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主题

  • 1 篇 离子束刻蚀
  • 1 篇 光刻热熔法
  • 1 篇 凹微透镜阵列
  • 1 篇 平面折射微透镜阵...
  • 1 篇 表面微结构形貌
  • 1 篇 光学材料
  • 1 篇 远场光学特性

机构

  • 1 篇 华中科技大学
  • 1 篇 华中光电技术研究...

作者

  • 1 篇 裴先登
  • 1 篇 zhang zhi
  • 1 篇 yi xinjian
  • 1 篇 pei xiandeng
  • 1 篇 tang qingle
  • 1 篇 张新宇
  • 1 篇 易新建
  • 1 篇 张智
  • 1 篇 汤庆乐
  • 1 篇 zhang xinyu

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=表面微结构形貌"
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排序:
凹折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作
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光学学报 2001年 第4期21卷 485-490页
作者: 张新宇 汤庆乐 张智 易新建 裴先登 华中科技大学计算机科学与技术学院外存储系统国家专业实验室 武汉430074 华中光电技术研究所 武汉430074 华中科技大学光电子工程系 武汉430074
利用光刻热熔成形工艺及离子束刻蚀制作 12 8× 12 8元凹微透镜阵列。所制硅及石英凹微透镜的典型基本图形分别为凹球冠形、凹柱形和矩顶凹面形。分析了在光致抗蚀剂柱凹微透镜图形制作过程中的膜系匹配特性 ,与制作该种微透镜有关... 详细信息
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