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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

79 篇 专利
2 篇 学位论文
1 篇 会议

馆藏范围

82 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

3 篇 工学
- 2 篇 机械工程
- 1 篇 电气工程

主题

3 篇 谐振压力传感器
1 篇 谐振器
1 篇 谐振频率
1 篇 微梁
1 篇 幅频特性
1 篇 灵敏度
1 篇 分子力
1 篇 微机械
1 篇 热激励
1 篇 氮化硅梁
1 篇 微机电系统
1 篇 绝缘体上硅
1 篇 稳定性
1 篇 非线性
1 篇 品质因数
1 篇 多场耦合

机构

16 篇 西安交通大学
13 篇 成都凯天电子股份...
6 篇 合肥工业大学
5 篇 西安思微传感科技...
5 篇 中国科学院电子学...
3 篇 西北工业大学
3 篇 北京遥测技术研究...
3 篇 横河电机株式会社
2 篇 北京晨晶电子有限...
2 篇 中国科学院大学
2 篇 东南大学
2 篇 航天长征火箭技术...
2 篇 华科电子股份有限...
2 篇 清华四川能源互联...
2 篇 太原理工大学
2 篇 太原航空仪表有限...
2 篇 江苏思极科技服务...
2 篇 深圳市五湖智联实...
2 篇 国网江苏省电力有...
2 篇 成都奥森泰科技有...

作者

13 篇 胡宗达
12 篇 赵立波
10 篇 赵玉龙
10 篇 蒋庄德
9 篇 韩香广
8 篇 卢德江
8 篇 王淞立
7 篇 张坤
7 篇 张林
6 篇 陈德勇
6 篇 方续东
6 篇 张连生
6 篇 黄强先
6 篇 杨劼立
6 篇 郭鑫
6 篇 李雪娇
6 篇 李奇思
6 篇 程荣俊
5 篇 李亨
5 篇 赵虎

语言

82 篇 中文

检索条件"主题词=谐振压力传感器"

共 82 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

谐振压力传感器

谐振压力传感器

引用

作者：岩井滋人汤本淳志野吕诚吉田隆司日本东京

本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体... 详细信息

标准号: CN113188690B

本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。

关键词：基底壳体固定部基底分离基底固定谐振频率压力接收处理器壳体谐振压力传感器测量静压壳体固定流体施加谐振器检测静压流体包围延伸

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谐振压力传感器及其制造方法

谐振压力传感器及其制造方法

引用

作者：吴黎明张梦婷舒峻峰刘慧芳张学红宋冬谊张兆琦郄立伟 100020 北京市朝阳区酒仙桥路2号

本发明涉及传感器技术领域，提供一种谐振压力传感器及其制造方法，谐振压力传感器包括：封帽层、感压层和谐振音叉组件，感压层用于感应输入力的变化，感压层连接封帽层，封帽层和感压层之间形成有真空腔室，感压层设置有至少两个凸台... 详细信息

标准号: CN117686131A

本发明涉及传感器技术领域，提供一种谐振压力传感器及其制造方法，谐振压力传感器包括：封帽层、感压层和谐振音叉组件，感压层用于感应输入力的变化，感压层连接封帽层，封帽层和感压层之间形成有真空腔室，感压层设置有至少两个凸台和至少两个第一凹槽，凸台和第一凹槽一一对应设置，凸台位于真空腔室内，第一凹槽设置在感压层的远离封帽层的一侧，沿远离输入力的方向，依次设置凸台和第一凹槽。谐振音叉组件设置在真空腔室内，至少两个凸台设置在谐振音叉组件的相对侧，所述谐振音叉组件连接所述凸台，谐振音叉组件用于连接第一外部电路，谐振压力传感器能够将感压层的拉压变形转化为弯曲变形，提高感压层的敏感度。

关键词：感压层凸台音叉谐振谐振压力传感器封帽真空腔传感器技术领域一一对应设置室内凹槽设置感应输入连接封帽外部电路弯曲变形依次设置真空腔室组件连接组件设置敏感度输入力拉压变形制造转化

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谐振压力传感器的自适应防过拟合标定方法

谐振压力传感器的自适应防过拟合标定方法

引用

作者：杨劼立李奇思杨蕴秀熊艳梅胡宗达苏晓晓 610091 四川省成都市青羊区黄田坝

本发明公开了一种谐振压力传感器的自适应防过拟合标定方法，包括S1生成标签集和样本扩展集；S2划分训练集和测试集，并构建初始压力解算系数的初始多项式函数；S3将压力解算系数作为代价函数自变量，求解自变量，并标记代价函数值最小... 详细信息

