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D07系列质量流量计(MFM)/质量流量控制器(MFC)用于精确地测量或控制气体的流量,具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点。MFM/MFC的流量传感器是热式质量流量传感器。MFM由传感器、分流器、主... 详细信息

标准号: 0401210098

D07系列质量流量计(MFM)/质量流量控制器(MFC)用于精确地测量或控制气体的流量,具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点。MFM/MFC的流量传感器是热式质量流量传感器。MFM由传感器、分流器、主通道及电路板等部分组成,用于测量流量;MFC除了具有与MFM类似的各部件之外,还有一个控制阀门及PID控制电路,它不但能测量流量,还能控制流量。

关键词：质量流量计质量流量控制器自动控制温度传感器

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基于PROFIBUS DP质量流量控制器的核用空气升液系统

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核动力工程 2017年第5期38卷 110-114页

作者：张博吴珂陈朝东李晓薇中国核电工程有限公司北京100840

针对核燃料后处理用空气升液系统,给出了基于PROFIBUS DP总线质量流量控制器的控制方法。针对空气升液系统组成提出了控制系统组成结构。详细分析了PROFIBUS DP总线质量流量的选型、电气连接和软件实现。最后,提出使用多项式回归的方式... 详细信息

针对核燃料后处理用空气升液系统,给出了基于PROFIBUS DP总线质量流量控制器的控制方法。针对空气升液系统组成提出了控制系统组成结构。详细分析了PROFIBUS DP总线质量流量的选型、电气连接和软件实现。最后,提出使用多项式回归的方式,建立了压缩空气流量与被提升料液流量的关系。

关键词：核燃料后处理空气升液系统 PROFIBUS DP 质量流量控制器多项式回归

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质量流量控制器的本地生产系统规划方案

质量流量控制器的本地生产系统规划方案

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作者：陈诚上海交通大学

学位级别：硕士

随着全球化的深入，跨国公司正在加快自身产品往发展中国家的生产迁移，以求首先在全球化竞争中赢得成本上的优势。而在这股浪潮中，中国无疑是最耀眼的迁移目的地，而与此同时，中国芯片制造规模的不断扩大以及巨大且快速成长的终端电... 详细信息

随着全球化的深入，跨国公司正在加快自身产品往发展中国家的生产迁移，以求首先在全球化竞争中赢得成本上的优势。而在这股浪潮中，中国无疑是最耀眼的迁移目的地，而与此同时，中国芯片制造规模的不断扩大以及巨大且快速成长的终端电子应用市场也极大地推动了中国半导体产业的成长。国内制造国内销售，这也是很多大型国际生产企业追求的目标，相应的在产品设计上也或多或少的考虑到当地市场的需求。以泛半导体行业中的产品生产为例，日本制造企业一直以来都走在全球技术发展的前列，同时他们依靠对市场所在国准确的行业发展趋势判断，市场需求预测，从而掌握投放产量，以达到生产集约利润最大化的效果。对于尚处于发展初期的中国泛半导体市场，一直以来都缺乏比较准确的基于市场需求预测的生产迁移后的生产系统设计。本文以工业工程的方法，通过分析本公司产品,以应用于半导体及其衍生产业制程里制模、沉积工艺中的质量流量控制器(MassFlow Controller, MFC)为例，通过对中国市场的方案移植，借鉴日本国内已经成熟的高度贴合市场的信息获取架构及其对行业与市场预测方法，构建符合中国本国市场特色的公司组织架构，采用购买者意向选择法做参考，并在选取合适参数的条件下使用更符合中国市场特点的线性回归方式预测细分市场的预计使用量。再选择适合中国市场的产品之后确定工艺流程，完成生产系统布置后使用层次分析法遴选本地零部件供应商，结果表明合理的选择方法同时也能在确保生产的情况下间接扶持国内相关生产商的发展。经过经济性分析，整个生产转移的生产系统能更贴合国内产业的发展趋势，亦能更好地适应产业高峰和低谷，同时也预留了一定的产能弹性，配合企业的低成本生产发挥作用，也为以后的生产转移提供可以参考借鉴的流程方法。

关键词：半导体生产转移生产系统规划质量流量控制器

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质量流量控制器、制造半导体器件的设备及其维护方法

质量流量控制器、制造半导体器件的设备及其维护方法

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作者：李相吉梁裕信柳成润朴圭焕李衒韩国京畿道

公开了质量流量控制器、用于制造半导体器件的设备及其维护方法。质量流量控制器可以控制被提供到腔室中的气体的量。质量流量控制器可以构造成在最初使用质量流量控制器时，获得以标准流速提供到腔室中的气体的绝对体积。质量流量控制... 详细信息

