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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 激光直接成像
  • 1 篇 靶标识别算法
  • 1 篇 抗扰性能
  • 1 篇 离面位移

机构

  • 1 篇 广东科视光学技术...
  • 1 篇 华南理工大学
  • 1 篇 广东工业大学

作者

  • 1 篇 张宇龙
  • 1 篇 张宪民
  • 1 篇 王瑞洲
  • 1 篇 王华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=靶标识别算法"
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排序:
LDI机靶标识别算法的设计及抗扰性能测试
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中国机械工程 2025年
作者: 王瑞洲 张宇龙 王华 张宪民 广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室 广东科视光学技术股份有限公司广东省数字光刻工程技术研究中心 华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室
在激光直接成像领域,光照不佳、离面位移、靶标异常等扰动引起靶标识别性能的劣化,降低视觉寻靶对位精度及效率,影响光刻良率与产能。首先,设计LDI机视觉寻靶装置,提出随机一点与随机三点自适应切换的取点求圆策略,采用随机抽样... 详细信息
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