出发,计算支撑梁末端对锚点做的功,获得传递到基底的机械波的能量,从而得到自由梁谐振器的锚点损耗;根据雷诺方程,分析了稀薄空气下MEMS谐振器的空气阻尼,推出等效阻尼系数,结合谐振器振动的达朗贝尔方程,获取谐振器的阻尼损耗;最后通过弹性热力学分析,建立了MEMS谐振器热弹性阻尼损耗模型,并采用有限元软件验证了分析结果;3.研究降低谐振器动态阻抗的移动电极法。分析不同参数对谐振器动态阻抗的影响,设计了通过增加阻挡块,外加驱动电极降低谐振器电容间隙减小动态阻抗的方法,并分析了外加电极对谐振器性能的影响,通过仿真分析验证了该方案的可行性;4.完成了谐振器的加工与测试。设计MEMS自由梁谐振器微加工流程,制作了谐振器光刻版并完成了谐振器的加工。根据谐振器的特性,设计了测试电路,提取键合线等效电气参数并建立其等效电路模型,仿真分析键合线及测试板对谐振器性能的影响,最后通过真空探针台测试了谐振器的性能。

关键词：射频微机电谐振器锚点损耗表面微加工

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微机械电容式加速度计的设计及制备

微机械电容式加速度计的设计及制备

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作者：韩小林电子科技大学

学位级别：硕士

微机械电容式加速度计是一种典型的利用表面微加工( Surface Micromachining)技术设计制造的惯性器件,因其高精度、良好稳定性以及与集成电路(IC)工艺技术良好兼容等优点,被广泛的应用于军事和民用各个领域,世界各国的科研机构多年来对... 详细信息

微机械电容式加速度计是一种典型的利用表面微加工( Surface Micromachining)技术设计制造的惯性器件,因其高精度、良好稳定性以及与集成电路(IC)工艺技术良好兼容等优点,被广泛的应用于军事和民用各个领域,世界各国的科研机构多年来对于采用表面微加工技术的微机械电容式加速度计设计制造进行了大量的研究,取得了丰硕的成果。我国在这一领域的研发力度相对滞后,因此对于微机械电容式加速度计进行深入研究显得非常必要。本文围绕着疏齿式微电容加速度计的制备,分析了微机械电容式加速度计的力学模型,讨论了影响器件灵敏度的相关参数,对于器件工作时的两种阻尼效应(滑膜阻尼和压膜阻尼)进行了分析,结合细梁弹性理论得到了制备工艺所采用的两种简单支撑梁结构的弹性系数;同时,采用ANSYS软件对三种不同结构的加速度计进行了静态力学和模态仿真分析,得到了不同结构参数的惯性质量块的位移、应力分布和谐振模式,利用分析得到的结果,优化了结构参数;在以上研究基础上,设计了基于表面微加工技术的疏齿式微机械电容式加速度计的制备流程,利用L-EDIT软件绘制了光刻版图,其中包括4种“一”字梁结构,6种回形梁结构和一种双轴结构器件,综合薄膜技术、光刻技术、反应离子刻蚀技术等制备了疏齿式微电容加速度计;最后简要讨论了微机械电容式加速度计的闭环回路系统实现和反馈力的加载,介绍了两种微小电容测试电路,研究了差分电容结构加速度计的信号读出电路的结构设计。

关键词：微机电系统微机械加速度计表面微加工 ANSYS

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一种基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及加工方法

一种基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及加工方法

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作者：孙铭锐金建东马秀芬 519000 广东省珠海市高新区金唐路1号港湾1号科创园19栋5层501室

本发明公开了一种基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及其加工方法，其包括衬底、金属电极薄膜的附着层、工作电极和其他电极，衬底正面中部设有腐蚀凹槽或第一腐蚀孔，金属电极薄膜的附着层铺设在腐蚀凹槽或第一腐蚀孔外部的衬底正面且... 详细信息

标准号: CN114965625B

本发明公开了一种基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及其加工方法，其包括衬底、金属电极薄膜的附着层、工作电极和其他电极，衬底正面中部设有腐蚀凹槽或第一腐蚀孔，金属电极薄膜的附着层铺设在腐蚀凹槽或第一腐蚀孔外部的衬底正面且金属电极薄膜的附着层中心设有与腐蚀凹槽或第一腐蚀孔连通的第二腐蚀孔，工作电极中部悬浮在第二腐蚀孔上，第二腐蚀孔通过工作电极两侧的空隙与工作电极上部连通。分别基于表面微加工技术或基于双侧体微加工技术，制备具有悬浮工作电极结构的电化学敏感芯片，工作电极正反面都与电解液直接接触，增加了工作电极参与电荷交换的有效面积，成功地提高了工作电极上的电流输出，提高测量信噪比。

关键词：工作电极腐蚀孔金属电极薄膜附着层悬浮电化学衬底正面敏感芯片腐蚀连通表面微加工测量信噪比微加工技术电荷交换电流输出有效面积电解液正反面电极侧体衬底制备铺设外部加工成功

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一种微米管道的加工方法

一种微米管道的加工方法

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作者：纪新明黄涛李洁惠 200433上海市杨浦区邯郸路220号

本发明涉及表面微加工技术，公开了一种微米管道的加工方法。本发明中，包含以下步骤：提供一衬底，其中，衬底上具有周期性点阵结构的孔；在衬底上淀积牺牲层薄膜；在牺牲层薄膜上淀积结构层薄膜；去除牺牲层薄膜，获得结构层薄膜卷曲... 详细信息

