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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 元胞自动机
  • 1 篇 高分辨率仿真
  • 1 篇 等离子体刻蚀
  • 1 篇 表面演化方法

机构

  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 沈阳炮兵学院

作者

  • 1 篇 贾培发
  • 1 篇 杨宏军
  • 1 篇 song yi-xu
  • 1 篇 郑树琳
  • 1 篇 yang hong-jun
  • 1 篇 宋亦旭
  • 1 篇 jia pei-fa
  • 1 篇 zheng shu-lin

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=高分辨率仿真"
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排序:
基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法
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物理学报 2013年 第20期62卷 471-478页
作者: 杨宏军 宋亦旭 郑树琳 贾培发 清华大学计算机科学与技术系 智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室北京100084 沈阳炮兵学院 沈阳110162
为了研究表面演化过程的机理,提出了一种基于压缩表示的三维表面演化方法来模拟等离子体刻蚀工艺,并着重探讨了对离子刻蚀的仿真.为了解决三维元胞自动机内存需求量大的问题,该方法将二维数组和动态存储方式相结合,既实现元胞信息的无... 详细信息
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