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机构

  • 1 篇 台湾积体电路制造...

作者

  • 1 篇 叶曙纯
  • 1 篇 林俊贤

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=过滤制程数据"
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过滤制程数据的方法及其系统
过滤制程数据的方法及其系统
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作者: 叶曙纯 林俊贤 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
本发明揭露一种过滤制程数据的方法及其系统,用以过滤送到一统计控制模型的制程数据,以提升该控制模型的性能。该数据过滤器从一组制程数据中选取一组样版数据、形成包括该组样版数据以及一组采样数据的一组网格、并计算出该组网格中... 详细信息
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