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一种电子束曝光剂量校正方法
一种电子束曝光剂量校正方法
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作者： 刘晓宇 彭炜 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种电子束曝光剂量校正方法，根据版图图形中不同占空比的图形区域进行图形分区，各个区域分别采用邻近效应校正计算得到第一剂量校正系数，并根据各个区域的占空比得到第二剂量校正系数，在第一剂量校正系数的基础上叠加第... 详细信息
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一种电子束曝光剂量校正方法
一种电子束曝光剂量校正方法
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作者： 刘晓宇 彭炜 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种电子束曝光剂量校正方法，根据版图图形中不同占空比的图形区域进行图形分区，各个区域分别采用邻近效应校正计算得到第一剂量校正系数，并根据各个区域的占空比得到第二剂量校正系数，在第一剂量校正系数的基础上叠加第... 详细信息
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一种基于声流控的微量生物分子富集装置及其制备方法
一种基于声流控的微量生物分子富集装置及其制备方法
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作者： 耿文平 丑修建 刘玉凯 张亦驰 乔骁骏 侯晓娟 穆继亮 何剑 030000 山西省太原市学院路3号
本申请提供了一种基于声流控的微量生物分子富集装置及其制备方法，在微流道层设有若干个液体流道，每个液体流道的两端分别设有液体入口和液体出口，液体流道设有连通相邻液体流道的液体汇集口，并在基底位于液体流道的第一侧且对应液... 详细信息
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基于声人工结构的微粒分选方法
基于声人工结构的微粒分选方法
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作者： 郑海荣 黄来鑫 李飞 蔡飞燕 孟龙 牛丽丽 周伟 林争荣 518055 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号
本申请公开了一种基于声人工结构的微粒分选方法、装置、设备及其存储介质，该方法包括：通过超声激励使得声人工结构发生共振；将待分离样品注入到流动室，利用共振强局域声场产生的声辐射力将辐射力大于阈值的待分离样品粒子捕获至声... 详细信息
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微波等离子体离子化检测器
微波等离子体离子化检测器
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作者： 金钦汉 杨广德 于爱民 吉林省长春市解放大路83号
本发明属于微波等离子体离子化检测器。其特点是采用表面波器件(Surfatron)，配置以各种结构和不同形状的放电管，获得常压或减压氦(或氩)等离子体，构成检测机理和灵敏度不同的系列离子化检测器。该检测器系列结构简单、造价低廉、操... 详细信息
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一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法
一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法
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作者： 车颜贤 曾庆平 宋轶佶 何峰 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
本发明公开了一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法，此传感器具体包括衬底，所述衬底的中部位置设置有压力空腔；所述衬底的上表面设有压电薄膜，所述压电薄膜的上表面设置有第一声表面波器件，所述压电薄膜的下表面设置有第二... 详细信息
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延迟模块和设置有该延迟模块的数字可编程延迟线
延迟模块和设置有该延迟模块的数字可编程延迟线
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作者： 刘吉阊 何明坤 宋建营 266000 山东省青岛市城阳区夏庄街道空港路北、正阳路南
本实用新型公开了一种延迟模块和数字可编程延迟线，其中，数字可编程延迟线包括：若干个串联连接的延迟模块，每个延迟模块均与主控模块相连；每个延迟模块包括分别主控模块相连的与第一微波开关和第二微波开关，所述第一微波开关和第... 详细信息
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一种无源延迟线型声表面波胎压传感器及胎压监控系统
一种无源延迟线型声表面波胎压传感器及胎压监控系统
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作者： 李媛媛 卢文科 陈广杰 201620 上海市松江区人民北路2999号
本实用新型涉及一种无源延迟线型声表面波胎压传感器，其特征在于：包括下盖，在下盖上设有不带敏感膜的第一声表面波器件，上盖固定连接在下盖的上方，上盖内部为中空结构，带敏感膜的第二声表面波器件设于上盖上。本实用新型还涉及一... 详细信息
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一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器
一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器
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作者： 王文 贾雅娜 薛蓄峰 刘梦伟 梁勇 王毅坚 100190 北京市海淀区北四环西路21号
本发明公开了一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器，包括声表面波器件，微加热器和控制电路；声表面波器件和微加热器共同建立在公有内部结构压电晶体基底上实现物理连接，控制电路通过电连接控制微加热器。声表面波器件包括压电晶... 详细信息
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一种铌酸锂二维光栅激发布洛赫表面波生物传感器及方法
一种铌酸锂二维光栅激发布洛赫表面波生物传感器及方法
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作者： 周宇杰 葛道晗 张立强 212013 江苏省镇江市京口区学府路301号
本发明提供一种铌酸锂二维光栅激发布洛赫表面波生物传感器及方法，包括至下而上依次设置的缺陷层、Bragg反射镜层、缓冲层和铌酸锂二维光栅层；Bragg反射镜层包括多个低孔隙率多孔硅层和高孔隙率多孔硅层，低孔隙率多孔硅层和高孔隙率... 详细信息
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