检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：付利军西安工业大学

学位级别：硕士

超光滑表面光学元件主要应用于光刻、微光学、航空航天等诸多高精尖仪器及设备系统中。其表面质量直接影响着光学系统的性能指标,这就为光学元件表面质量的高精度检测技术提出了更为苛刻的要求。本论文将以角分辨散射检测技术为理论基础... 详细信息

超光滑表面光学元件主要应用于光刻、微光学、航空航天等诸多高精尖仪器及设备系统中。其表面质量直接影响着光学系统的性能指标,这就为光学元件表面质量的高精度检测技术提出了更为苛刻的要求。本论文将以角分辨散射检测技术为理论基础,研究光学元件表面疵病与其散射光场之间的变化规律,并通过它们之间的变化规律实现对疵病的定量测量。本论文首先研究了经光学元件表面疵病调制的散射光的量化过程,同时对引起光散射的各分形表面类型以及其对应散射变化进行了介绍,并对角分辨散射的基本理论以及光学表面的统计参数进行了系统的论述。其次阐述了散射测量仪器的原理、系统参数和技术指标,同时介绍了实验测量的标准疵病样件。然后对标准疵病样件进行了实验测量,并通过实验数据对样件表面微观结构的统计参数规律进行了研究,结果发现与光滑表面相比,各疵病处的均方根粗糙度都出现了一定程度的突变。尤其是麻点处的粗糙度突变约为一个数量级左右,其对应的功率谱密度在采样方向上出现了较为明显的主导峰值,而且随着疵病尺寸的增大,主导峰在采样频率上逐渐增多,峰值间距变小。最后对不同疵病的空间散射场分布以及角分布散射函数的变化规律进行了详细的研究分析,各疵病的散射场分布具有明显的衍射特性,且对应的角分辨散射曲线符合衍射强度分布规律。因此根据不同疵病衍射特性实现了对疵病类型的识别,同时对疵病的大小尺寸进行了反演计算,在反演计算时采用了两种算法,一种是直接对衍射条纹进行图像处理,计算条纹间距来获得疵病的尺寸大小;另一种是基于疵病衍射光场的拟合算法,该算法主要对针对小尺寸缺陷的衍射光场提出的,解决小尺寸(10um以下)疵病衍射光场无法计算条纹间距而获得疵病尺寸大小的问题。利用该算法对标准麻点、划痕以及离散的随机疵病进行了计算,其结果符合疵病的真实尺寸且相对误差基本在5%以内。同时利用其计算结果对麻点的轮廓进行了绘制并给出了其等效圆。综上所述,本论文主要研究了超光滑表面疵病的散射光场的分布规律,并通过其分布规律实现对疵病类型的识别以及对疵病的尺寸大小的反演计算。

关键词：超光滑光学表面疵病角分辨散射(ARS) 散射光场分布衍射光场

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关于光学表面微观轮廓粗糙度标准的探讨

引用

江西科学 2014年第5期32卷 697-698,728页

作者：李小芸李剑白齐豪杨勇江西省科学院南昌330029 江西连胜实验装备有限公司江西弋阳334409

讨论提出了光学超光滑表面微观轮廓纳米及亚纳米计量标准问题,指出,现有的GB/T 1031-2009粗糙度数值标准不能满足光学表面微观轮廓的纳米及亚纳米计量要求。为此,建议制订新的专用的光学表面粗糙度标准,以适应现代光学快速发展的需求。

关键词：超光滑光学表面亚纳米表面粗糙度计量标准

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超光滑光学表面的磁性类Bingham流体确定性抛光

引用

科学通报 2005年第1期50卷 84-91页

作者：程灏波冯之敬王英伟张云郭占社余景池清华大学精密仪器系制造工程研究所北京100084 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130021 清华大学精密仪器系摩擦学国家重点实验室北京100084 苏州大学近代光学研究所苏州215006

利用磁性抛光介质在梯度磁场作用下呈现出具有粘塑性的类Bingham流体的特点,实现了对具有超光滑表面精度要求(表面粗糙度一般低于0.5nm)的光学元件,特别是应用于接近衍射极限的短波段光学元件的确定性抛光.磁流体与被抛光工件间的相对... 详细信息

