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5层工艺技术可以制造更可靠、更复杂的MEMS
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今日电子 2000年 第5期 6-7页
作者： Alix L.Paultre 王正华
5层多晶硅表面微加工工艺可以制成更为可靠,能够完成更为复杂作业的微机电系统(MEMS)。此项首先在美国能源部所属Sandia国家实验室(位于美国新墨西哥州的Albuquerque)实现的工艺技术,可望成为工业界的标准工艺技术;
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1998年IEEE国际可靠性物理年会论文集论文摘要(1)
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电子产品可靠性与环境试验 2001年 第2期 45-48页
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可靠性设计、试验与设备
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电子科技文摘 2001年 第3期 3-4页
Y2000-62524-97 0103527表面微加工微电子机械传动装置的可靠性=Reliability of surface micromachined microelectromechanical actua-tors[会,英]/Tanner,D.M.//2000 IEEE Proceedingsof 22nd International Conference on Microelect... 详细信息
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微机电系统制造工艺综述
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新型工业化 2022年 第7期12卷 71-75页
作者： 胡艺森 南京理工大学机械工程学院
微机电系统（MEMS）是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统，本文阐述了国内外微机电系统发展的情况，论述了微机电系统制造技术的种类、方法、材料及应用领域，总结了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面微加工三种常用的MEMS加工... 详细信息
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机电一体化技术的杰出成就:微电子机械系统
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机电一体化 1998年 第1期4卷 13-15页
作者： 刘青 邹广平 刘晓静 武汉工业大学机电学院 辽宁省机械研究院
阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义;介绍了目前国际上在该领域的成就和未来的发展趋势。
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制造显微机器
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科学（中文版） 1996年 第1期 61-64页
作者： Gabr.,KJ 肖波
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21 世纪的关键技术——微电子机械系统
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航空制造工程 1998年 第2期 6-7页
作者： 刘青 武汉工业大学
阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义，介绍了目前国际上微电子机械系统所取得的成就及未来的发展趋势。
来源： 评论
基本电路
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电子科技文摘 2006年 第7期 31-32页
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印刷技术发展的回顾与展望
印刷技术发展的回顾与展望
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中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会
作者： 蒲嘉陵 北京印刷学院，北京 102600 华南理工大学 纸浆与造纸工程国家重点实验室，广州 510640
本文对印刷技术的发展进行了回顾与展望。从单纯的技术角度，印刷可以定义为是通过选择性添加适当物质的方法将拟表达的信息、内容或功能呈现在适当载体上的过程，属于典型的附加型、面处理（并行处理）技术范畴，具有空间分辨率高、生... 详细信息
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微电子机械系统技术及市场化应用
微电子机械系统技术及市场化应用
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 蒋军彪 魏芳林 王小斌 陈平 航空六一八所(西安)
首先简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展,阐述了三种主要的微加工工艺并作了比较,对MEMS技术的应用前景及市场前景进行了分析.
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