标准号: CN109872957A

公开了质量流量控制器、用于制造半导体器件的设备及其维护方法。质量流量控制器可以控制被提供到腔室中的气体的量。质量流量控制器可以构造成在最初使用质量流量控制器时，获得以标准流速提供到腔室中的气体的绝对体积。质量流量控制器可以被构造为在质量流量控制器已经使用预定时间之后，获得以测量流速提供的气体的检测流速。质量流量控制器可以构造成比较检测流速和标准流速，以验证测量流速的满刻度误差。

关键词：质量流量控制器标准流速测量流速腔室半导体器件比较检测刻度误差验证检测制造维护

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质量流量控制器及其流量控制方法

质量流量控制器及其流量控制方法

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作者：王振东邹义涛 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室

本发明提供一种质量流量控制器的流量控制方法，质量流量控制器中设置有流体通路，流体通路的入口与出口之间连接有调节阀，其特征在于，该方法包括：获取流体通路入口处的流体压力；判断流体压力是否高于第一预设压力阈值，若流体压力... 详细信息

标准号: CN115718508A

本发明提供一种质量流量控制器的流量控制方法，质量流量控制器中设置有流体通路，流体通路的入口与出口之间连接有调节阀，其特征在于，该方法包括：获取流体通路入口处的流体压力；判断流体压力是否高于第一预设压力阈值，若流体压力不高于第一预设压力阈值，则重新确定预设算法的调节系数；基于调节后的预设算法，根据流体流量与目标流量之间的差值调节调节阀的开度。本发明提供的流量控制方法能够根据流体压力确定反馈控制的调节系数，从而适应超低压差工况，提高剧毒特殊工艺气体的利用率以及半导体工艺设备的安全性。本发明还提供一种质量流量控制器。

关键词：流体压力质量流量控制器流体通路流量控制预设算法预设压力半导体工艺设备差值调节反馈控制工艺气体流体流量目标流量重新确定超低压入口处开度剧毒出口

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质量流量控制器检测系统

质量流量控制器检测系统

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作者：王海亮张海洋李凌峰 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室

本申请实施例提供了一种质量流量控制器检测系统。该检测系统包括：安装板、传输组件、安装组件及检漏组件；传输组件设置在安装板上，用于承载多个质量流量控制器，并带动多个质量流量控制器沿第一方向移动，使多个质量流量控制器依次... 详细信息

标准号: CN112764436B

本申请实施例提供了一种质量流量控制器检测系统。该检测系统包括：安装板、传输组件、安装组件及检漏组件；传输组件设置在安装板上，用于承载多个质量流量控制器，并带动多个质量流量控制器沿第一方向移动，使多个质量流量控制器依次停留在预设位置；安装组件设置在安装板上，且位于预设位置两侧，检漏组件的输出端及输入端分别设置于预设位置两侧的安装组件上；安装组件用于将输出端及输入端分别连接至质量流量控制器的两端，以及从质量流量控制器的两端拆卸输出端及输入端，检漏组件用于对质量流量控制器进行检漏。本申请实施例实现了质量流量控制器的自动检漏，不仅节省人工成本，而且提高了质量流量控制器的标定精度及效率。

关键词：质量流量控制器检漏安装组件预设位置安装板输出端输入端传输组件检测系统方向移动人工成本标定拆卸申请承载停留

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质量流量控制器及其传感器

质量流量控制器及其传感器

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作者：叶建 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室

本发明提供一种包括滤波模块的传感器，滤波模块包括第一Sallen‑Key滤波器、第二Sallen‑Key滤波器、正电源稳压模块、负电源稳压模块和外接电平稳压模块，传感器的脉冲宽度调制PWM信号输出端与第一Sallen‑Key滤波器的输入端电连接，第二... 详细信息

标准号: CN113311879A

本发明提供一种包括滤波模块的传感器，滤波模块包括第一Sallen‑Key滤波器、第二Sallen‑Key滤波器、正电源稳压模块、负电源稳压模块和外接电平稳压模块，传感器的脉冲宽度调制PWM信号输出端与第一Sallen‑Key滤波器的输入端电连接，第二Sallen‑Key滤波器的输入端与第一Sallen‑Key滤波器的输出端电连接，正电源稳压模块用于向两个Sallen‑Key滤波器提供经过噪声过滤的正工作电压，负电源稳压模块用于向两个Sallen‑Key滤波器提供经过噪声过滤的负工作电压，外接电平稳压模块用于向第二Sallen‑Key滤波器提供经过噪声过滤的外接工作电压。本发明提供的滤波模块通过包括两个Sallen‑Key滤波器组成的四阶Bessel有源滤波器，能够有效控制噪声等信号干扰问题，使处理后的传感器信号噪声更小。本发明还提供一种质量流量控制器。