标准号: CN118111624A

本发明公开了一种谐振压力传感器的自适应防过拟合标定方法，包括S1生成标签集和样本扩展集；S2划分训练集和测试集，并构建初始压力解算系数的初始多项式函数；S3将压力解算系数作为代价函数自变量，求解自变量，并标记代价函数值最小时对应的自变量为；S4将中绝对值最小的z个参数置0，标记为，标记置0的参数位置，将中第行元素置0，标记为；S5判断中置零参数的数量是否≥预设数量，若是，输出……，进入S7，否则进入S6；S6更新代价函数，之后令l=l+1，返回S3；S7根据验证集中标签集和样本扩展集，采用误差函数计算多项式函数的误差函数值，选取函数值最小时对应的作为谐振压力传感器标定的压力解算系数。

关键词：自变量代价函数谐振压力传感器多项式函数样本扩展压力解标定标签误差函数计算参数位置初始压力误差函数测试集行元素训练集自适应求解构建解算拟合预设置零验证输出返回更新

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谐振压力传感器的自适应防过拟合标定方法

谐振压力传感器的自适应防过拟合标定方法

引用

作者：杨劼立李奇思杨蕴秀熊艳梅胡宗达苏晓晓 610091 四川省成都市青羊区黄田坝

标准号: CN118111624B

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谐振压力传感器及其制造方法

谐振压力传感器及其制造方法

引用

作者：吴黎明舒峻峰张梦婷沈欣王春赟田珂珂仵思笛赵黎明 100020 北京市朝阳区酒仙桥路2号

本发明涉及传感器技术领域，提供一种谐振压力传感器及其制造方法，谐振压力传感器包括：封帽层、感压层和谐振音叉组件，所述感压层用于感应输入力的变化，所述感压层连接所述封帽层，所述封帽层和所述感压层之间形成有真空腔室，所述... 详细信息

标准号: CN117686132A

本发明涉及传感器技术领域，提供一种谐振压力传感器及其制造方法，谐振压力传感器包括：封帽层、感压层和谐振音叉组件，所述感压层用于感应输入力的变化，所述感压层连接所述封帽层，所述封帽层和所述感压层之间形成有真空腔室，所述感压层设置有至少两个凸台，所述凸台位于所述真空腔室内；设置在所述真空腔室内，至少两个所述凸台设置在所述谐振音叉组件的相对侧，所述谐振音叉组件用于连接第一外部电路，所述谐振音叉组件包括音叉振梁组件、第一折叠梁和第二折叠梁，所述音叉振梁组件的一端通过所述第一折叠梁连接所述凸台，所述音叉振梁组件的另一端通过第二折叠梁连接所述凸台。第一折叠梁和第二折叠梁能够吸收能量，实现振动的隔离。

关键词：音叉折叠梁感压层凸台谐振梁组件封帽谐振压力传感器真空腔传感器技术领域室内感应输入外部电路吸收能量真空腔室组件包括隔离制造

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谐振压力传感器

谐振压力传感器

引用

作者：岩井滋人汤本淳志野吕诚吉田隆司日本东京

标准号: CN116698232A

关键词：基底壳体固定部基底分离基底固定谐振频率压力接收处理器壳体谐振压力传感器测量静压壳体固定流体施加谐振器检测静压流体包围延伸

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微梁式谐振压力传感器多场耦合动力学特性研究

微梁式谐振压力传感器多场耦合动力学特性研究

引用

作者：王智冲燕山大学

学位级别：硕士

微梁式谐振压力传感器是通过检测谐振梁谐振频率的变化来实现压力测量,其测量精度高,应用前景广阔。本论文对微梁式谐振压力传感器多场耦合动力学特性进行了研究。建立了谐振梁在静电力、分子力和空气压膜阻尼力作用下的动力学平衡方程... 详细信息

