检索结果-内蒙古大学图书馆

强激光与粒子束 2016年第11期28卷 20-23页

作者：李媛冯国进赵利运城学院物理与电子工程系山西运城044000 中国计量科学研究院光学与激光计量科学研究所北京100013 复旦大学物理系应用表面物理国家重点实验室上海200433

在一定条件SF6气体氛围中,硅可在飞秒激光辐照区产生μm量级的尖峰结构。针对不同尖峰高度的微构造硅,在不同温度下退火,采用电子蒸发的方法在正反面分别镀上铝电极,制备出了飞秒激光微构造光电二极管,并测试了其光电响应。实验结果表... 详细信息

在一定条件SF6气体氛围中,硅可在飞秒激光辐照区产生μm量级的尖峰结构。针对不同尖峰高度的微构造硅,在不同温度下退火,采用电子蒸发的方法在正反面分别镀上铝电极,制备出了飞秒激光微构造光电二极管,并测试了其光电响应。实验结果表明：飞秒激光微构造光电二极管的响应随微构造硅光电二极管的尖峰高度和退火温度的不同而不同。尖峰高度为3-4μm的样品在973K温度退火30min后,响应度可达0.55A/W。即使在1100nm波长处,这种新型的硅光电二极管的响应仍可高达0.4A/W。

关键词：飞秒激光微构造硅光电二极管响应度退火尖峰高度

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飞秒激光微构造硅二极管Ⅰ-Ⅴ特性研究

引用

运城学院学报 2016年第3期34卷 36-38页

作者：李媛赵利运城学院物理与电子工程系山西运城044000 复旦大学物理系上海200433

在一定条件下SF6气体氛围中,硅可在飞秒激光辐照区产生微米量级的尖峰结构。退火后用ALD在微构造硅表面上沉积50nm的Zn O:Al电极,背面镀上Al电极形成二极管,测试二极管的光吸收特性及I-V特性。研究表明微构造硅二极管在宽波段范围内有... 详细信息

在一定条件下SF6气体氛围中,硅可在飞秒激光辐照区产生微米量级的尖峰结构。退火后用ALD在微构造硅表面上沉积50nm的Zn O:Al电极,背面镀上Al电极形成二极管,测试二极管的光吸收特性及I-V特性。研究表明微构造硅二极管在宽波段范围内有明显增强的光吸收。在整个测量范围(250nm到2500nm)可以达到0.85以上,并且光吸收随着尖峰高度的增加而增加。通过测量微构造硅二极管的I-V特性曲线,发现微构造硅二极管存在良好的整流特性,可以广泛应用在光电探测和太阳电池等领域。

关键词：飞秒激光微构造硅二极管光吸收 I-V特性

来源：评论

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黑硅的湿法制备工艺及近红外探测应用研究

黑硅的湿法制备工艺及近红外探测应用研究

引用

作者：张婷电子科技大学

学位级别：硕士

由于其特殊的表面形貌结构及良好的宽光谱吸收特性,近几年来黑硅的出现受到了国内外学者的广泛关注。目前这一新型材料的研究在太阳能电池、光电探测等领域已逐步深入。采用金属粒子辅助化学刻蚀制备黑硅材料,研究表明,样品表面呈较均... 详细信息

由于其特殊的表面形貌结构及良好的宽光谱吸收特性,近几年来黑硅的出现受到了国内外学者的广泛关注。目前这一新型材料的研究在太阳能电池、光电探测等领域已逐步深入。采用金属粒子辅助化学刻蚀制备黑硅材料,研究表明,样品表面呈较均匀分布的多孔结构,可见光波段材料表面的吸收率高达90%以上,具有良好的减反效果。改性后的黑硅表面结构平均纵横比约为0.4,通过模拟平面几何结构,理论证明该结构有利于光的多次反射。改变刻蚀反应的环境条件,实验过程中利用磁力转子的搅拌加速作用,制备具有疏水功能的黑硅材料。通过SEM、AFM的表征和分析,结合理论模型,我们认为黑硅表面的疏水现象归因于改性后表面粗糙度的影响。而粗糙度的显著改变正是由于黑硅表面的微纳双重结构效应引起的。采用接触角测量仪测试黑硅表面接触角为118°,这一数值满足疏水条件。虽然金属粒子辅助刻蚀制备黑硅的方法简单易控,成本低下,但是对于近红外波段光的吸收,这一化学方案并没有起到任何作用,即便是在近红外波段黑硅的反射率有所降低,但其高的透射率导致吸收依然很低,近乎为零。飞秒激光辐照制备黑硅的方法适时地解决了这个问题。由于飞秒激光的高脉冲能量,可将固体表面瞬时熔融并掺入一定的S族元素。杂质元素的引入能在硅带隙间产生杂质能级,使得能量小于禁带宽度的光子亦能被吸收,从而实现微结构黑硅在整个宽光谱范围内高于90%的吸收效率。此外,改性后的黑硅表面具有准规则阵列分布的微尖锥结构,这种结构拥有很高的纵横比,能够实现入射光的多次重复反射。将湿法刻蚀制备的黑硅材料制成MSM型光电探测器,表面蒸镀梳状插指电极,背面蒸镀面电极。测试器件的光电性能,分析I-V特性曲线发现MSM结构型光电探测器性能稳定,可重复性良好。飞秒激光辐照制备的微结构黑硅制成N+/N型光电探测器,I-V测试发现这种器件的暗电流较大,主要是因为飞秒激光改性后,表面缺陷较多,容易形成复合中心,载流子渡越困难所导致。

关键词：黑硅金属粒子辅助化学刻蚀疏水特性飞秒激光微构造硅

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