关键词：稳压模块滤波模块噪声过滤外接传感器负电源压模块正电源噪声脉冲宽度调制PWM 质量流量控制器输出端电连接输入端电连接信号干扰问题传感器信号负工作电压信号输出端正工作电压工作电压有效控制源滤波器输入端四阶

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质量流量控制器及其流量控制方法

质量流量控制器及其流量控制方法

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作者：邓博文牟昌华邹义涛 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室

本发明提供一种质量流量控制器及其流量控制方法，质量流量控制器中，控制模块用于在当前的流量设定值相对于上一流量设定值的变化量超出预设阈值时，根据入口压力测量模块检测的入口压力值和当前的流量设定值，预先存储的不同的入口压... 详细信息

标准号: CN117850483A

本发明提供一种质量流量控制器及其流量控制方法，质量流量控制器中，控制模块用于在当前的流量设定值相对于上一流量设定值的变化量超出预设阈值时，根据入口压力测量模块检测的入口压力值和当前的流量设定值，预先存储的不同的入口压力值下，不同的流量设定值与流量调节阀的阀电压值的第一对应关系，获得当前的入口压力值下，与当前的流量设定值对应的阀电压值，并选择性地进入第一开度控制模式或者第二开度控制模式；控制模块还用于在第二开度控制模式中，在根据出口压力测量模块实时检测的出口压力值满足第一稳定条件后，进入流量反馈控制模式。本发明的技术方案能够在保证流量控制精度的同时，实现快速响应，同时满足不同工况下的控制需求。

关键词：流量设定入口压力开度控制质量流量控制器测量模块出口压力控制模块流量控制阀电压流量调节阀控制模式快速响应流量反馈实时检测稳定条件预先存储变化量阈值时预设检测保证

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质量流量控制器及其流量调节机构

质量流量控制器及其流量调节机构

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作者：王利源苏乾益宋志辉 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室

本申请实施例提供了一种质量流量控制器及其流量调节机构。该流量调节机构包括：阀座组件、阀体组件及驱动组件；阀座组件包括有阀座及阀口，阀座内形成有流体通道，并且流体通道具有径向开口，阀口的底端与径向开口密封连接；阀体组件... 详细信息

标准号: CN113970006A

本申请实施例提供了一种质量流量控制器及其流量调节机构。该流量调节机构包括：阀座组件、阀体组件及驱动组件；阀座组件包括有阀座及阀口，阀座内形成有流体通道，并且流体通道具有径向开口，阀口的底端与径向开口密封连接；阀体组件包括有阀体及阀芯，阀体设置于阀座上，阀体的一端开设有滑动槽，滑动槽的开口与阀口连通；阀芯可滑动地设置于滑动槽内，用于调节阀口的开合度；驱动组件包括驱动部及传动杆，驱动部设置于阀体的顶部，传动杆的两端分别与驱动部及阀芯连接，驱动部通过传动杆带动阀芯在滑动槽内升降，以调节阀口的开合度。本申请实施例实现了有效降低加工制造的难度，并且还能满足质量流量控制器的快速及精准响应的需求。

关键词：滑动槽阀体阀芯传动杆阀口阀座驱动质量流量控制器流量调节机构阀体组件阀座组件径向开口流体通道驱动组件开合度可滑动地密封连接底端申请连通升降开口响应加工制造

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质量流量控制器的辅助装置

质量流量控制器的辅助装置

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作者：马弢牛晓杨健张福林 101149 北京市通州区胡家垡村甲8号院9号楼13层1330室

本申请公开了一种质量流量控制器的辅助装置，该辅助装置包括电路板和设置在电路板上的输入选择电路；其中，输入选择电路具有一个第一端口和至少两个第二端口；第一端口用于连接质量流量控制器；第二端口用于连接质量流量控制器的外部... 详细信息

标准号: CN110398989A

本申请公开了一种质量流量控制器的辅助装置，该辅助装置包括电路板和设置在电路板上的输入选择电路；其中，输入选择电路具有一个第一端口和至少两个第二端口；第一端口用于连接质量流量控制器；第二端口用于连接质量流量控制器的外部控制组件；外部控制组件用于与质量流量控制器进行信号交互以控制质量流量控制器；输入选择电路用于将至少两个第二端口中的目标端口与连接的外部控制组件接通，使得目标第二端口连接的外部控制组件与质量流量控制器接通以进行信号交互。利用输入选择电路选择不同的外部控制组件，在不影响原有控制方式的同时，可以节省设备使用空间，增加用户可选择性。

关键词：质量流量控制器外部控制组件输入选择电路电路板辅助装置信号交互接通端口连接节省设备控制方式目标端口使用空间申请

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