微梁式谐振压力传感器是通过检测谐振梁谐振频率的变化来实现压力测量,其测量精度高,应用前景广阔。本论文对微梁式谐振压力传感器多场耦合动力学特性进行了研究。建立了谐振梁在静电力、分子力和空气压膜阻尼力作用下的动力学平衡方程。求解了谐振梁多场耦合静态平衡方程和振动方程。分析了谐振梁多场耦合自由振动特性。结果表明:施加在谐振梁上的静电电压存在一个失稳临界值,分子力使极限电压减小;当谐振梁长度和宽度增大、厚度和极板间距减小时,分子力对灵敏度的影响增大;考虑空气压膜阻尼时,静电力和分子力对谐振梁谐振频率的影响更加显著。建立了谐振梁在静电力、分子力、空气压膜阻尼力作用下的非线性振动方程。利用多尺度法研究了谐振梁幅频特性。分析了谐振梁多场耦合受迫振动特性。结果表明:在大静电电压、小极板间距、低微流体动力粘度的条件下,静电力和分子力对谐振梁振动的影响较明显,不可忽略。建立了谐振梁固有圆频率与压力膜上压强的函数关系。推导出传感器灵敏度的函数表达式。分析了谐振梁压力传感器灵敏度的影响因素。结果表明:随着压力膜上压强减小,分子力对传感器灵敏度的影响增强。使用ANSYS软件分析了压力膜应力分布、谐振梁固有频率以及谐响应。研制了微梁式谐振压力传感器,利用静电激励/电容检测的测试平台对传感器固有频率进行了检测,证明了理论分析的正确性。

关键词：微梁谐振压力传感器多场耦合谐振频率幅频特性非线性分子力灵敏度

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谐振压力传感器

谐振压力传感器

引用

作者：岩井滋人汤本淳志野吕诚吉田隆司日本东京

标准号: CN113188690A

关键词：基底壳体固定部基底分离基底固定谐振频率压力接收处理器壳体谐振压力传感器测量静压壳体固定流体施加谐振器检测静压流体包围延伸

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具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法

具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法

引用

作者：陈美华杨超李佳骏欧阳勇吕岚春刘华管伟 610000 四川省成都市湖畔路北段366号天府新经济产业园A区

本发明提供了具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法，涉及谐振压力传感器技术领域，其目的是实现可靠性和稳定性更高且具备更高的灵敏度和分辨率的压力传感器，包括压力敏感薄膜、谐振检测结构和两个单级放大结构；谐振... 详细信息

标准号: CN116754107B

本发明提供了具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法，涉及谐振压力传感器技术领域，其目的是实现可靠性和稳定性更高且具备更高的灵敏度和分辨率的压力传感器，包括压力敏感薄膜、谐振检测结构和两个单级放大结构；谐振检测结构设置有谐振梁；谐振检测结构的谐振梁的两端分别设置一个所述单级放大结构；压力敏感薄膜用于感知外界压力并产生形变；单级放大结构上设置有与所述压力敏感薄膜的相连的多个锚点，单级放大结构用于放大并传递所述形变；谐振检测结构用于接收所述单级放大结构传递的形变，通过谐波感应所述外界压力。本发明的压力传感器具有灵敏度和分辨率更高且降低噪声的优点。

关键词：单级放大谐振检测压力敏感薄膜形变谐振压力传感器压力传感器外界压力灵敏度谐振梁分辨率放大结构高灵敏度降低噪声结构设置信号调理传递锚点谐波感知放大

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一种硅谐振压力传感器

一种硅谐振压力传感器

引用

作者：李秋萍 518000 广东省深圳市福田区福田街道福南社区福明路40-5号雷圳大厦501

本发明提出了一种硅谐振压力传感器。所述硅谐振压力传感器包括导压板、压力敏感膜、谐振器和盖板；所述谐振器设置于所述压力敏感膜上方，并且，所述谐振器和压力敏感膜通过锚点相连；所述压力敏感膜设置于所述导压板上方；所述盖板与... 详细信息

标准号: CN114018445A

本发明提出了一种硅谐振压力传感器。所述硅谐振压力传感器包括导压板、压力敏感膜、谐振器和盖板；所述谐振器设置于所述压力敏感膜上方，并且，所述谐振器和压力敏感膜通过锚点相连；所述压力敏感膜设置于所述导压板上方；所述盖板与所述谐振器键合形成密封空间；其中，所述压力敏感膜采用硅薄膜。本发明提出的硅谐振压力传感器能够最大程度上提高硅谐振压力传感器的检测精度和准确性。

关键词：压力敏感膜谐振压力传感器谐振器盖板导压板密封空间硅薄膜键合锚点检测

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