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主题

  • 4 篇 谐振压力传感器
  • 1 篇 谐振器
  • 1 篇 谐振频率
  • 1 篇 微梁
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  • 1 篇 微机械
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机构

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作者

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  • 12 篇 赵立波
  • 10 篇 赵玉龙
  • 10 篇 蒋庄德
  • 9 篇 韩香广
  • 8 篇 卢德江
  • 8 篇 王淞立
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  • 7 篇 张林
  • 6 篇 陈德勇
  • 6 篇 方续东
  • 6 篇 张连生
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  • 6 篇 郭鑫
  • 6 篇 李雪娇
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  • 5 篇 赵虎

语言

  • 83 篇 中文
检索条件"主题词=谐振压力传感器"
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一种谐振压力传感器
一种谐振压力传感器
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作者： 史凯 穆清涛 陈晓峰 王伟 吴世强 白亚杰 韩雨庐 刘华 723000 陕西省汉中市南郑区大河坎镇
本发明公开了一种谐振压力传感器，包括一气路接头，所述气路接头用于连接气管且所述气路接头上设置有通气孔，一隔离板，所述隔离板上设置有与所述通气孔连通的第一通孔结构，一压力芯体，一控制电路板，所述控制电路板用于所述压力芯... 详细信息
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一种RF谐振压力传感器
一种RF谐振压力传感器
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作者： 姜理利 黄晓东 王立峰 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
本发明公开了一种RF谐振压力传感器，包括敏感RF谐振器、RF谐振器和共面波导端口，敏感RF谐振器和RF谐振器形成对称弱耦合结构。本发明采用了对称弱耦合状态的RF谐振器，基于模态局域化原理，其谐振信号幅值将随施加的压力剧烈变化，因... 详细信息
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一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器
一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器
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作者： 桑利 李辉 611731 四川省成都市高新区(西区)天映路103号
本实用新型公开了一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器，涉及传感器领域，尤其涉及一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器，用于解决现有现有技术下石英谐振压力传感器敏感元件和结构之间采用粘贴方式带来的易老化、难定位、存在温度漂移... 详细信息
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一种高精度硅谐振压力传感器测试工装
一种高精度硅谐振压力传感器测试工装
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作者： 李康 李亨 张磊 赵虎 王淞立 710077 陕西省西安市高新区团结南路35号研发中心6层618室
本实用新型涉及传感器技术领域，且公开了一种高精度硅谐振压力传感器测试工装，包括工装夹具组件，所述工装夹具组件包括夹具框，所述夹具框的中部安装有连接板，所述连接板的顶部设置有电气接口，所述夹具框的顶部设置有接口A，所述接... 详细信息
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一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器
一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器
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作者： 赵善文 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道玉翠社区和平路和平工业园金星大厦2层201厂房B区
本实用新型公开了一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器，包括芯片和光纤，所述芯片的一侧设有光测腔，所述芯片的另一侧设有感压腔，所述光测腔与所述感压腔之间设为感压片，所述感压片上设有微桥谐振片，所述光测腔底部错开所述... 详细信息
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一种硅微机械谐振压力传感器
一种硅微机械谐振压力传感器
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作者： 方道德 325011 浙江省温州市龙湾区蒲州街道文昌路209号C幢236
本实用新型公开了一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置，所述传感器装置的左端设有螺纹管接头，且螺纹管接头的右端与传感器装置的相交处活动套设有螺栓紧固件，所述传感器装置的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件、VCA放大... 详细信息
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一种小型化高精度硅谐振压力传感器结构
一种小型化高精度硅谐振压力传感器结构
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作者： 黄嘉珊 李亨 张磊 赵虎 王淞立 710077 陕西省西安市高新区团结南路35号研发中心6层618室
本实用新型属于压力传感器技术领域，尤其为一种小型化高精度硅谐振压力传感器结构，包括圆筒，所述圆筒的一端固定安装有基座，所述基座的一侧面设置有镂空凸台，所述基座的一侧面设置有谐振芯片，所述基座的外部套接有压力接口，所述... 详细信息
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压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
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作者： 蒋维乐 李雪娇 赵立波 韩香广 方续东 郭鑫 卢德江 王鸿雁 吴永顺 赵玉龙 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
本发明提供了一种压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，压力传感器芯片主要包括密封玻璃盖、谐振器层、压力敏感膜层、应力隔离垫、压电激励元件和电阻拾振元件，采用压力敏感膜片和谐振器复合结构，为二次敏感模式，谐... 详细信息
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一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
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作者： 赵立波 韩香广 李雪娇 郭鑫 皇咪咪 卢德江 王久洪 赵玉龙 蒋庄德 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
本发明公开了一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括谐振层和承压膜片，谐振层包括谐振梁和平衡梁，四根谐振梁组成一组H型梁，H型梁共有两组且对称设置，谐振梁端部均固定在平衡梁上，两根平衡梁通过谐... 详细信息
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压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
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作者： 蒋维乐 李雪娇 赵立波 韩香广 方续东 郭鑫 卢德江 王鸿雁 吴永顺 赵玉龙 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
本发明提供了一种压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，压力传感器芯片主要包括密封玻璃盖、谐振器层、压力敏感膜层、应力隔离垫、压电激励元件和电阻拾振元件，采用压力敏感膜片和谐振器复合结构，为二次敏感模式，谐... 详细信息
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