检索结果-内蒙古大学图书馆

光学精密工程 2001年第2期9卷 146-150页

作者：刘国淦张学军王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲苏绍景吕海宝李圣怡中科院长春光学精密机械与物理研究所湖南长沙410073 国防科技大学机电工程研究所

为莫尔条纹的计数与细分提供了一种基于 DSP(数字信号处理器 )的高速软件解决方案。它能有效的解决传统系统中计数电路与细分功能不能无缝匹配的问题 ,提高测量的准确性。由于采用了高速信号处理和闪烁采样技术 ,采用该方案的系统能处... 详细信息

为莫尔条纹的计数与细分提供了一种基于 DSP(数字信号处理器 )的高速软件解决方案。它能有效的解决传统系统中计数电路与细分功能不能无缝匹配的问题 ,提高测量的准确性。由于采用了高速信号处理和闪烁采样技术 ,采用该方案的系统能处理宽动态范围的莫尔条纹信号。提供的实例能对从直流到1 MHz的莫尔条纹信号进行计数与细分 ,对于 1 μm光学分辨率的光栅测长系统来说 ,其相应的最高测量速度为 1 0 0 0 mm/ s,细分步长可以达到 nm级。

关键词：位移测量莫尔条纹计数细分数据采集 DSP

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自带计量标准器的二维位移工作台研究

引用

华中科技大学学报（自然科学版） 2003年第11期31卷 53-54,60页

作者：王选择郭军谢铁邦华中科技大学机械科学与工程学院

提出以平面正交衍射光栅作为二维位移工作台计量标准器的方法 ,随工作台的移动 ,光栅能同时检测一个平面上两个方向的位移 .阐述了正交衍射光栅作为位置检测元件的工作原理及其光路布置方法 ,二次衍射光线的两两迭加 ,形成两组干涉条纹... 详细信息

提出以平面正交衍射光栅作为二维位移工作台计量标准器的方法 ,随工作台的移动 ,光栅能同时检测一个平面上两个方向的位移 .阐述了正交衍射光栅作为位置检测元件的工作原理及其光路布置方法 ,二次衍射光线的两两迭加 ,形成两组干涉条纹信号 ,且这两组干涉条纹信号的相移与光栅两个正交方向的位移呈正比 ,通过光电转换和计数细分处理电路得到条纹信号的相移 ;检测光路布置在工作台下方 ,通过几组直角棱镜使干涉条纹信号进入光电探测器 .实验分析了工作台的测量精度 ,有效分辨率提高到 1 0nm .

关键词：二维位移工作台平面正交衍射光栅计数细分李萨如图计量标准器

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基于线阵器件光栅常数测量技术研究

基于线阵器件光栅常数测量技术研究

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作者：许勇苏州大学

学位级别：硕士

光栅作为一种高精度的衍射光学元件,在纳米测量技术中发挥着重要作用。先进制造、科技、社会的进步,对于纳米级的测控技术的需求越来越强烈。要实现纳米级的测量技术,制备高精度、高制作工艺的光栅具有重要意义。光栅常数作为衡量光栅... 详细信息

光栅作为一种高精度的衍射光学元件,在纳米测量技术中发挥着重要作用。先进制造、科技、社会的进步,对于纳米级的测控技术的需求越来越强烈。要实现纳米级的测量技术,制备高精度、高制作工艺的光栅具有重要意义。光栅常数作为衡量光栅制作水平的一个重要参数,提高光栅常数的测量水平对于光栅制作、检测、应用等场景具有重要意义。本文以线阵CMOS传感器作为光电转换器件,采集待测光栅±m级衍射光产生的干涉条纹,获取条纹相位信息。基于FPGA+DSP的硬件平台设计和制作CMOS驱动电路,编写干涉条纹数据的处理程序。通过对线阵CMOS采集的条纹进行实时处理,实现光栅移动中干涉条纹大数计数和小数周期细分功能,根据光栅的空间位移量计算出待测光栅的光栅常数。条纹信号采集硬件部分由 CMOS(ELIS-1024),FPGA(EP3C10E144C8),A/D(AD9220)模块转换模块组成。FPGA负责CMOS的时序驱动,A/D模块将CMOS采集到的模拟图像信号转换成数字信号传递给FPGA,随后FPGA将数字图像传给后级的DSP(TMS320F28335)图像处理单元。由DSP完成条纹的周期计数与细分处理。FPGA端应用硬件描述语言Verilog HDL完成模块的编写,DSP端程序以C语言混合汇编语言实现。基于数字细分,采用整周期计数和小周期细分结合的方式,达到对光栅干涉条纹相位精密测量的目的。基于数字滤波手段,选择五点三次滑动滤波算法对采集到的原始条纹数据平滑滤波,并给出信号谷值点跟踪的方案,实现正反向可逆计数。对小于一个条纹周期位移量的测量,提出改进的二阶最小二乘拟合算法,既提高运算速度又保证谷值点拟合精度。构建了光栅常数测量装置,分析了引起测量误差的因素,讨论光栅运动姿态对测量的影响,为研究提升系统测量精度提供理论依据。实验测量了一块光栅,光栅移动距离10 mm,测得的光栅线密度值为1298.12 line/mm,不确定度为1.0×10-5。实验结果表明,采用本论文的测量技术方案可以实现光栅常数高精度的测量。