利用磁性抛光介质在梯度磁场作用下呈现出具有粘塑性的类Bingham流体的特点,实现了对具有超光滑表面精度要求(表面粗糙度一般低于0.5nm)的光学元件,特别是应用于接近衍射极限的短波段光学元件的确定性抛光.磁流体与被抛光工件间的相对运动导致工件表面抛光区域产生较强的剪切力,从而去除工件表面材料.通过控制梯度磁场的敏感参量如磁场强度、磁极间距等获得磁场中类Bingham流体形成柔性抛光带的形状及工作状态的实时响应.去除函数和去除率曲线反映了磁流体抛光符合经典Preston抛光模型,并突出体现确定性去除这一特点.磁流体抛光全过程中去除函数向外周呈稳定的高斯分布状光滑渐变化趋势.抛光结果表明,配制成功的初始粘度0.5Pa·s的标准磁流体抛光液可实现对超光滑光学元件确定性抛光,弥补传统接触式或压力式光学抛光呈现较大下表面破坏层、去除确定性不高等缺点,抛光35min后工件表面粗糙度由最初17.58nm收敛到0.43nm.

关键词：超精密光学元件超光滑光学表面磁流体非球面磁性抛光 Bingham流体

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功率谱密度函数对于超光滑光学表面的表征技术

功率谱密度函数对于超光滑光学表面的表征技术

引用

2008年全国博士生学术会议(光学测试新理论、新技术)

作者：马彬王占山沈正祥同济大学精密光学工程技术研究所 200092

随着超光滑光学表面在各个领域的广泛应用,迫切需要一种全面、有效的表征技术来评价和描述超光滑表面。传统评价参数只关注表面高度信息,忽略了横向信息,并且不同条件下的测试结果难以相互比较,因此已不适用于发展的需求。基于表面数据... 详细信息

随着超光滑光学表面在各个领域的广泛应用,迫切需要一种全面、有效的表征技术来评价和描述超光滑表面。传统评价参数只关注表面高度信息,忽略了横向信息,并且不同条件下的测试结果难以相互比较,因此已不适用于发展的需求。基于表面数据作Fourier变换得到的功率谱密度函数,反映了各个空间频率对表面形貌的影响,能够将覆盖0.01mm(-1)～12800mm(-1)频率范围Zygo干涉仪、显微轮廓仪以及原子力显微镜的测量结果在空间频率区域有效统一,通过对特定频率区间功率谱密度积分得到的均方根粗糙度还可以将测量结果横向比较。不仅如此,二维功率谱密度与双向反射分布函数成正比,可以评价光学表面的散射特性,对于各向同性、各向异性光学表面质量能够明显区分,而且根据分形表达式能够简单有效的表征超光滑表面。

关键词：功率谱密度双向反射分布函数超光滑光学表面分形模型 Fourier变换原子力显微镜

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自动测量超光滑光学表面积分散射的积分散射仪

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光学技术 2003年第6期29卷 685-686,689页

作者：刘照世海军工程大学湖北武汉430033

介绍了一种能自动测量超光滑光学表面积分散射率的积分散射仪。它既能测量光学膜片,同时也能测量光学基片的积分散射。核心部件是一个光学积分球,其作用是收集散射光。对积分散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述。相... 详细信息

介绍了一种能自动测量超光滑光学表面积分散射率的积分散射仪。它既能测量光学膜片,同时也能测量光学基片的积分散射。核心部件是一个光学积分球,其作用是收集散射光。对积分散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述。相对测量精度为±11%,灵敏度为2.3×10-6。

关键词：超光滑光学表面积分散射率积分散射仪自动测量光学积分球

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原子力显微镜测试光学超光滑表面微轮廓的研究

引用

光学学报 2000年第11期20卷 1533-1537页

作者：李剑白李达成李小芸殷爱菡赵安庆江西省科学院应用物理研究所南昌330029 清华大学精密仪器及机械学系北京100084

论述了使用原子力显微镜测量超光滑光学表面的优点及其在光学领域中的重要应用 ,列举了用这种方法测试得到的超光滑光学表面微轮廓图及纳米量级的微缺陷 ,以及这些表面镀膜前后表面形态结构和微粗糙度的变化。作为比较 ,列举了用干涉轮... 详细信息

论述了使用原子力显微镜测量超光滑光学表面的优点及其在光学领域中的重要应用 ,列举了用这种方法测试得到的超光滑光学表面微轮廓图及纳米量级的微缺陷 ,以及这些表面镀膜前后表面形态结构和微粗糙度的变化。作为比较 ,列举了用干涉轮廓仪测得相同表面的微粗糙度参数等。由于原子力显微镜有三维的高精度 ,而干涉方法只有一维的高精度。

关键词：微轮廓超光滑光学表面原子力显微镜光学测试

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