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主题

  • 5 篇 非硅微加工
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  • 1 篇 电热微驱动器
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  • 1 篇 聚合物
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  • 1 篇 抗侧向过载
  • 1 篇 最大功率密度
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  • 1 篇 ansys仿真
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  • 1 篇 mems惯性开关

机构

  • 4 篇 上海交通大学
  • 1 篇 淮海工业集团有限...
  • 1 篇 哈尔滨工业大学
  • 1 篇 微米/纳米加工技术...
  • 1 篇 西安机电信息技术...

作者

  • 2 篇 杨卓青
  • 2 篇 丁桂甫
  • 1 篇 吴义伯
  • 1 篇 dai xuhan
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  • 1 篇 wang xi-lian
  • 1 篇 刘峰华
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  • 1 篇 柯希俊
  • 1 篇 tang xiao-chuan
  • 1 篇 张宇峰
  • 1 篇 柴双双
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  • 1 篇 李光杨
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  • 5 篇 中文
检索条件"主题词=非硅微加工"
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一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器
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传感器与微系统 2009年 第8期28卷 118-120页
作者： 张小波 吴义伯 王亚攀 张丛春 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出... 详细信息
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基于非硅微加工技术的超疏水表面的设计和制造
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纳米技术与精密工程 2012年 第3期10卷 273-277页
作者： 汪红 李光杨 杨卓青 姚锦元 丁桂甫 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200240
利用非硅微加工技术,在金属基底表面构建了由圆柱状金属镍组成的规则的微阵列结构,研究了微阵列的疏水性.利用正己烷溶解十八烷基三氯硅烷(OTS)配制成涂覆液,对微阵列进行低表面能物质涂覆.通过对比涂覆前后的静态超疏水性,研究了低表... 详细信息
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扑翼微飞行器紫外激光加工技术
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半导体光电 2015年 第4期36卷 657-660,666页
作者： 张伟 张卫平 柯希俊 邹阳 柴双双 叶以楠 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240
为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术... 详细信息
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应用硅和非硅MEMS技术的微型直接甲醇燃料电池(英文)
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光学精密工程 2009年 第6期17卷 1218-1222页
作者： 汤小川 张宇峰 苑振宇 王喜莲 刘晓为 哈尔滨工业大学MEMS中心 黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室 黑龙江哈尔滨150001
分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池,并介绍了该电池的工作原理和结构。利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作,实验测试表明,在室温条件下,使... 详细信息
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一种具有高抗侧向过载的垂直敏感弹载MEMS惯性开关
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无人系统技术 2021年 第5期4卷 23-30页
作者： 任超 武强 付博 刘峰华 戴旭涵 杨卓青 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200240 淮海工业集团有限公司MEMS中心 长治046012 西安机电信息技术研究所 西安710065
提出了一种具有高抗侧向过载能力的MEMS惯性开关,其结构简单且可以敏感垂直方向上的加速度冲击。开关中引入了阿基米德螺旋线式弹簧结构,当有较大的侧向冲击作用在器件上时,质量块不会发生较大幅度的侧翻位移,从而防止开关误触发并延长... 详细信息
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