关键词：光栅常数干涉条纹 FPGA 数字信号处理计数细分

来源：评论

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一种面向光栅信号计量的改进迟滞区间补偿算法

引用

光学仪器 2017年第4期39卷 34-39页

作者：於得奋刘晓军郭锞胡卓华中科技大学机械科学与工程学院湖北武汉430074

为了补偿由于迟滞比较器引入所带来的位移计量误差,针对通常的迟滞区间补偿算法无法补偿光栅计量信号落在实际迟滞区间门限电压与计算迟滞区间门限V_+、V_-之间所导致的计数误差,提出采用设置变量来标识信号起始点和终止点象限,判断两... 详细信息

为了补偿由于迟滞比较器引入所带来的位移计量误差,针对通常的迟滞区间补偿算法无法补偿光栅计量信号落在实际迟滞区间门限电压与计算迟滞区间门限V_+、V_-之间所导致的计数误差,提出采用设置变量来标识信号起始点和终止点象限,判断两者象限差与总计数值N模除4所得值是否相等,来决定是否进行增减补偿的迟滞区间补偿算法,并对两种实际出现的特殊情况进行了计数值修正处理。实验证明,该迟滞区间补偿算法可以有效克服计算迟滞门限电压因电子元器件的偏差、电源的纹波干扰以及环境中的电磁干扰而与实际迟滞门限电压不相等所带来的计数误差,使得整个计量系统达到较高的精度。

关键词：光栅信号计数细分迟滞区间补偿算法

来源：评论

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一种光栅信号仿真发生器

一种光栅信号仿真发生器

引用

作者：郭衬衬刘晓军 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

本发明公开了一种光栅信号仿真发生器，它包括控制、通信、信号产生、相位偏移、直流偏移、噪声产生、波数控制和D/A转换模块。信号产生、相位偏移和直流偏移模块依序连接，产生参数可调的信号；再与噪声产生模块叠加后到波数控制模块；... 详细信息

标准号: CN105549468A

本发明公开了一种光栅信号仿真发生器，它包括控制、通信、信号产生、相位偏移、直流偏移、噪声产生、波数控制和D/A转换模块。信号产生、相位偏移和直流偏移模块依序连接，产生参数可调的信号；再与噪声产生模块叠加后到波数控制模块；D/A转换模块将数字信号转为模拟信号输出；控制模块经通信模块与信号产生、相位偏移、直流偏移、噪声产生和波数控制模块相连，以实现控制功能。本信号发生器能模拟光栅和激光干涉位移测量的实际情况，输出两路频率、幅值、相位、波形个数和直流偏移均可控的正余弦信号，可加载不同程度随机噪声以模拟实际情况，并能给出仿真的位移量值，用于光栅和激光干涉位移测量中正余弦信号计数细分电路误差分析和校正补偿研究。

关键词：直流偏移控制模块相位偏移信号产生噪声产生波数光栅激光干涉位移测量模拟信号输出信号发生器正余弦信号波形个数不同程度参数可调电路误差光栅信号计数细分控制功能模块叠加数字信号随机噪声通信模块位移量值校正补偿依序连接余弦信号发生器可加载可控的控制和幅值两路一种仿真输出相连通信分析公开控制产生研究

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