标准号: CN104591079B

本发明涉及表面微加工技术，公开了一种微米管道的加工方法。本发明中，包含以下步骤：提供一衬底，其中，衬底上具有周期性点阵结构的孔；在衬底上淀积牺牲层薄膜；在牺牲层薄膜上淀积结构层薄膜；去除牺牲层薄膜，获得结构层薄膜卷曲成的微米管道，其中，微米管道的外壁上具有从衬底上复制的周期性凸起阵列。这样，使得所制造的微米管道的外壁上具有周期性凸起阵列，具有更加良好的光学性质。

关键词：微米管道衬底牺牲层薄膜结构层薄膜凸起阵列淀积外壁表面微加工周期性点阵光学性质卷曲去除复制加工制造

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基于多目标优化的微铣削表面粗糙度检测指标研究

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航空制造技术 2020年第19期63卷 66-72页

作者：李文琴许金凯于化东张向辉刘启蒙于占江长春理工大学跨尺度微纳制造教育部重点实验室长春130022

针对微铣削表面形貌复杂而难以准确评价的问题,提出了一种基于三维表征的表面粗糙度检测指标。首先,在主成分分析的基础上,基于灰色关联分析方法将表征意义不同的三维表面粗糙度参数Sa、Ssk和Sku转化为单一的灰色关联度作为表面粗糙度... 详细信息

针对微铣削表面形貌复杂而难以准确评价的问题,提出了一种基于三维表征的表面粗糙度检测指标。首先,在主成分分析的基础上,基于灰色关联分析方法将表征意义不同的三维表面粗糙度参数Sa、Ssk和Sku转化为单一的灰色关联度作为表面粗糙度检测指标;其次,利用响应曲面法建立灰色关联度模型,分析工艺参数对灰色关联度的影响规律;最后,获取最优工艺参数组合并进行验证。结果表明,灰色关联度模型的平均相对误差为6.54%,拟合精度高,预测效果好,验证了模型的有效性;获取的最优工艺参数组合对应的灰色关联度提高了15.27%,实现了表面粗糙度和表面异常特征最小化的目的,证明了检测指标的可行性。

关键词：表面微加工多目标优化灰色关联分析响应曲面法三维表面粗糙度表面粗糙度检测指标

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化学机械抛光技术的研究进展

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上海大学学报（自然科学版） 2003年第6期9卷 494-502页

作者：雷红雒建斌张朝辉上海大学纳米中心上海200436 清华大学摩擦学国家重点实验室北京100084

化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化.该文综述了CMP技术的研究现状,指出... 详细信息

化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化.该文综述了CMP技术的研究现状,指出了CMP急待解决的技术和理论问题,并对其发展方向进行了展望.

关键词：表面微加工化学机械抛光平整化研究进展微电子制造集成电路芯片计算机硬磁盘

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化学机械抛光技术研究现状与展望

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山东建筑大学学报 2009年第2期24卷 168-174页

作者：张健史宝军杜运东杨廷毅山东建筑大学机电工程学院山东济南250101

化学机械抛光技术几乎是迄今唯一可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化。本文综述了CMP的技术原理和CMP设备及消耗品的研究现状,指出了CMP急待解决... 详细信息

化学机械抛光技术几乎是迄今唯一可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化。本文综述了CMP的技术原理和CMP设备及消耗品的研究现状,指出了CMP急待解决的技术和理论问题,并对其发展方向进行了展望。

关键词：化学机械抛光平整化表面微加工无颗粒抛光

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MEMS技术在光网络的应用

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中国集成电路 2002年第1期11卷 42-50页

作者： Armand Neukermans Rajiv Ramaswami 黄国勇张海霞北电网络公司

互联网的飞速发展对宽带通信提出的需求只能由光网络满足,这转而导致了前所未有的对光微机械系统(MEMS)的兴趣。从光纤光学的早期开始,人们就认识到微光学是MEMS应用的沃土。基于MEMS的产品在光网络应用领域如交换结构、可变衰减器、可... 详细信息

互联网的飞速发展对宽带通信提出的需求只能由光网络满足,这转而导致了前所未有的对光微机械系统(MEMS)的兴趣。从光纤光学的早期开始,人们就认识到微光学是MEMS应用的沃土。基于MEMS的产品在光网络应用领域如交换结构、可变衰减器、可调激光器及其它器件中具有本质上的性能价格优势。本文回顾了在光网络应用中的各种MEMS技术。

关键词：光网络交换时间可调激光器光纤光交换表面微加工器件层网络应用可变光学衰减器制造技术

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基于MEMS的一种微机械滤波器的分析

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微纳电子技术 2007年第4期44卷 195-199页

作者：唐炜斌徐利梅黄大贵电子科技大学机械电子工程学院成都610054

介绍了一种自由梁微机械滤波器的组成及工作原理,采用连续系统的方法来分析该微机械滤波器的谐振器,推导了其弯曲振动模态下的谐振频率公式——Euler-Bernoulli方程。然后根据MEMS材料的特性和微系统表面微加工原理设计了一种共振频率为... 详细信息

介绍了一种自由梁微机械滤波器的组成及工作原理,采用连续系统的方法来分析该微机械滤波器的谐振器,推导了其弯曲振动模态下的谐振频率公式——Euler-Bernoulli方程。然后根据MEMS材料的特性和微系统表面微加工原理设计了一种共振频率为70 MHz的微机械滤波器工艺,并利用MEMS专业软件Coventor进行仿真分析,仿真结果与计算结果一致,验证了该工艺设计的可行性。

关键词：微机械滤波器表面微加工微机电系统工艺共振

来源：评论

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