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  • 1 篇 理学
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主题

  • 2 篇 高分辨率显微分析
  • 1 篇 表面结构分析
  • 1 篇 集成电路原位检测
  • 1 篇 电子探针分析器
  • 1 篇 纳米级
  • 1 篇 大面积扫描探针显...
  • 1 篇 扫描电子显微镜
  • 1 篇 扫描电子显微术

机构

  • 2 篇 东南大学

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  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=高分辨率显微分析"
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纳米分辨动态电场力显微术
纳米分辨动态电场力显微术
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原子力显微术通过在样品表面扫描，得到样品表面的实空间拓扑结构，因此成为对纳米以至原子层次表面结构分析的重要方法。传统原子力显微术只反映表面几何形状，为了反应样品表面电学性质，发展了电场力显微术。该项目在原有商用的原子... 详细信息
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大面积扫描探针显微镜(LS-SPM)
大面积扫描探针显微镜(LS-SPM)
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该项目是国家“九五”重点科技攻关计划专题“微电子工业用大面积扫描探针显微镜的研制”，它是在研制出原子力显微镜的基础上，通过大范围工作台和微动工作台的组合，对大尺寸样品(如集成电路芯片)实现原位测量，使之可直接运用于微电... 详细信息
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